潔凈室高效風(fēng)口現(xiàn)場檢漏案例說明（主標(biāo)）
氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法的對比探討（副標(biāo)）
本文通過對比試驗對氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法這兩種測試方法的技術(shù)與經(jīng)驗進行了相關(guān)探討，其試驗結(jié)論對于提高目前風(fēng)口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。（引言）
根據(jù)GB50591-2010潔凈室施工及驗收規(guī)范、ISO14644標(biāo)準(zhǔn)以及SFDA GMP（附錄1）的要求，高效過濾器安裝后，應(yīng)對其進行檢漏測試，以檢查過濾器密封墊、框架及過濾器濾材等處的密封性并定期進行高效過濾器的檢漏試驗，確保其符合要求。它是保證車間潔凈環(huán)境的重要手段之一。
根據(jù)ISO14644-3.B.6給出的測試方法，高效風(fēng)口檢漏試驗一般采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數(shù)器法。
高效過濾器檢漏使用塵源有聚α烯烴（PAO）和癸二酸二（2-乙基己基）酯）DEHS等幾種。
氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法的測試區(qū)別（一級標(biāo)題）
氣溶膠光度計法使用的測量儀器是氣溶膠光度計。氣溶膠光度計是一種前散射線性光度計。它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是當(dāng)氣流被真空泵抽至光散射室時，其中的顆粒物質(zhì)散射光線至光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號，此信號經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號對比，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴（PAO）。光度計測量結(jié)果顯示的是μg/L (微克/升)
粒子計數(shù)器法使用的測量儀器是粒子計數(shù)器。粒子計數(shù)器的工作原理是將來自光源的光線被透鏡組聚焦于測量腔內(nèi)。當(dāng)空氣中的每一個粒子快速地通過測量腔時，便把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經(jīng)過透鏡組被送到光檢測器，正比地轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，再經(jīng)過儀器電子線路的放大、甄別，揀出需要的信號，通過計數(shù)系統(tǒng)顯示出來，得知空氣中微粒的粒徑和個數(shù)。檢漏使用的塵源是癸二酸二（2-乙基己基）酯（DEHS）。粒子計數(shù)器結(jié)果顯示的是：粒徑的粒子數(shù)，單位為顆/28.3L。
2011年5月，我司的車間進行了氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)器法檢漏的對比試驗。試驗對象為規(guī)格1190×650的層流罩，高效過濾器采用反液槽密封無隔板高效過濾器，尺寸規(guī)格484×484×70，四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。
本次試驗依據(jù)為ISO14644-3-B.6.2使用氣溶膠光度計對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法和ISO14644-3-B.6.3使用粒子計數(shù)器對就位過濾系統(tǒng)掃描檢漏的方法。
本次試驗使用的儀器如下：ATI-TDA-2H氣溶膠光度計,美國ATI公司產(chǎn)品；ATI-TDA-6C發(fā)生器(PAO)，美國ATI公司產(chǎn)品；SX-L310S計數(shù)檢漏儀，蘇信凈化廠產(chǎn)品；SX-Q3氣溶膠發(fā)生器（DEHS），蘇信凈化廠產(chǎn)品；SX-S015稀釋器(109倍)，蘇信凈化廠產(chǎn)品；風(fēng)速儀，北京。
實驗內(nèi)容及數(shù)據(jù)分別如表1、表2、表3、表4所示。
表1對比檢測一：用光度計和粒子計數(shù)器分別進行檢漏測試
| 序號 | 儀器 | 光度計 | 粒子計數(shù)器 |
