技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)
現(xiàn)有半導(dǎo)體無(wú)塵車間內(nèi)，需要對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾凈化，但目前缺乏有效的空氣分析，往往使得空氣中SO4含量超標(biāo)，會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，解決上述現(xiàn)有技術(shù)中無(wú)塵車間空氣過(guò)濾缺少配套分析使得產(chǎn)品良率降低的問(wèn)題。
為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)及其他相關(guān)目標(biāo)，本發(fā)明提供一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法，所述無(wú)塵車間內(nèi)設(shè)有過(guò)濾器，所述方法包括：在所述無(wú)塵車間內(nèi)設(shè)置多個(gè)采樣點(diǎn)；在所述各采樣點(diǎn)處進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過(guò)濾器的過(guò)濾出口之前和之后的采樣；提供元素分析設(shè)備對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析；對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理。
可選的，所述提供元素分析設(shè)備以對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對(duì)與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的用來(lái)分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行配比、安裝和測(cè)試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進(jìn)而對(duì)采樣進(jìn)入設(shè)備的樣本進(jìn)行定性和定量分析。
可選的，所述元素包括SO4。
為實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)及其他相關(guān)目標(biāo)，本發(fā)明提供一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析系統(tǒng)，所述無(wú)塵車間內(nèi)設(shè)有過(guò)濾器，所述系統(tǒng)包括：多個(gè)空氣采樣裝置，分別設(shè)置于所述無(wú)塵車間內(nèi)所預(yù)設(shè)的多個(gè)采樣點(diǎn)處，用于進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過(guò)濾器的過(guò)濾出口之前和之后的采樣；元素分析設(shè)備，用于對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析，并對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理。
可選的，所述空氣采樣裝置包括采樣管。
可選的，所述采樣管長(zhǎng)度為100m。
可選的，所述提供元素分析設(shè)備以對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對(duì)與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的用來(lái)分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行配比、安裝和測(cè)試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進(jìn)而對(duì)采樣進(jìn)入設(shè)備的樣本進(jìn)行定性和定量分析。
可選的，所述元素包括SO4。
如上所述，本發(fā)明提供一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，在所述無(wú)塵車間內(nèi)設(shè)置多個(gè)采樣點(diǎn)；在所述各采樣點(diǎn)處進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過(guò)濾器的過(guò)濾出口之前和之后的采樣；對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析；對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理；本發(fā)明保證產(chǎn)線內(nèi)空氣中SO4情況被管理，以預(yù)防因其超管理線而導(dǎo)致的產(chǎn)品信賴性失效。
附圖說(shuō)明
圖1顯示為本發(fā)明的無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法的一實(shí)施例的流程示意圖。
圖2顯示為本發(fā)明的無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析系統(tǒng)的一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明：
1-無(wú)塵車間；
2-過(guò)濾器；
3-空氣分析系統(tǒng)；
31-空氣采樣裝置；
32-元素分析設(shè)備；
S1~S4-方法步驟。
具體實(shí)施方式
以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過(guò)另外不同的具體實(shí)施方式加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。需說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
如圖1所示，本發(fā)明提供一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法，無(wú)塵車間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn)：對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效過(guò)濾器代替高效過(guò)濾器；空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理，應(yīng)采用初、中、高效過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾器；中效或高效空氣過(guò)濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用；中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段；高效或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。所述無(wú)塵車間可以是電子半導(dǎo)體制備及封裝作業(yè)的用途，里面設(shè)有半導(dǎo)體制造的產(chǎn)線。
所述方法包括：
步驟S1：在所述無(wú)塵車間內(nèi)設(shè)置多個(gè)采樣點(diǎn)；在一實(shí)施例中，各個(gè)采樣點(diǎn)覆蓋整個(gè)車間產(chǎn)線；
步驟S2：在所述各采樣點(diǎn)處進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過(guò)濾器（MAU）的過(guò)濾出口之前和之后的采樣；
步驟S3：提供元素分析設(shè)備對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析；
步驟S4：對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)（SPEC）進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理。在一實(shí)施例中，所述分析數(shù)據(jù)可形成圖表，例如，縱軸是成分含量，橫軸是時(shí)間等；并且對(duì)應(yīng)各種不同氣體成分均有不同圖線例如折線等。
在一實(shí)施例中，所述提供元素分析設(shè)備以對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對(duì)與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的用來(lái)分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行配比、安裝和測(cè)試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進(jìn)而對(duì)采樣進(jìn)入設(shè)備的樣本進(jìn)行定性和定量分析。
在一實(shí)施例中所述元素，包括SO4；當(dāng)然還可能包括氯氣等。
如圖2所示，本發(fā)明提供一種無(wú)塵車間1內(nèi)空氣分析系統(tǒng)3，所述無(wú)塵車間1內(nèi)設(shè)有過(guò)濾器2，需說(shuō)明的是，所述系統(tǒng)3實(shí)施例的技術(shù)原理與前述實(shí)施例相類似，上述實(shí)施例中的技術(shù)特征均可應(yīng)用于所述系統(tǒng)3實(shí)施例中，因此不再對(duì)相同的技術(shù)細(xì)節(jié)作重復(fù)贅述。
所述系統(tǒng)3包括：多個(gè)空氣采樣裝置31，分別設(shè)置于所述無(wú)塵車間1內(nèi)所預(yù)設(shè)的多個(gè)采樣點(diǎn)處，用于進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過(guò)濾器2的過(guò)濾出口之前和之后的采樣；元素分析設(shè)備32，用于對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析，并對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理，其例如為氣體檢測(cè)儀，質(zhì)譜儀等。
在一實(shí)施例中，所述空氣采樣裝置31包括采樣管。
在一實(shí)施例中，所述采樣管長(zhǎng)度為100m。
在一實(shí)施例中，所述提供元素分析設(shè)備32以對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析，包括：在所述采樣分析設(shè)備對(duì)與所述標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的用來(lái)分析用的標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行配比、安裝和測(cè)試以確保所述分析數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，進(jìn)而對(duì)采樣進(jìn)入設(shè)備的樣本進(jìn)行定性和定量分析。
在一實(shí)施例中，所述元素包括SO4。
綜上所述，本發(fā)明提供一種無(wú)塵車間內(nèi)空氣分析方法及系統(tǒng)，在所述無(wú)塵車間內(nèi)設(shè)置多個(gè)采樣點(diǎn)；在所述各采樣點(diǎn)處進(jìn)行外氣采樣、及空氣進(jìn)入所述過(guò)濾器的過(guò)濾出口之前和之后的采樣；對(duì)所采樣空氣樣本進(jìn)行元素分析；對(duì)所述元素分析獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行與標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的比對(duì)及監(jiān)控，對(duì)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)的異常數(shù)據(jù)并進(jìn)行管理改善和處理；本發(fā)明保證產(chǎn)線內(nèi)空氣中SO4情況被管理，以預(yù)防因其超管理線而導(dǎo)致的產(chǎn)品信賴性失效。

上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本發(fā)明的原理及其功效，而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。

源自凈化工程：http://www.gxshunjiang.com/??? ??微信公眾號(hào)：rfilter????董生137-10902965