對生產(chǎn)量不斷增加的凈化車間潔凈度，對失控采取措施，使車間的潔凈度達到要求。在生產(chǎn)條件許可的情況下，改變空調(diào)運行的各項參數(shù)，達到節(jié)約大量電費的目的。

關鍵詞?潔凈度?溫濕度?基準?設定點

Example of cleanliness and?energy-saving management of some?cleanroom

By Al Wenbao

Abstract The cleanliness in clean room get worse because of continuous increase of production．It is necessary take measures for regulation of air-conditioning operating paramets，not only reach the necessary cleanliness，but also save the electrical cost．

Keywords?Cleanliness?Temperature and humidity?Basis?Setpoint

*Shen Zhen San Xing Shi Jie Co．，Ltd．China

隨著我國電子工業(yè)的飛速發(fā)展以及產(chǎn)品的供過于求，各項產(chǎn)品的競爭日趨激烈，打贏這場競爭的關鍵是產(chǎn)品的質(zhì)量和價格。潔凈度是電子產(chǎn)品生產(chǎn)的前提條件，而低成本則是產(chǎn)品價格的基礎。下面介紹一下我們在此方面的一些管理經(jīng)驗，以供大家參考。

1?潔凈度管理

我們的生產(chǎn)車間要求的空調(diào)潔凈度為3000(英制，下同)及5000級，安裝廠家調(diào)試時均按實際設計數(shù)據(jù)確定，如：高效過濾器出口為lm／s左右的風速?；仫L口為2m／s左右的風速，起初投產(chǎn)及中批量生產(chǎn)時，潔凈度能達到要求。調(diào)試廠家撤離后，隨著產(chǎn)量的增加，潔凈度逐漸達不到要求，加之設備的改造升級，實際產(chǎn)量超過設計產(chǎn)量時潔凈度問題更加突出，部分工位的潔凈度甚至降到100萬級；且該區(qū)域周圍大面積潔凈度超標，公司由于擔心出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量問題一度停產(chǎn)，外方專家對超標原因進行各種推測，始終沒有找到原因。后來筆者嘗試兩臺塵埃粒子計器同時在兩處測定，且取樣量由0．1英尺3減到0．01英尺3，先找到潔凈度數(shù)值較大點，儀器在較大點不動，另一儀器再換地地方檢測(當然是較可疑的地方)，這樣經(jīng)過多次檢測，終于將許多因素排除后確認是小車排氣出口的油霧導致凈度大面積超標；讓維修人員將所有油泵出口處的接頭認真處理，并檢測合格后，再到周圍范圍內(nèi)檢測居然達到1000級。利用同樣的方法還查到擴散的HF氣體，高壓噴嘴噴出的水霧都是潔凈度超標的污染源，并采取將氣體擴散處增加圍簾，水霧處增加排風量的方式，將源頭一一堵住。

今年4月在全集團十二個公司潔凈度檢測評比時，我公司凈化車間的潔凈度無一處超標，總評為滿分而奪得第一名。并且此查找發(fā)生源的方法已在全集團內(nèi)廣泛開展。

2?節(jié)能運行管理

為了降低運行成本，我公司的空調(diào)運行采取

了以下方法：

(1)冷凍水的溫度、壓力隨季節(jié)的變化而變化；夏季時由于大氣的溫濕度高，空氣送到生產(chǎn)現(xiàn)場之前，需要降溫除濕(室外大氣濕度經(jīng)常達85％以上)，這時我們將冷凍水溫控制在6～7℃，壓力5-5．5kg／cm2，冬季如果冷凍水還是以上的溫度、壓力，那么空調(diào)的冷凍水閥門開到很小也很難控制，最終導致冷凍水、加熱、加濕閥門三個都打開，造成能源的巨大浪費。為了節(jié)約能源，我們將冷凍水溫控制在溫度8-11℃，壓力在2．7～3．5kgf／cm2的范圍內(nèi)。此項簡單的調(diào)整，就可達到冬季空調(diào)只開兩個閥門(冷凍水、加熱或冷凍水、加濕)，60臺空調(diào)冬季平均每天節(jié)約400USRT的冷量以及30t的蒸汽。

