潔凈室工程師培訓教材

張利群

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二OO六年十月

 

 

暖通凈化工程師培訓教材

目?????錄

一.????空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化的基礎知識

（一）空氣調(diào)節(jié)的基本概念

A.?空氣調(diào)節(jié)及其分類

B.?濕空氣的焓濕圖及其應用

1.?濕空氣的焓濕圖

2.?焓濕圖中的名詞定義

3.?焓濕圖的應用

4.?焓濕圖應用的舉例

C.?空調(diào)送回風的氣流組織

（二）空氣凈化的基礎知識

A.?潔凈室及其四大要素

B.?潔凈室的應用及其分類

C.?潔凈室與一般空調(diào)的差別

D.?工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別

E.?潔凈室潔凈度的等級標準

二．潔凈室的設計

(一)?潔凈室設計前的準備工作及應收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料

A.?收集國家和地方有關(guān)潔凈室建設的政策，標準，規(guī)范

B.?研讀該項目的（可行性研究報告）和（設計任務書）

C.?收集建廠地區(qū)的氣象，水文，地質(zhì)和周圍環(huán)境的資料

D.?收集生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求和生產(chǎn)工藝的有關(guān)資料

E.?收集潔凈室的建筑和結(jié)構(gòu)的有關(guān)資料

F.?了解有關(guān)能源（冷源，熱源，電源）的情況及其供應

G.?了解當?shù)赜嘘P(guān)消防和環(huán)保部門的要求

H.?了解相關(guān)專業(yè)的情況和要求

I. ?收集有關(guān)的設備，材料等資料

（二）凈化空調(diào)系統(tǒng)的負荷計算

A.?潔凈室的熱負荷（Q）計算（熱平衡計算）

潔凈室的熱負荷包括下列各項

1.?圍護結(jié)構(gòu)的熱負荷

2.?室內(nèi)人員熱負荷

3.?室內(nèi)照明熱負荷

4.?室內(nèi)設備熱負荷

5. FFU的熱負荷

6.?潔凈室的總熱負荷計算

B.?潔凈室的濕負荷（W）計算（濕平衡計算）

潔凈室的總濕負荷包括下列各項

1.?室內(nèi)人員濕負荷

2.?室內(nèi)設備濕負荷

3.?潔凈室的總濕負荷計算

C.?潔凈室的濕熱比（ε）計算

D.?潔凈室的發(fā)塵源及其發(fā)塵量

1.?人員發(fā)塵

2.?工藝設備和工藝過程的發(fā)塵

3.?建筑材料的發(fā)塵

E.?潔凈室的風量（L）計算（風平衡計算）

1.?潔凈室的送風量（L_送）計算

⑴.?消除余熱的送風量（L_送1）

⑵.?消除余濕的送風量（L_送2）

⑶.?凈化送風量（L_送3）

2.?潔凈室的新風量（L_新）計算

⑴?潔凈室的排風量（L_排）

⑵?潔凈室的正壓漏風量（L_正）

⑶?潔凈室內(nèi)人員新風量（L_人）

⑷?潔凈室的新風量（L_新）

F.?凈化空調(diào)系統(tǒng)的總冷量（Q_冷）、總加熱量（Q_熱）、總加濕量（W）的計算

1.?一次回風的空氣處理方案

2.?一、二次回風的空氣處理方案

3.?新風機組（MAU）加風機過濾器單元（FFU）加干冷盤管（DC）的空氣處理方案

G.?凈化空調(diào)系統(tǒng)的水利計算（阻力平衡計算）

1.?摩擦阻力計算

2.?局部阻力計

3.?總阻力

（三）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分

A.?排風系統(tǒng)劃分的原則

B.??凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分的原則

（四）?潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風型式的比較和選擇

A.?凈化送風與空調(diào)送風合一的型式

1. AHU全新風的凈化空調(diào)送風型式

2. AHU一次回風凈化空調(diào)送風型式

3. AHU?一、二次回風凈化空調(diào)送風型式

4. MAU+RAU的凈化空調(diào)送風型式

B.?凈化送風與空調(diào)送風分離的型式

1.? AHU(MAU)+FFU的凈化空調(diào)送風型式

2. MAU+RAU+FFU的凈化空調(diào)送風型式

3. MAU+DC+FFU的凈化空調(diào)送風型式

(五)?潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷，熱源

A.?凈化空調(diào)系統(tǒng)冷源的選擇

B.?凈化空調(diào)系統(tǒng)熱源的選擇

（六）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能

A.?潔凈室的空調(diào)負荷

B.?潔凈室空調(diào)的負荷特點

C.?潔凈室空調(diào)的節(jié)能措施

三．凈化空調(diào)設備

（一）空氣的過濾的基本知識及空氣過濾的選擇應用

A．?過濾機理和過濾器的分類

B.??過濾效率的測試方法

C．?過濾器的功能及作用

（二）空氣處理機組（空調(diào)器）的選擇

A.?工業(yè)潔凈室用空調(diào)機組

B.?生物潔凈室用空調(diào)機組

C.?表冷器，加熱器，加濕器的選擇

D．淋水室和化學過濾器的選擇

E.?消聲器和消聲彎頭的選擇

F.???凈化空調(diào)機組送風機的選擇

G.??FFU和干冷盤管的選擇

1．FFU

2．干冷盤管

（三）局部凈化設備

A．?吹淋室

B．?自凈器

C．?凈化工作臺

D．生物安全柜

E．層流罩

四．潔凈室的建造特點

（一）???建造的潔凈室必須保證生產(chǎn)工藝所要求的各項參數(shù)

（二）???建造的潔凈室要具有一定的靈活性

（三）???建造潔凈室需要較大的投資

（四）???潔凈室運行耗電量大運行費用高

五．潔凈室的竣工驗收調(diào)試，性能測試和潔凈室的綜合評價

（一）調(diào)試前的準備工作

（二）單機試車

（三）聯(lián)動調(diào)試

（四）潔凈室的性能測試和綜合評價

六．潔凈室的性能測試

（一）潔凈室性能測試的目的

（二）潔凈室性能測試的內(nèi)容

（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表

（四）潔凈室性能測試的方法

七．潔凈室維護管理的一問題

（一）???過濾器的基本知識及其維護管理

（二）???潔凈室的發(fā)塵源和潔凈室的清埽

（三）???潔凈室的空氣品質(zhì)