| 1 | 發(fā)塵塵源 | PAO | DEHS |
| 2 | 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)依據(jù) | ISO 14644-3-B.6，IES-RP-CC0O1.3 | ISO 14644-3-B.6 EN1882 |
| 上游濃度20μg/L | 1200萬顆/28.3L | ||
| 漏點值 ≥0.01% | ≥100顆 | ||
| 3 | 測試上游發(fā)塵量 | 20μg/L | 1200萬顆/28.3L |
| 4 | 過濾器掃描檢漏 | 合格 | 合格 |
| 5 | 新安裝到層流罩上檢漏 | 檢測出一個漏點 | 檢測出一個漏點 |
| 6 | 用針在過濾器上扎3個φ0.2mm孔，分布四周并作標(biāo)記 | 檢測1下游0.06% | 下游：0.3μm 400顆左右 |
| 檢測2下游0.06% | 下游：0.3μm 400顆左右 | ||
| 檢測3下游0.06% | 下游：0.3μm 400顆左右 |
表2對比檢測二：光度計和計數(shù)器上游發(fā)塵濃度實測對照表
| 序號 | 儀器 | 光度計 | 粒子計數(shù)器 | |
| 1 | 氣溶膠 | PAO | PAO | |
| 2 | 上游發(fā)塵濃度 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
ISO 14644-3 IEST-RP-CCOO1.3 |
0.11μg/L | 654萬顆/28.3L | |
| 10μg/L | 2.5×107顆/28.3L（計數(shù)器已飽和）
注：計數(shù)器超過200萬顆/28.3L） |
|||
| 20μg/L | 3.05×107顆/28.3L | |||
| 40μg/L | 3.27×107顆/28.3L | |||
| A | 氣溶膠 | DEHS | DEHS | |
| B | 上游發(fā)塵濃度 | 0.02μg/L | EN1822-4:2000附錄B.1下游最低漏點值100顆?（ 根據(jù)ISO 14644-3公式推算出）
H13過濾器? 120萬顆/28.3L |
|
| 0.16μg/L | H14過濾器? 1200萬顆/28.3L | |||
| U15過濾器? 4000萬顆/28.3L |
表3對比檢測三：用PAO發(fā)塵，用光度計和計數(shù)器測試
| 序號 | 名稱 | 光度計 | 計數(shù)器 |
| 1 | 氣溶膠 | PAO | PAO |
| 2 | 上游濃度 | 0.16μg/L | 1200萬顆/28.3L |
| 3.用針在過濾器上扎3個φ0.2mm孔，分布四周并作標(biāo)記 | 下游濃度 | 未檢出漏點 | 0.3μm 400顆左右
（檢出漏點） |
表4對比檢測四：用DEHS發(fā)塵，用光度計和計數(shù)器測試
| 序號 | ???名稱 | 光度計 | 計數(shù)器 |
| 1 | 氣溶膠 | DEHS | DEHS |
| 2 | 上游濃度 | 0.16μg/L | 1200萬顆/28.3L |
| 3.用針在過濾器上扎3個φ0.2mm孔，分布四周并作標(biāo)記 | 下游濃度 | 未檢出漏點 | 0.3μm 400顆左右
（檢出漏點） |
試驗結(jié)論（一級標(biāo)題）
氣溶膠光度計法操作簡便，相對粒子計數(shù)法使用方便。
用PAO測試時，光度計的上游濃度同樣為0.16μg/L ,相當(dāng)于粒子計數(shù)器為1200萬顆/28.3L，計數(shù)法能在下游檢測出漏點，而用光度計無法檢測出漏點；用DEHS測試時，被測結(jié)果與上述數(shù)據(jù)一致，說明計數(shù)法更靈敏。
在同樣的漏點被檢測出時，光度計法所需要上游濃度要比粒子計數(shù)法大100倍左右，這就造成了對過濾器和環(huán)境的污染。濃度越大，噴霧時間長的話，會有微小油滴聚集。
用計數(shù)器法對過濾器檢漏,上游所需發(fā)塵濃度低,下游探測靈敏度高，相對光度計法污染低。
用計數(shù)器法可直接現(xiàn)場打印數(shù)據(jù)，得到粒子粒徑數(shù)，便于追查漏點原因，而光度計法則無現(xiàn)場打印功能，無粒徑概念，對超高效不合適。
推薦使用氣溶膠：DEHS，更經(jīng)濟實惠，而且符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
本次試驗對比旨在對上述兩種測試方法之間的技術(shù)與經(jīng)驗進行相關(guān)交流與學(xué)習(xí)，同時也對提高目前風(fēng)口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。
