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無(wú)塵室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
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電子無(wú)塵室空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)測(cè)試方案

2026-04-29

電子無(wú)塵室空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)測(cè)試方案

編制:

審核:

2012年05月30日

一、前言:

為系統(tǒng)可順利移交業(yè)主,及其驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),故研擬本計(jì)劃書(shū)。此計(jì)劃書(shū)大綱如下:

(1)測(cè)試方法。

(2)測(cè)試基準(zhǔn)。

(3)測(cè)試表格。

二、時(shí)間:

調(diào)試項(xiàng)目 開(kāi)始日期 完成時(shí)間
一、系統(tǒng)測(cè)試 2012/6/4 2012/6/5
風(fēng)壓測(cè)試 2012/6/4 2012/6/5
風(fēng)速測(cè)試 2012/6/4 2012/6/5
落塵測(cè)試 2012/6/4 2012/6/5
無(wú)塵室溫、濕度測(cè)試 2012/6/4 2012/6/5
高效過(guò)濾器風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試 2012/6/4 2012/6/5

三、測(cè)試條件和程序:

1.無(wú)塵間測(cè)試基準(zhǔn):

-01)室外條件:夏季:35℃DB、70%?冬季:-5℃DB、50%RH

-02)室內(nèi)條件:無(wú)塵室:溫度23±2℃、濕度為50±5% RH;噪音:65DBA以下

2.無(wú)塵間檢查測(cè)試程序:

(1)測(cè)試順序與時(shí)間:

項(xiàng)次 項(xiàng)目 正式系統(tǒng)
無(wú)塵室 機(jī)房
1 正壓建立 2012/6/3 NA
2 CLEAN UP 2012/6/3 NA
3 風(fēng)壓測(cè)試 2012/6/4 NA
4 風(fēng)速測(cè)試 2012/6/4 NA
5 落塵測(cè)試 2012/6/4 NA
6 溫度、濕度測(cè)試 2012/6/4 NA
高效過(guò)濾器風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試 2012/6/4 NA

(2)檢查測(cè)試儀器及測(cè)試地點(diǎn):

目次 品名 儀器廠(chǎng)牌 測(cè)試地點(diǎn)
1 風(fēng)壓表 Bulletin A-27 無(wú)塵間三點(diǎn)測(cè)試
2 風(fēng)速計(jì) TESTO-400 空調(diào)機(jī)供風(fēng)管道
3 溫度測(cè)量?jī)x SRS13-6IN-90-NI40200 空調(diào)機(jī)供風(fēng)管道
4 濕度測(cè)量?jī)x SRS13-6IN-90-NI40200 空調(diào)機(jī)供風(fēng)管道
5 落塵測(cè)試儀 Laster particle counter-0.3μm×1cfm 無(wú)塵間內(nèi)1.1米高度多個(gè)位置

A.風(fēng)速、風(fēng)量測(cè)試

(a)此檢測(cè)計(jì)劃在于確認(rèn)室內(nèi)總風(fēng)量、風(fēng)速是否合乎規(guī)范要求。

(b)檢測(cè)儀器:

經(jīng)校正合格有效期一年內(nèi)之風(fēng)速計(jì)測(cè)試

(c)檢測(cè)點(diǎn):檢測(cè)點(diǎn)位于主風(fēng)管和高效過(guò)濾器下方300mm處,且每一過(guò)濾器取六點(diǎn)測(cè)試。

檢測(cè)儀器檢測(cè)時(shí)須以適當(dāng)之架臺(tái)支撐或延伸架固定。

(d)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):

每一過(guò)濾器出口風(fēng)速須較高于設(shè)計(jì)之空氣量規(guī)格。

備注:本項(xiàng)目每個(gè)風(fēng)口設(shè)計(jì)風(fēng)量為1500m3/h左右。

B.潔凈度(落塵量)(Cleanliness)

(a)此測(cè)試在于證明潔凈度合乎無(wú)塵室規(guī)范要求。

(b)檢測(cè)儀器:

Laster particle counter-0.3μm×1cfm檢測(cè)儀器測(cè)試

(c)檢測(cè)方法:每一無(wú)塵室潔凈度均須以L(fǎng)aster particle counter檢測(cè)。

-a)檢測(cè)點(diǎn):以FS 209E亂流潔凈室標(biāo)準(zhǔn)測(cè)測(cè)試點(diǎn)數(shù)N=(地板總面積)/(潔凈度等級(jí)平方根),高度為高架地板/地板起1,100mm高度,每一檢測(cè)點(diǎn)測(cè)試時(shí)間為一分鐘。 (參考潔凈室http://www.gxshunjiang.com/)

備注:本項(xiàng)目測(cè)試點(diǎn)數(shù)N=640/316.2≈2。

-b)檢測(cè)儀器檢測(cè)時(shí)須以上適當(dāng)之架臺(tái)支持或以延伸架固定。

(d)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):FS 209E落塵控制量

(e)測(cè)試區(qū)域(等級(jí)100K)

a.???潔凈室清凈度粉塵檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

清靜度(級(jí)數(shù)) 測(cè)定粒子(μm)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1,000 NA NA

NA

1,000 7
10,000 NA NA

NA

10,000 70
100,000 NA NA NA 100,000 700

C.室內(nèi)壓力(Room Pressurization)

(a)此測(cè)試在確保無(wú)塵室依甲方要求均維持在正壓狀態(tài)。

(b)檢測(cè)儀器:

檢測(cè)儀器須經(jīng)校正合格且有效期一年內(nèi)者,使用0~60Pa刻度型壓力計(jì)。

(c)測(cè)試方法:

-a)檢測(cè)點(diǎn):三點(diǎn)測(cè)試

檢測(cè)點(diǎn)于無(wú)塵室內(nèi)放置測(cè)試管并室外測(cè)試管做為壓差產(chǎn)生數(shù)據(jù)。

-b)室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq壓力。

-d)于運(yùn)行階段正常動(dòng)作下之排氣系統(tǒng)排氣量調(diào)整為平衡狀態(tài)。

-e)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):壓力測(cè)試結(jié)果須較≥10Pa。

D.溫度及濕度(Temperature and Humidity)

(a)此項(xiàng)檢測(cè)系確認(rèn)無(wú)塵室內(nèi)溫度及濕度均在要求范圍內(nèi)。

(b)檢測(cè)儀器

-a)檢測(cè)精確能力可達(dá)±0.5℃之pc溫度計(jì)或同級(jí)品。

-b)能力可達(dá)±2之電子濕度計(jì)或同級(jí)品。

-c)檢測(cè)儀器均須校正合格且在有效期一年內(nèi)者。

-d)前或交付報(bào)告時(shí)均須檢附校正合格文件。

(c)檢測(cè)方法

-a)無(wú)塵室內(nèi)每區(qū)取一點(diǎn)并位于地板上方1,100mm之高度處。

-b)每一檢測(cè)點(diǎn)至少須測(cè)試10MIN。

-c)測(cè)試點(diǎn):無(wú)塵車(chē)間5個(gè)點(diǎn),特氣間2個(gè)點(diǎn),實(shí)驗(yàn)室2個(gè)點(diǎn)。

(d)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):檢測(cè)及監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)均須在規(guī)范要求范圍內(nèi)。

本項(xiàng)目設(shè)計(jì)值:溫度23±2℃、濕度為40-60%RH。