（四）???潔凈工作服及其清洗

（五）???潔凈區(qū)廁所的設置

（六）???值班風機的設置

（七）???吹淋室的設置及吹淋效果

（八）???潔凈室的正壓維持

（九）???潔凈室的消毒和滅菌

（十）???潔凈室的顏色處理

（十一）潔凈室的靜電和靜電的消除

（十二）潔凈室的防火和防爆

（十三）潔凈室的能耗和節(jié)能

（十四）潔凈室的竣工驗收調(diào)試和在線測試

（十五）凈化空調(diào)系統(tǒng)的家濕問題

（十六）凈化空調(diào)系統(tǒng)的管道保溫和防結(jié)露問題

（十七）凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱問題

 

 

 

 

 

 

潔凈室工程師培訓教材正文

一.?空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化的基礎知識

（一）空氣調(diào)節(jié)的基本概念

A,?空氣調(diào)節(jié)及其分類

空氣調(diào)節(jié)就是使房間或封閉空間的溫度，相對濕度，潔凈度，和氣流速度等參數(shù)均達到給定要求的技術(shù)。也就是說，在人們的生活和工作以及生產(chǎn)和科研的某一個特定的空間內(nèi)其環(huán)境空氣的溫度，濕度，潔凈度，和氣流速度等構(gòu)成了該空間的空氣環(huán)境。采取必要的技術(shù)手段來創(chuàng)造和保持該空間內(nèi)要求的空氣環(huán)境就是空氣調(diào)節(jié)的任務。在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中，空氣處理設備即空調(diào)器是實現(xiàn)空氣熱，濕交換和空氣過濾凈化的核心部分。一個房間或一個空間，在一般情況下除了有來自該房間內(nèi)部的圍護結(jié)構(gòu)，人員，照明燈具及設備產(chǎn)生的熱，濕，粒子，微生物或其他有害物的干擾外，同時還有來自房間外部的大氣，太陽輻射等的干擾。為了消除上述來自室內(nèi)外的干擾，就必須采取必要的技術(shù)手段，用在空氣處理設備中經(jīng)熱，濕和過濾處理過的空氣來轉(zhuǎn)移，置換，稀釋和沖淡來自方方面面對房間空氣的干擾，來保證房間內(nèi)一定要求的空氣環(huán)境?？諝庹{(diào)節(jié)的原例圖見圖一和圖二。

 

圖二??凈化空調(diào)原理圖

? ? ? ?空氣調(diào)節(jié)按使用對象的不同又可劃分為舒適性空氣調(diào)節(jié)和工藝性空氣調(diào)節(jié)。

????????????舒適性空氣調(diào)節(jié)就是為了滿足人們的舒適要求而設置的空氣調(diào)節(jié)。

工藝性空氣調(diào)節(jié)就是為了滿足生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣參數(shù)的要求而設置的空氣調(diào)節(jié)。環(huán)境空氣的溫濕度等參數(shù)均由生產(chǎn)工藝來決定。不同的生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣參數(shù)的要求也不相同。

B,?濕空氣焓濕圖及其應用

1.???????濕空氣的焓濕

濕空氣就是我們生活和工作的環(huán)境空氣，就是生產(chǎn)和科學研究的環(huán)境空氣。其主要成份是干空氣和水蒸汽。所謂干空氣就是不含水蒸汽的空氣，其中有78%的氮氣，21%的氧氣和不足1%的氬氣，氖氣等惰性氣體和少量的二氧化碳。在濕空氣中雖然水蒸汽的含量非常少，但是它的作用卻非常大。從某種意義上說調(diào)節(jié)濕空氣中水蒸汽的含量就是空氣調(diào)節(jié)的重要任務之一。

濕空氣的焓濕圖是用來表示濕空氣的溫度、相對濕度、含濕量和焓值等空氣狀態(tài)參數(shù)及其相互關(guān)系的線算圖。是在一定的大氣壓力的條件下，以焓值為縱坐標含濕量為橫坐標，其夾角為135⁰的線算圖。圖中有等溫度線、等相對濕度線、等含濕量線和等焓值線。利用焓濕圖可以表示空氣調(diào)節(jié)處理過程中所發(fā)生的混合、加熱、冷卻、加濕、去濕等所有空氣處理過程，并且利用焓濕圖可以計算出空氣處理過程中所需要的冷量、加熱量、加濕量等各種用量。焓濕圖見圖三。

2,?焓濕圖中的名詞定義：

a.?干球溫度：就是用干球溫度計測出的空氣溫度。

b.?濕球溫度：就是用濕球溫度計測出的空氣溫度。也就是說將溫度計的水銀球用浸水的紗

布包裹起來，所測得的穩(wěn)定的空氣溫度。從理論來說，濕球溫度就是室內(nèi)放置一盆水，水吸收空氣中的熱量后部分水蒸發(fā)成水蒸汽釋放到空氣中，增加空氣的潛熱，而空氣失去了熱量，溫度降低失去了空氣的顯熱。當這一熱濕交換達到平衡以后，空氣所得的潛熱（水蒸汽）和所失的顯熱（溫度降低）達到平衡后，其空氣的總熱量（焓值）不變時，此時的水面空氣的溫度就是空氣的濕球溫度<即增加的潛熱等于失去的顯熱時>。濕球溫度也就是相對濕度100%時的飽和溫度。

c.?相對濕度：空氣中實際的水蒸汽的分壓力與同溫度下飽和狀態(tài)空氣的水蒸汽的分壓力之比。飽和水蒸汽的分壓力為100%。

d.?飽和水蒸汽的分壓力：空氣中的水蒸汽不斷增加達到飽和時，空氣中的水蒸汽就會凝結(jié)成水由空氣中分離出來，此時的溫度為飽和溫度，其相對濕度達到100%。

e.?露點溫度：是在一定大氣壓力的條件下，某含濕量下的未飽和空氣因溫度不斷地降低，相對濕度不斷增加，達到飽和狀態(tài)空氣中的水蒸汽凝結(jié)成水珠，從空氣中分離出來時的溫度叫露點溫度。也就是空氣中的水蒸汽分壓力隨空氣溫度降低不斷升高，達到飽和狀態(tài)（100%）時的溫度叫露點溫度。<span “=””>