(2)各工序的壓差按下限0．5mm水柱(5Pa)控制，雙電機空調(diào)盡量只開一臺。我公司的重要工序空調(diào)都設計為雙風機運行，設計的換氣次數(shù)的參考值為同行業(yè)的平均值，上一節(jié)說過：我公司潔凈度在集團內(nèi)部排名第一，由于潔凈度都在1000級以下，經(jīng)過仔細計算送風量，換氣次數(shù)，風量減小后溫濕度變化，決定將部分空調(diào)的雙風機改為單風機運行，新風量適當加大，而潔凈度也稍有下降，濕溫度、正壓等參數(shù)也在規(guī)定范圍內(nèi)，此舉又為公司節(jié)約130多萬元電費。

(3)根據(jù)深圳夏季長、冬季短的特點，將恒溫恒濕空調(diào)的溫濕度基準適當上調(diào)(即熱焓上調(diào))，以節(jié)約冷量和熱量。例如：我們的電子槍工程和膜工程起初的設計運行條件分為：22℃、55％和22．5℃、65％，經(jīng)過逐步摸索改善，現(xiàn)已將其溫濕度提高到24℃、55％和24．5℃、65％，僅這些空調(diào)運行一年節(jié)減的電費為140萬元。

(4)其他節(jié)能措施：在夏季為了減輕冷凍水的降溫除濕負荷，我們在不影響空調(diào)控制范圍的前提下，將夏季一直開冷凍水除濕、加熱升溫的空調(diào)設定點適當上調(diào)，例如將24℃、55％上調(diào)到24．3℃、58％運行；將一直開冷凍水降溫、等溫加濕的空調(diào)濕度設定點適當下調(diào)，例如24．5℃、65％調(diào)到24．5℃、62％運行；夏季新風量和排風量開到最小；冬季則在空調(diào)許可的情況下將新風量和排風量開到最大。舒適性空調(diào)則安裝溫控器，將環(huán)境溫度真正控制在26～28℃，以達到最大限度節(jié)能的目的。

以上是本人在潔凈行業(yè)工作的一點心得，以供參改。

參考文獻

1《空氣調(diào)節(jié)設計手冊》．北京：?中國建筑工業(yè)出版社，1986

2《簡明空調(diào)設計手冊》?．北京：?中國建筑工業(yè)出版社，2002

圖1?原有工藝布置平面圖方協(xié)商，提出了改造方案。

2．1???工藝布置改造方案

(1)把原有系統(tǒng)中的辦公室和展室調(diào)整到凈化區(qū)以外；

(2)千級間與非凈化區(qū)域緊鄰，有利于千級間的空氣狀態(tài)參數(shù)的控制，調(diào)整平面布置如圖2所示，原有設計中儲物混合在黃光室內(nèi)，經(jīng)甲方要求，改造方案中將儲物單間設置成一個房間，以利于生產(chǎn)和物品的管理；

(3)為了便于各功能區(qū)(黃光室等凈化區(qū)及擴散爐等舒適空調(diào)區(qū))進行風量及正壓的控制和調(diào)節(jié)，各功能區(qū)均以彩鋼夾芯板作圍護結(jié)構(gòu)，以對凈化、非凈化、高溫等功能區(qū)進行隔離，保證氣密性，實現(xiàn)風量、正壓等空調(diào)參數(shù)的控制。

2．2?凈化空調(diào)系統(tǒng)改造方案

(1)根據(jù)文獻【1】要求凈化區(qū)域與非凈化區(qū)域應采用不同的空氣處理系統(tǒng)，所以將原有系統(tǒng)分成三個系統(tǒng)，其中千級間黃光室、配藥和儲物設為JK-1系統(tǒng)，其余的萬級潔凈房間為JK-2系統(tǒng)，空調(diào)區(qū)域擴散爐間K-1系統(tǒng)。JK-1系統(tǒng)和JK-2系圖2?改造后工藝布置平面。