潔凈室工作人員是最大的污染源之一。
即使是一個經過風淋的潔凈室操作員，當他坐著時，每分鐘也可釋放十萬到一百萬個顆粒。當人員移動時，這個數(shù)字還會大幅增加。當一個人以每小時兩英里的速走動時，他每分鐘釋放高達五百萬個顆粒，這些顆粒都是來自壞死的皮膚和脫落的頭發(fā)。其他顆粒源還有噴發(fā)膠?；瘖y品。.染發(fā)。還有暴露的衣服。
普通的衣服，即使在潔凈服內，也會給潔凈室增加上百萬個微粒。在潔凈度非常高的潔凈室內，操作員只能穿無脫落材料而且編制緊密的衣服。而用毛線和棉線編織的衣服則被禁止，而且潔凈服要制成高領長袖口的。人類的呼吸也包含著大量的污染，每次呼氣向空中排出大量的水汽和微粒。而一個吸煙者的呼吸在吸煙后的很長一段時間里仍能帶有上百萬的微粒。而體液，例如含鈉的也是半導體器件的主要殺手。健康的人是許多污染的污染源，而生病的人就更加嚴重了。特別是皮疹和呼吸傳染病患者還會產生額外的污染源。一些制造廠對患特定病癥的工作人員進行另行安排。(參考潔凈室：http://www.gxshunjiang.com/)
從總體來看，唯一使工作人員適于潔凈室工作的可行的辦法是把工作人員完全包裹起來。而且潔凈室工作人員的潔凈服材料因潔凈度的要求不同而不同。對于一個典型的潔凈區(qū)腐蝕材料應不易產生脫落，并且含有導電的纖維以對釋放靜電。一般使用材料為聚酯與GORETEXTM.還要要求權衡材料的過濾能力與操作人員穿戴的舒適度。與手套一樣，重新清洗還是一次性廢棄，在潔凈服的使用中也是難以抉擇，大多數(shù)ULST加工廠發(fā)現(xiàn)可以再利用的潔凈服，即使有一定的清洗費用，也可以降低整體費用。
身體的每一部分都要被罩住。頭部要用內帽來罩住頭發(fā)，外面再套一層外罩，外罩的設計與臉部相適合，并帶有披肩，以確保用工作服蓋住披肩以壓住頭罩。面罩有各種樣式，從手術醫(yī)師式到完全滑雪式。在一些潔凈室，內部面罩和外部面罩同時使用。眼睛也是產生液態(tài)微粒的主要來源，用帶有側翼的眼鏡蓋?。ㄍǔＪ前踩坨R）。
在控制污染非常重要的區(qū)域，操作人員帶有完全防護罩，可以完全蓋住頭和臉部。以宇航員的頭套為模型，衣服可接有過濾布帶。吹風機和真空系統(tǒng)。新鮮空氣由真空泵提供，而過濾器保證呼出的氣體的污染物不被吹進潔凈室。
引發(fā)微粒增加的活動（混合電路技術手冊，Noyes出版）：
Normal? Breath正常呼吸
No? Particles無微粒
Smoker? is? Breath? after? Smoking? 吸煙后吸煙者的呼吸
Sneezing 噴嚏
Sitting?? Quietly安坐
Rubbing? Hands? On? Face手摩擦臉
Walking步行
Stamping? Foot? on? Floor用腳跺地板
完全罩住身體的服裝（巴尼服），可罩住腿。胳膊和脖子，設計較好的工作服要把拉鎖也要蓋住，而且沒有外面的口袋。腳也用鞋套蓋住，有的還帶有連到小腿的護腿。在對靜電敏感的區(qū)域，還有靜電帶用以釋放靜電電壓。手要至少帶上一副手套。大多數(shù)使用醫(yī)用PVA手套，這種手套的觸覺感覺舒適。操作化學品時使用的手套的材料有桔紅色的橡膠手套（防酸），綠色的氰橡膠手套（防溶劑）和銀色的多層PVA手套（防特殊溶劑）。有些區(qū)域，內部可帶一副棉質手套以便穿戴舒適。手套應拉長壓住袖口，防止使手臂上的污染物進入潔凈室。皮膚脫落物可以用也只的潤膚品進一步控制，這種潤膚品可以使皮膚濕潤，但不能包含鹽分和氯化物。種植，穿衣的順序應該從頭向下穿，這樣處理使在上一步所揚起的灰塵用下一部位的服飾蓋住。而最后帶上手套。
控制來自潔凈室的工作人員污染的特殊潔凈服裝與穿戴程序是眾所周知的，不過最有效的預防手段就是對操作人員的培訓和操作人員的落實情況。區(qū)域中工作人員對潔凈室的紀律要求很容易松懈，而使?jié)崈羰业奈廴径壬摺?/p>