<span “=””>f.含濕量：即環(huán)境空氣中1公斤干空氣所含有水蒸汽的質(zhì)量（g）。

<span “=””>g.?：空調(diào)房間內(nèi)的全熱負荷與全濕負荷之比。<span “=””>

在電子工業(yè)產(chǎn)熱量大、產(chǎn)濕量小的潔凈廠房一般的熱濕比8000~10000大卡/kg趨近正無窮大。<span “=””>

對于醫(yī)院的潔凈手術(shù)部的潔凈手術(shù)室的熱濕比大約在1800~2400大卡/kg。因為人多，人的產(chǎn)濕量大，但熱負荷較小。<span “=””>

3,?焓濕圖的應用

在焓濕圖上可以劃出空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)中各種空氣處理的過程線，并且可以在線算圖上查出各種空氣處理過程的空氣參數(shù)和各種所需用量。

a.?等濕加熱：空氣含濕量不變條件下的加熱。環(huán)境空氣的干球溫度升高，相對濕度降低。如：空氣處理中用熱水和蒸汽為熱源的熱交換器加熱、電加熱器的加熱。ε為正的無窮大過程圖線。見圖四。

b.?等濕降溫：空氣含濕量不變條件下的降溫。環(huán)境空氣的干球溫度降低，相對濕度增加但并未到露點，沒有水凝結(jié)出來。如：空氣處理中的干表冷。即送入表冷器中的冷凍水的初溫高于空氣露點。此時ε為負無窮大的過程線。見圖五。

圖四??等濕加熱過程??????????????????????????圖五??等濕降溫過程

c.?等焓加濕：空氣的焓值不變條件下的加濕。即空氣和水直接并充分地進行熱交換的過程。水吸收空氣中的熱量后部分水被蒸發(fā)成水蒸汽進入空氣，空氣失去熱量溫度下降。最終達到空氣失去的熱量等于空氣中增加的水蒸汽的含熱量。其空氣的總熱量（焓值）不變。過程線是135o線，ε= 0，過程線見圖六?？諝馓幚磉^程中淋水室（淋循環(huán)水）濕膜加濕、高壓噴霧加濕、超聲波加濕等加濕的過程線。

d.?生溫去濕：空氣的溫度不斷升高含濕量不斷降低的過程。固體化學去濕的過程就是生溫去濕的過程。即：固體吸濕劑吸收空氣中的水分發(fā)生化學反應放熱使空氣溫度升高，絕對含濕量降低，相對濕度也降低。過程線近似等焓線。常見的分子篩、氯化鋰、硅膠等固體吸濕就是生溫去濕過程。過程線見圖七。

圖六??等焓加濕過程??????????????????????圖七??升溫去濕過程

<span “=””>e.?等溫加濕：空氣干球溫度不變條件下的加濕。向空氣中噴入水蒸汽的過程就是等溫加濕過程?？諝獾臏囟染S持不變，直接將水蒸汽噴入空氣變成空氣中的水蒸汽?？諝馓幚碇谐Ｓ玫膰娬羝?、噴干蒸汽電極式、電熱式的加濕器。過程線見圖八。

<span “=””>f.?降溫去濕（降溫干燥）：空氣的溫度降低同時含濕量也減低的空氣處理過程。向空氣中噴淋低于空氣露點的冷凍水，或?qū)⒌陀诳諝饴饵c的冷凍水（冷媒）通入表面冷卻器，與空氣接觸后，使空氣溫度降低而且還使空氣中的水蒸汽遇冷凝結(jié)成水滴從空氣中分離出來，使空氣的溫度降低,絕對含濕量減少。這是空氣處理中最常用的降溫去濕的方法，也是冷凍去濕的方法。過程線見圖九。向空氣中噴淋液體吸濕劑的處理過程也是降溫去濕減焓過程，但工程中很少應用。

圖八??等溫加濕過程????????????????????圖九??降溫去濕過程

<span “=””>g.?升溫加濕：向空氣中噴熱水的處理過程，是升溫加濕的過程。在工程中很少應用。過程線見圖十。

<span “=””>h.空氣的混合過程：兩種不同狀態(tài)的空氣混合時，其空氣的混合狀態(tài)點在兩種空氣狀態(tài)點的連線上。線段長度之比則為兩空氣質(zhì)量之比。其過程線見圖十一。

圖十??升溫加濕過程????????????????????圖十一??混合過程<span “=””>

焓濕圖上幾種典型的空氣處理過程見圖十二。

濕空氣狀態(tài)的各種參數(shù)，如：干球溫度，濕球溫度，露點溫度，相對濕度，含濕量和焓值等之間都是相互關(guān)連的，只要知道其中的兩，三個參數(shù)在焓濕圖上就可以確定濕空氣的狀態(tài)點。見圖十三。

圖十二??典型的空氣處理過程??????????????????圖十三??空氣狀態(tài)點參數(shù)的確定

4,?焓濕圖的應用舉例<span “=””>

一個潔凈室的室內(nèi)參數(shù)為N，送風參數(shù)為S，熱濕比為ε，送風溫差為。全新風系統(tǒng)。夏季室外計算參數(shù)為Ws，冬季室外計算參數(shù)為Wd?，F(xiàn)需將室外空氣處理到送風參數(shù)點S后，用風管送到潔凈室內(nèi)就能滿足潔凈室的溫、濕度要求?？梢圆扇∠旅娑喾N方法，對空氣進行熱，濕處理都能達到同一個目的。見圖十四。

?圖十四??焓濕圖上的空氣處理過程

如：夏季空調(diào)空氣處理過程可以有如下途徑來實現(xiàn)：

a.? W_S→L→S????????用表冷器或淋水室將室外空氣降溫去濕減焓處理后再等濕再熱。

b.? W_S→a→S????????用固體化學去濕將室外空氣生溫去濕再干冷降溫。

c.? W_S→S???????????用噴淋液體吸濕劑做降溫、去濕、減焓處理。

又如：冬季空調(diào)空氣處理過程可以有如下途徑來實現(xiàn)：

a.? W_d→b→L→S?????先用加熱器對室外空氣預熱再等溫加濕（噴蒸汽）然后用加熱器再熱。

b.? W_d→c→L→S?????先用加熱器對室外空氣預熱再等焓加濕（濕膜等）然后用加熱器再熱。

c.? W_d→d→S????????先用加熱器對室外空氣加熱再等溫加濕（噴蒸汽）。

d.? W_d→L→S????????先用噴熱水對室外空氣升溫加濕然后再熱。

 

