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一種高精度、高密封的無(wú)塵車間技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及生產(chǎn)車間制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高精度、高密封的無(wú)塵車間。 背景技術(shù) 無(wú)塵車間是指在一定空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物...302026/04
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一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)。 背景技術(shù) 現(xiàn)有半導(dǎo)體無(wú)塵車間內(nèi)，需要對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾凈化，但目前缺乏有效的空...302026/04
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一種無(wú)塵車間環(huán)境檢測(cè)和凈化裝置技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)凈化裝置，具體是一種無(wú)塵車間環(huán)境檢測(cè)和凈化裝置。 背景技術(shù) 無(wú)塵車間內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測(cè)十分重要，現(xiàn)有技術(shù)中的環(huán)境監(jiān)測(cè)通常是通過(guò)定時(shí)采集...302026/04
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一種基于浮動(dòng)底盤的無(wú)塵車間運(yùn)輸平臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型屬于智能運(yùn)輸平臺(tái)領(lǐng)域，尤其涉及一種基于浮動(dòng)底盤的無(wú)塵車間運(yùn)輸平臺(tái)。 背景技術(shù) 目前，AGV 是磁導(dǎo)航自動(dòng)導(dǎo)引車（Automated Guid...302026/04
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一種無(wú)塵車間全自動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)升降式局部環(huán)境檢測(cè)裝置技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型涉及環(huán)境檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種無(wú)塵車間全自動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)升降式局部環(huán)境檢測(cè)裝置。 背景技術(shù) 手機(jī)制造車間必須保持高度的清潔，無(wú)塵車間是一種必須...302026/04
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無(wú)塵車間的軌道移動(dòng)升降式局部環(huán)境檢測(cè)裝置技術(shù)領(lǐng)域 本實(shí)用新型涉及環(huán)境檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種一種用于無(wú)塵車間的軌道移動(dòng)升降式局部環(huán)境檢測(cè)裝置。 背景技術(shù) 手機(jī)制造車間必須保持高度的清潔，無(wú)塵車間是一種...302026/04
