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凈化工程技術(shù)中心
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一種高精度、高密封的無塵車間

2026-04-30

技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及生產(chǎn)車間制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種高精度、高密封的無塵車間。
背景技術(shù)
無塵車間是指在一定空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物減少到規(guī)定指標下,將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計的房間。即不論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫溫度及壓力等性能。潔靜度一級表示每立方英尺室內(nèi)的空氣所含有大或等于0.5 um 的灰塵粒子不超過1 顆;潔凈室10 級則為不超過10 顆;潔凈室100 級、1000 級…依次類推。
我國凈化行業(yè)原先所安裝的百級潔凈室,主要適用于醫(yī)藥生產(chǎn)企業(yè),潔凈室的溫濕度是由組合式凈化空調(diào)器控制和調(diào)節(jié)的。然而,隨著科技日新月異的發(fā)展,尤其是集成電路生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,集成電路芯片生產(chǎn)的線寬由0.45 微米發(fā)展到0.11 微米,甚至由微米級向納米級發(fā)展,溫度的變化可能影響生產(chǎn)工藝,導(dǎo)致成品率下降;同時,由于其生產(chǎn)工藝對潔凈度的要求很高,使得其潔凈室內(nèi)排風量比較大。因此,這種潔凈室需要通過高精度的溫度控制,未消除溫度變化對生產(chǎn)的影響。如果用傳統(tǒng)的組合式空調(diào)器調(diào)溫的方式,要達到潔凈室內(nèi)高精度的溫度及潔凈度的控制是很困難的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)的不足,而提供一種無塵車間,高精度、高密封。
本發(fā)明為實現(xiàn)上述目的,采用以下技術(shù)方案:一種無塵車間,其特征在于:包括密封車間、空氣循環(huán)機組、送風管路和排風管路,所述密封車間的兩側(cè)墻體的內(nèi)側(cè)設(shè)有排風通道,所述排風通道上設(shè)有與所述密封車間內(nèi)部連通的排風口,所述排風通道與所述排風管路連通,所述排風管路與所述空氣循環(huán)機組連通;所述送風管路一端與設(shè)置在車間吊頂上的送風口連通,另一端與所述空氣循環(huán)機組連通;所述密封車間內(nèi)設(shè)有二次潔凈室,所述二次潔凈室的頂部及四周由鋼化玻璃圍城,二次潔凈室由支撐柱支撐距離地面20cm-30cm,二次潔凈室的頂部設(shè)有送風口,所述送風口與所述送風管路連通。
所述四面墻體采用兩層夾板中間內(nèi)襯阻燃芯材。
所述密封車間的地面采用防靜電PVC地板或環(huán)氧樹脂涂層地板。
所述排風口上設(shè)有排風百葉。
本發(fā)明的有益效果是: 本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,通過空氣循環(huán)機組對車間內(nèi)進行氣體的交換,大大保證了室內(nèi)空氣的潔凈度,由于在潔凈室內(nèi)部再設(shè)置一個二級潔凈室,二級潔凈室采用鋼化玻璃制造,底部通過支撐柱支撐距離地面一定高度,保證了二級潔凈室中空氣有效的循環(huán),進一步提高了二級潔凈室的潔凈等級。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖中:1、密封車間;2、空氣循環(huán)機組;3、送風管路;4、排風管路;5、排風通道;6、排風口;7、送風口;8、二次潔凈室;9、支撐柱;10、送風口。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖及較佳實施例詳細說明本發(fā)明的具體實施方式。如圖1所示,一種無塵車間,包括密封車間1、空氣循環(huán)機組2、送風管路3和排風管路4,所述密封車間的兩側(cè)墻體的內(nèi)側(cè)設(shè)有排風通道5,所述排風通道上設(shè)有與所述密封車間內(nèi)部連通的排風口6,所述排風通道與所述排風管路連通,所述排風管路與所述空氣循環(huán)機組連通,所述送風管路一端與設(shè)置在車間吊頂上的送風口7連通,另一端與所述空氣循環(huán)機組連通,吊頂采用彩鋼板。所述密封車間內(nèi)設(shè)有二次潔凈室8,所述二次潔凈室的頂部及四周由鋼化玻璃圍城,二次潔凈室由支撐柱9支撐,距離地面20cm-30cm,二次潔凈室的頂部設(shè)有送風口10,所述送風口與所述送風管路連通。所述四面墻體采用兩層夾板中間內(nèi)襯阻燃芯材。所述密封車間的地面采用防靜電PVC地板或環(huán)氧樹脂涂層地板。所述排風口上設(shè)有排風百葉。
本發(fā)明在使用時,空氣進入空氣循環(huán)機組,空氣循環(huán)機組將空氣內(nèi)的灰塵濾除掉后,將凈化空氣通過送風管路輸送到排風口進入到車間內(nèi)部,無塵車間內(nèi)的空氣經(jīng)排風口 傳輸至排風管路內(nèi),再進入空氣循環(huán)機組,形成流動氣流。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,通過空氣循環(huán)機組對車間內(nèi)進行氣體的交換,大大保證了室內(nèi)空氣的潔凈度,由于在潔凈室內(nèi)部再設(shè)置一個二級潔凈室,二級潔凈室采用鋼化玻璃制造,底部通過支撐柱支撐距離地面一定高度,保證了二級潔凈室中空氣有效的循環(huán),進一步提高了二級潔凈室的潔凈等級。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。

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