C,?空氣調(diào)節(jié)的氣流組織

空氣調(diào)節(jié)氣流組織設計的任務就是要合理地組織室內(nèi)空氣的氣流流動，使工作區(qū)的溫度，濕度，氣流速度和潔凈度能很好地滿足生產(chǎn)和科學研究以及人們舒適感的要求。氣流組織不合理不僅直接影響空調(diào)房間的空調(diào)參數(shù)和空調(diào)效果，而且還要空調(diào)系統(tǒng)的能耗。

空調(diào)系統(tǒng)送風口射出空氣射流是影響室內(nèi)氣流組織的主要因素，而空調(diào)回風口，從流體力學角度是空氣的匯流，起回風速度衰減很快，與其距離的平方成反比。因此回風口的位置對室內(nèi)氣流組織的影響比較小。

空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的氣流組織形式主要有：上送下回，上送下側(cè)回，上送上回，側(cè)上送側(cè)下回等形式。見圖十五。

圖十五???空氣調(diào)節(jié)的氣流組織

 

（二）?空氣凈化的基礎知識

A．潔凈室及其四大技術(shù)要素

根據(jù)生產(chǎn)和科研的要求對室內(nèi)空氣環(huán)境的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數(shù)都進行控制的房間叫潔凈室或潔凈廠房。

潔凈室的四大技術(shù)要素就是：粗效，中效和高效三級過濾，足夠的凈化送風量，室內(nèi)正壓的建立和維持，以及剿端高效或超高效過濾器的設置。

B．潔凈室的應用和分類

當今潔凈室已廣泛地應用在電子、航天、機械、化工、制藥、食品、醫(yī)療、生物工程……各行各業(yè)。而且，隨著國民經(jīng)濟和科研事業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈室的應用將越來越廣泛，越來越重要，

潔凈室可按氣流流型和使用用途以及控制的主要對象來分類。

1,?潔凈室按氣流流型來劃分

①?????單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。

②?????非單向流（亂流）潔凈室

③?????混合流潔凈室

④?????矢流（對角流）潔凈室

⑤?????各種氣流的特點、創(chuàng)造的潔凈度、應用范圍和投資運行費。

▲?單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。

垂直單向流是氣流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s）從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創(chuàng)造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運行費很高，工程中盡量將其面積壓縮到最小，用到必須用的部位。

水平單向流是氣流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s）從一面墻流向?qū)γ娴膲Φ臍饬髁餍?。該氣流可?chuàng)造100級的凈化級別。其初投資和運行費低于垂直單向流流型。

▲?非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風口頂部送風；回風的型式有下部回風、側(cè)下部回風和頂部回風等。依不同送風換氣次數(shù)，實現(xiàn)不同的凈化級別，其初投資和運行費用也不同。

▲?混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構(gòu)成的氣流流型。這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到最小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節(jié)省初投資和運行費。

▲?舉例給出不同氣流流型的送風量、耗冷量、初投資和運行耗電的具體指標見表一，此指標是以電子工業(yè)潔凈廠房為代表，具體數(shù)據(jù)有參考價值，但不能隨便套用。

表一??不同潔凈級別潔凈廠房的送風量、冷量投資耗電的指標

氣流流型	潔凈級別 （級）		送風量 （m/s）（次/h）	耗冷指標 （W/m2）	投資指標 （元/ m2）	耗電指標 （W/m2）
單向流	垂直	10 100	>0.25m/s	1300~1500	10000~13000	1.25~1.35
	水平	100	>0.3m/s	800~1000	5000~6000	0.9~1.0
非單向流	1000		50~60次/h	600~700	2800~3000	0.25~0.33
	10000		25~30次/h	500~600	2000~2200	0.22~0.26
	100000		15~20次/h	350~400	1400~1600	0.13~0.16

 

注：表中的送風量、單向流以斷面風速表示，非單向流以換氣次數(shù)表示。

表中冷量指標一般指電子工業(yè)潔凈廠房。

表中的初投資包括潔凈廠房的圍護、冷凍供應系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)，不含土建結(jié)構(gòu)和自動控制的投資。

表中的耗電量系指制冷系統(tǒng)和空調(diào)送風系統(tǒng)耗電，不含電加熱和電加濕的耗電量。

 

2,?按使用的用途或控制的主要對象劃分

①?工業(yè)用潔凈室：以控制灰塵為主要對象。用于電子、航天、機械、化工、化學制藥……。

②?生物潔凈室：以控制細菌（微生物）為主要對象。用于生物制藥、醫(yī)療、食品、生物工程、動物飼養(yǎng)、生物安全等……。

C．潔凈室與一般空調(diào)的差別見表二

表二????潔凈室與一般空調(diào)的差別

比較項目	一般空調(diào)	凈化空調(diào)
原理	送風和室內(nèi)空氣充分混合以達到室內(nèi)溫濕度均勻	亂流為稀釋原理，層流為活塞原理，送出的潔凈室空氣先達工作區(qū)，罩籠潔凈工作區(qū)
目的	為了控制溫度、濕度、風速和空氣成份的目的	除了一般空調(diào)的目的之外，更重要的是控制粒子的濃度
手段	粗、中效過濾加熱濕交換	除空調(diào)手段外還要加高效、超高效過濾器，對微生物還要有滅菌措施
送風量 （次/h）	一般降溫空調(diào)8~10次/h 一般恒溫空調(diào)10~15次/h	單向流400~600次/h 非單向流15~60次/h
初投資 （元/m2）	一般降溫500元/m2 一般恒溫800元~1000元/m2	單向流5000~15000元/m2 非單向流1500~3000元/m2
運行耗電 （Kw/m2）	一般降溫0.04~0.06 Kw/m2 一般恒溫0.08~0.10 Kw/m2	單向流0.9~1.35 Kw/m2 非單向流0.13~0.33 Kw/m2
冷量指標 （W/m2）	一般降溫150~200 W/m2 一般恒溫200~250 W/m2	單向流800~1500 W/m2 非單向流350~700 W/m2

 

D．工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別見表三

表三???工業(yè)潔凈室與生物潔凈室的差別表

比較項目	工業(yè)潔凈室	生物潔凈室
研究對象 （主要）	灰塵、粒子只有一次污染。	微生物、病菌等活的粒子不斷生長繁殖，會誘發(fā)二次污染（代謝物、糞便）。
控制方法 凈化措施	主要是采取過濾方法。粗、中、高三級過濾，粗、中、高、超高四級過濾和化學過濾器等。	主要是采?。虹P除微生物生長的條件，控制微生物的孳生、繁殖和切斷微生物的傳播途徑。過濾和滅菌等。
控制目標	控制有害粒徑粒子濃度。	控制微生物的產(chǎn)生、繁殖和傳播，同時控制其代謝物。
對生產(chǎn)工藝 的危害	關(guān)鍵部位只要一顆灰塵就能造成產(chǎn)品的極大危害。	有害的微生物達到一定的濃度以后才能夠成危害。
對潔凈室建筑 材料的要求	所有材料（墻、頂、地等）不產(chǎn)塵、不積塵、耐磨擦	所有材料應耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖條件。
對人和物進入 的控制	人進入要換鞋、更衣、吹淋。物進入要清洗、擦拭。人和物要分流，潔污要分流。	人進入要換鞋、更衣、淋浴、滅菌；物進入要擦拭、清洗、滅菌；空氣送入要過濾、滅菌，人物分流，潔污分流。
檢測	灰塵粒子可用粒子計數(shù)器檢測瞬時粒子濃度并顯示和打印。	微生物檢測不能測瞬時值，須經(jīng)48小時培養(yǎng)才能讀出菌落數(shù)量。

 

E．潔凈度的等級標準ISO-14644

ISO-14644是國際標準，現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標準，美國原來應用的是美國聯(lián)邦標準209A、B、C、D、E，現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100級、1000級、10000級和100000級都是源自美國聯(lián)邦標準FS 209B，現(xiàn)在它們分別被國際標準ISO-14644標準中的5級、6級、7級和8級所替代。

ISO-14644的潔凈度等級標準列表四如下。

表四????潔凈室及潔凈空氣中懸浮粒子的潔凈度等級ISO-14644

空氣潔凈度等級（N）	≥表中粒徑的最大濃度限值（個/m3）
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
1	10	2	/	/	/	/
2	100	24	10	4	/	/
3	1000	237	102	35	8	/
4	10000	2370	1020	352	83	/
5	100000	23700	10200	3520	832	29
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7	/	/	/	352000	83200	2930
8	/	/	/	3520000	832000	29300
9	/	/	/	35200000	8320000	293000

注：①?每點應至少采樣3次。

②?本標準不適用于表征懸浮粒子的物理、化學、放射及生命性。

③?根據(jù)工藝要求可確定1~2粒徑。

④?根據(jù)要求粒徑D的粒子最大允許濃度由下式確定（粒徑0.1μm~5μm）

式中N為潔凈度等級在1~9級中間可以0.1為最小單位遞增量插入。

 

國標潔凈等級標準ISO- 14644與各國潔凈度等級標準的比較見表五。

表五????國際標準ISO-14644與各國標準的比較表

國際標準 ISO-14644	中國標準 GB 50073	美國標準 FS 209E	俄國標準 TOCT 50766	日本標準 TIS 9920	德國標準
/	/	/	P0	/	/
1	1	/	P1	1	1
2	2	/	P2	2	2
3	3	M1.5	P3	3	3
4	4	M2.5	P4	4	4
5	5	M3.5	P5	5	5
6	6	M4.5	P6	6	6
7	7	M5.5	P7	7	7
8	8	M6.5	P8	8	8
9	9	/	P9	/	9

 

注：美國聯(lián)邦標準FS 209E已經(jīng)停止使用

二、潔凈室的設計

（一）???潔凈室設計前的準備工作及應收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料

A.?收集國家和地方有關(guān)潔凈室建設的政策，標準，規(guī)范

1、潔凈度等級的國家標準和國際標準ISO 14644

2、“潔凈廠房設計規(guī)范”GB 50073-2001

3、“電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”（修訂中）

4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”（修訂中）

5、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB 50333-2002

6、“實驗動物環(huán)境及設施”GB 14925-2001

7、“生物安全實驗室建筑技術(shù)規(guī)范”GB 50346-2004

8、“潔凈室施工驗收規(guī)范”JGJ 71-90

9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”（制訂中）

10、“采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范”GB 50019-2003

11、“通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范”GB 50243-2002

12、“建筑設計防火規(guī)范”(修訂中)

13、“高層民用建筑設計防火規(guī)范”GB 50045-2001等。

B.?該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復意見；該項目的“設計任務書”和建設方對該項目建造的有關(guān)要求、意見和建議。

C.?該項目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。

D.?潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：

1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設備平面布置圖和設備清單，以及工藝對吊頂高度的要求。

2、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求，越具體越好。

3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時使用系數(shù)等。

4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的局部排風量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。

5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運行的班次、運行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。

E.?潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)

1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。

2、潔凈室圍護結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。

3、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。

F.?全廠冷源、熱源、電源的情況及供應

1、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應量。有無加濕用的蒸汽等。

2、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應量。

G.?地方消防、環(huán)保部門對該項目建設的要求和意見。

H.?其他相關(guān)專業(yè)（給水排水、氣體動力、建筑結(jié)構(gòu)、強電弱電等）的要求和意見。

I.?設計時所用的設備、材料、配件的性能、參數(shù)和價格的資料。

 

（二）凈化空調(diào)系統(tǒng)的負荷計算

A．?潔凈室的熱負荷計算（熱平衡計算）

保溫情況	排風情況
	有局部排風時	無局部排風時
設備無保溫	n4?= 0.4~0.6	n4?= 0.8~1.0
設備有保溫	n4?= 0.3~0.4	n4?= 0.6~0.7

⑤?FFU的產(chǎn)熱

表六????不同溫度條件下成年男子的散熱（W）、散濕（g/h）量表

勞動強度	熱濕量 （W）（g/h）	溫度（℃）
		18	19	20	21	22	23	24	25	26	27	28
極輕勞動	顯熱	100	97	90	85	79	75	70	65	61	57	51
	潛熱	40	43	47	51	56	59	64	69	73	77	83
	全熱	140	140	137	136	135	134	134	134	134	134	134
	散濕量	59	64	69	76	83	89	96	102	109	115	123
輕勞動	顯熱	106	99	93	87	81	76	70	64	58	51	47
	潛熱	79	84	90	94	100	106	112	117	123	130	135
	全熱	185	183	183	181	181	182	182	181	181	181	182
	散濕量	118	126	134	140	150	158	167	175	184	194	203
中度勞動	顯示	134	126	117	112	104	97	88	83	74	67	61
	潛熱	102	110	118	123	131	138	147	152	161	168	174
	全熱	236	236	235	235	235	235	235	235	235	235	235
	散濕量	153	165	175	184	196	207	219	227	240	250	260

 

1． 潔凈廠房內(nèi)發(fā)塵源主要是人，是在廠房內(nèi)操作的人員。人員的發(fā)塵量的大小與人員的動作狀態(tài)和著裝有關(guān)。下表是人員不同著裝和不同動作的發(fā)塵量。

表七??人員不同著裝和不同動作的發(fā)塵量（個/分.人≥0.5μm）

??????????著裝 動作	一般工作服	潔凈工作服
坐不動	3.0×105	1.12×105
上身扭動	8.5×105	2.67×105
上身前屈	22.4×105	5.40×105
原地踏步	23.0×105	8.60×105
步行	29.2×105	10.10×105

 

一般情況下，穿潔凈工作服進行電子工業(yè)裝配生產(chǎn)的工人的發(fā)塵量為3~5×10⁵個/分.人（≥0.5μm）。

2． 潔凈室的建筑產(chǎn)塵

資料介紹實測建筑產(chǎn)塵量（包括墻、地、頂?shù)葒o的產(chǎn)塵）0.8×10⁴個/分.m²。隨著建筑材料的發(fā)展，建筑產(chǎn)塵量會越來越少。

由上述數(shù)據(jù)可見一個人的發(fā)塵量相當于30~50?m²的建筑產(chǎn)塵量。

3．?工藝設備和工藝生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵

工藝設備和生產(chǎn)過程產(chǎn)塵與生產(chǎn)工藝本身有關(guān)，不同生產(chǎn)工藝產(chǎn)塵量差別很大。

據(jù)資料介紹微電動機的發(fā)塵量可為4.5~45×104個/分.臺（≥0.5μm）。

F．?潔凈室的風量計算（風平衡計算）

1、潔凈室的送風量的計算

潔凈室的送風量不僅僅能消除潔凈室的總的余熱，余濕以保證潔凈室的溫度和相對濕度；而且，潔凈室的送風量還應能消除室內(nèi)產(chǎn)生的灰塵等粒子的污染，以保證潔凈室的潔凈度等級。因此，潔凈室的送風量應為消除余熱的送風量，消除余濕的送風量和消除粒子污染的凈化送風量三者之間最大的送風量為該潔凈室的送風量。

在一般情況下，由于室內(nèi)產(chǎn)塵量G很難準確，因此,在工程中都不用上述公式計算送風量。而采用斷面風速法（單向流潔凈室）和換氣次數(shù)法（非單向流潔凈室）進行凈化送風量的計算。

表八????氣流流型和送風量（靜態(tài)）

空氣潔凈度等級	氣流流型	平均風速 （m/s）	換氣次數(shù) （次/時）
1~4	單向流	0.3~0.5	/
5	單向流	0.2~0.5	/
6	非單向流	/	50~60
7	非單向流	/	15~25
8~9	非單向流	/	10~15

注：①?表中換氣次數(shù)適應于層高小于4.0m的潔凈室。

②?室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。

2、潔凈室的新風量計算

潔凈室的新風量不僅僅要補充潔凈室的排風量和維持潔凈室正壓的泄漏風量，同時還要保證潔凈室內(nèi)工作人員每人每小時不小于40m³的新鮮空氣量的要求。因此

 

表九???圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風量表（m³/h?m）

???? ???門窗形式 壓差（Pa）	非密閉門	密閉門	單層密閉 固定鋼窗	單層密閉 開啟鋼窗	傳遞窗	壁板
5	17	4	0.7	3.5	2.0	0.3
10	24	6	1.0	4.5	3.0	0.6
15	30	8	1.3	6.0	4.0	0.8
20	36	9	1.5	7.0	5.0	1.0
25	40	10	1.7	8.0	5.5	1.2
30	44	11	1.9	8.5	6.0	1.4
35	48	12	2.1	9.0	7.0	1.5
40	52	13	2.3	10.0	7.5	1.7
45	55	15	2.5	10.5	8.0	1.9
50	60	16	2.6	11.0	9.0	2.0

 

表十????潔凈室的壓差值與房間換氣次數(shù)表（次/時）

壓差（Pa）	有外窗密封較差	有外窗密封較差	無外窗土建式
5	0.9	0.7	0.6
10	1.5	1.2	1.0
15	2.2	1.8	1.5
20	3.0	2.5	2.1
25	3.6	3.0	2.5
30	4.0	3.3	2.7
35	4.5	3.8	3.0
40	5.0	4.2	3.2
45	5.7	4.7	3.4
50	6.5	5.3	3.6

 

G．?潔凈廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)的總冷量Q冷、加熱量（其中包括新風預熱量Q預熱和再熱量Q再熱），加濕量W的計算。

空調(diào)凈化系統(tǒng)的總冷量、總熱量和加濕量隨空調(diào)處理方案不同而不同。為了省電節(jié)能，設計時對空氣處理方案必須進行技術(shù)經(jīng)濟比較和優(yōu)化，選擇簡單、實用、節(jié)能、維護管理方便,節(jié)省投資的空氣處理方案?？諝馓幚矸桨复_定以后，凈化空調(diào)系統(tǒng)的總冷量Q_冷；預熱量Q；再熱量Q；加濕量W均可在i-d圖上求得。下面我們舉三個典型的空氣處理方案進行說明。

1、?一次回風的空氣處理方案：

一次回風的空氣處理方案示意圖和空氣處理過程的焓濕圖，見圖二十。

2、一、二次回風的空氣處理方案

一、二次回風的空氣處理方案示意圖和空氣處理過程的i-d圖見圖二十一。

3、?新風機組加干盤管加FFU的空氣處理方案

該方案的示意圖和空氣處理過程的i-d圖見圖二十二。

H．?凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計算

凈化空調(diào)系統(tǒng)的水力計算包括水系統(tǒng)和風系統(tǒng)的水力計算兩大部分。水系統(tǒng)（冷凍水和冷卻水系統(tǒng)）的水力計算，其目的是為了進行水系統(tǒng)的阻力平衡（減少失調(diào)）選擇管徑和水泵；風系統(tǒng)（送風系統(tǒng)、回風系統(tǒng)、新風系統(tǒng)、排風系統(tǒng)）的水力計算主要目的是為了確定風管的管徑（尺寸）和選擇風機（送風機、排風機）。

系統(tǒng)的水力計算其實就是系統(tǒng)的阻力計算。

 

（三）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分

根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。

A.?凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則

1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。

3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。

5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個系統(tǒng)。

7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設系統(tǒng)，而且應為不回風的直流系統(tǒng)。

9、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大。一般情況下，凈化送風量不宜超過100,000 m³/h，否則空氣處理設備過大、噪聲大、送回風管道大、占空間和面積大，使用也不靈活。

10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應考慮到送風管、回風管、排風管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理、短捷、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊。

11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的熱濕和凈化處理可集中也可分散設置。

B.?工藝設備局部排風系統(tǒng)的劃分原則

1、工藝設備的局部排風系統(tǒng)不宜過大，每個排風系統(tǒng)的排風點數(shù)不宜過多，這樣排風管理調(diào)節(jié)方便，排風效果好。

2、一個排風系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災、凝水、結(jié)晶和有害物的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。

4、使用規(guī)律不同房間和設備的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。

 

（四）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風型式的比較選擇

A.?凈化送風和空調(diào)送風合一的送風型式，通常也稱作集中式送風型式。

此方案的凈化空調(diào)機組（空氣處理機組AHU）集中設置在空調(diào)機房內(nèi)，全部的凈化空調(diào)送風均在凈化空調(diào)機組內(nèi)進行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風管道將全部的送風輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過設在潔凈室吊頂上的終端高效過濾器或高效過濾器送風口過濾后送到潔凈室內(nèi)，來實現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風經(jīng)回風口、回風管再接回到空調(diào)機房的凈化空調(diào)機組內(nèi)與新風混合后重復進行凈化和熱、濕處理。此方案又可分為全新風送風方案（直流系統(tǒng)）；一次回風方案；一、二次回風方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風型式。

這種送風方案是當前潔凈室特別是非單向流潔凈室應用最廣泛的凈化空調(diào)送風方案。這種送風方案的系統(tǒng)劃分明確，風量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。但是潔凈度級別較高、送風量較大時，存在著空調(diào)機房占面積大，送、回風管體積大占面積和占空間大，送、回風管道長，送風機的余壓高，噪音大,風量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風方案較適用在低級別的非單向流潔凈室的送風，對5級以上的單向流潔凈室送風就不太經(jīng)濟合理了。

1. AHU全新風的凈化空調(diào)送風方案（直流系統(tǒng)）

全新風凈化空調(diào)送風方案是用于特殊的不允許回風的潔凈室的送風方案中。如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災危險等級或工藝過程產(chǎn)生有劇毒等有害物不允許回風的潔凈送風系統(tǒng)中。其原理圖和焓濕圖如下。

 

2.AHU?一次回風的凈化空調(diào)送風方案

一次回風的送風方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風量大于、等于或近于凈化送風量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。此方案的原理圖和焓濕圖如下：

 

3.AHU?一、二次回風的凈化空調(diào)送風方案

為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消，在潔凈室凈化送風量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風量時，最好采用一、二次回風方案，將二次混合點設計在系統(tǒng)送風點上,該方是最節(jié)能、最經(jīng)濟的送風方案。其原理圖和焓濕圖如下：

 

示意圖????????????????????????????????焓濕(i-d)圖

圖二十五??空調(diào)機組（AHU）一、二次回風空氣處理方案示意圖及焓濕圖

4.MAU+RAU的凈化空調(diào)送風方案

此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設置多個循環(huán)機組,循環(huán)機組的送風量是凈化送風量,并且在機組內(nèi)設置必要的熱、濕處理設備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機組設在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短?。坏?，要注意循環(huán)機組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風機組設在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風還要保證每個潔凈室的正壓。新風機組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機械露點上，如果將新風熱濕處理點低于潔凈室的機械露點作到新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔凈室的濕負荷也消除掉，此時循環(huán)機組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。此方案的原理圖和焓濕圖如下：

示意圖??????????????????????????????????焓濕(i-d)圖

圖二十六??MAU加RAU空氣處理方案示意圖及(i-d)圖

 

B.?凈化送風和空調(diào)送風分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風方案。

為了大大地節(jié)省運行時的能耗，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風量（通常大大地小于潔凈室的凈化送風量），由設在空調(diào)機房內(nèi)的新風機組(MAU)進行必要的凈化和熱濕處理，而將占總送風量50~90%的保證潔凈室潔凈度的凈化送風量由設在潔凈室附近的循環(huán)機組進行凈化和補充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的FFU（風機過濾器機組）和干盤管來解決潔凈室的潔凈度等級和溫度的微調(diào)節(jié)。此種凈化送風與空調(diào)送風相分離的送風方案，不僅可節(jié)省運行的能耗，而且大大地減少了空調(diào)機房面積，省掉了龐大的送、回風管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風方案又可分為：空調(diào)機組(AHU)加風機過濾器機組(FFU)方案,新風機組（MAU）加循環(huán)機組（RAU）加（FFU）方案；新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加干冷盤管(DC)方案等三種送風方案。原文鏈接：http://www.gxshunjiang.com/a-967/

1．?空調(diào)機組AHU(MAU）加風機過濾器機組（FFU）的凈化空調(diào)送風方案

此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負荷（潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負荷及新風的熱、濕負荷）全部由設在空調(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組來負擔。此時，空調(diào)機組的送風量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風量（其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量），它應能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設在潔凈室吊頂上的風機過濾器機組（FFU）將凈化送風量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應該注意的是，F(xiàn)FU運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應由空調(diào)機組來承擔。此方案更適合用于在大面績非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。其送風原理圖和焓濕圖如下：

示意圖?????????????????????????????????焓濕(i-d)圖

圖二十七? AHU加FFU空氣處理方案示意圖及焓濕圖

2．??新風機組（MAU）加循環(huán)機組（RAU）加風機過濾器單元（FFU）凈化空調(diào)送風方案

此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求,就要設置多個循環(huán)機組,循環(huán)機組的送風量是凈化送風量,并且在機組內(nèi)設置必要的熱、濕處理設備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機組設在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短?。坏?，要注意循環(huán)機組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風機組設在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風還要保證每個潔凈室的正壓。新風機組的熱濕處理最好到某潔凈室空氣的機械露點上，如果將新風熱濕處理點低于潔凈室的機械露點作到新風不僅承擔新風本身的濕負荷，而且還將潔凈室的濕負荷也消除掉，此時循環(huán)機組內(nèi)的表冷器可為干式表冷器。

當多個潔凈室中有若干個1級、10級、100級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機組（RAU）的負擔和送、回風管道的斷面，此時循環(huán)機組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而占90％以上的絕大部分送風量有設在潔凈室吊頂上的FFU來負擔，以保證潔凈室的高潔凈度級別。此方案的原理圖和焓濕圖如下：

示意圖??????????????????????????????????焓濕(i-d)圖

圖二十八??MAU加RAU加FFU空氣處理方案示意圖及(i-d)圖

3．?新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風方案

此方案是新風機組將新風處理到潔凈室熱濕比ε線與相對濕度95%線交點以下，新風機組不僅將本身的濕負荷去掉，而且還負擔潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負荷，新風機組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風機組熱處理不足部分的干冷負荷將由設在潔凈室吊頂上（或夾道內(nèi)）的干表冷器來補充。因干表冷器是設在FFU循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干表冷所彌補的干冷負荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。

由新風機組處理過的新風用管道以最能與FFU循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風靜壓箱內(nèi)。

FFU布置在潔凈室的吊頂上，與新風混合的循環(huán)風經(jīng)FFU被高效過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU的規(guī)格以1200mm×600mm和1200mm×1200mm居多，其斷面風速應為≥0.45m/s，余壓應≥120Pa，噪聲應≤50dB(A)為好。FFU的風機風量應可調(diào)，高效過濾器應可更換。干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距≥3mm，阻力損失應為30~40Pa，循環(huán)風通過干盤管的面風速<2m/s，最好為1.5m/s。進入干盤管冷水的進水溫度應高于潔凈室露點溫度2℃,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫干盤管，但在起始運行時還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。

此方案中，潔凈室的相對濕度由新風機組（MAU）來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。

這種MAU加FFU加DC的凈化空調(diào)送風方案，目前在我國和外國的微電子（集成電路）工業(yè)、光電子（TFT-LCD、LCD、LED等）工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應工藝的更新?lián)Q代，又大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點。而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設備的不斷發(fā)展和進步，F(xiàn)FU風機的效率不斷提高，耗電量不斷降低,整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平,但運行費卻大大節(jié)省.MAU加FFU加DC方案的原理圖和焓濕圖如下。

示意圖?????????????????????????????????焓濕(i-d)圖

圖二十九MAU加FFU加DC空氣處理方案示意圖及焓濕圖

 

（五）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷、熱源

A.?凈化空調(diào)系統(tǒng)冷源的選擇

1.?集中冷凍站和分散獨立冷源的比較和選擇。

大型規(guī)模化的生產(chǎn)工廠集中設置冷凍站，對建造投資和運行管理都是比較有利的。但是由于一些溫、濕要求差別比較大供冷參數(shù)不同；運行規(guī)律、運行時間不同的潔凈車間來說，在集中冷凍站基礎上，就近設置分散、獨立、專用的制冷機組，這對節(jié)省能源，保證參數(shù)和方便運行管理都有極大的好處。

2.?冷媒采用冷凍水還是氟立昂直接蒸發(fā)。

對于大型的工廠由集中的冷凍站供給冷凍水作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷媒較為有利。因冷凍水輸送方便，輸送過程冷損失較??；而且，冷凍水作冷媒對凈化空調(diào)系統(tǒng)參數(shù)的控制、調(diào)節(jié)和維護管理也都比較有利。但是小的獨立分散的制冷機組可采用水冷冷水機組，也可采用風冷直接蒸發(fā)的制冷機組。這要根據(jù)具體項目的具體情況而定。

3.?采用壓縮式制冷機還是采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機。

活塞式、離心式、螺桿式制冷機都是壓縮式制冷機，在凈化空調(diào)設計中最多采用的還是離心、螺桿等壓縮制冷機。因為其投資低，運行管理方便，但其運行耗電很高。壓縮式制冷機組的冷凍水供水溫度可調(diào)，最低供水溫度可為4℃。但是，在供電緊張而燃氣和煤供應較為方便的地區(qū)，尤其是有廢熱廢蒸汽可以利用的場合，采用直燃式溴化鋰吸收式制冷機更為經(jīng)濟，尤其是這種制冷機組在供冷的同時還可供熱。

4.?凈化空調(diào)系統(tǒng)冷凍水的溫度的確定。

當以冷凍水作為凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷媒時，在一般的情況下，冷凍水的初溫（表冷器冷凍水的進口溫度）應比處理后空氣的終溫（設計計算中確定）至少要低3.5℃；如果是以冷凍方式去濕降溫為目的空氣處理系統(tǒng)，冷凍水的終溫（表冷器冷凍水的出口溫度）應比處理后空氣的終溫低0.7℃；用作干式冷盤管的冷凍水的初溫（進口溫度）應比潔凈室內(nèi)空氣的露點溫度至少高2℃。

B.?凈化空調(diào)系統(tǒng)的熱源的選擇

1.?以冬季防凍為目的新風預熱加熱器的熱媒最好采用電加熱或蒸汽加熱，一般不宜采用熱水作熱媒，這樣預熱器本身可能有被凍壞的危險。

2.?空調(diào)機組內(nèi)加熱器的熱媒可采用熱水、蒸汽或電加熱，其中電加熱控制靈活方便，溫度控制精確度高，但運行費昂貴，一般在沒有熱水和蒸汽供應的地方才用電加熱；用熱水作熱媒時不僅調(diào)節(jié)和管理方便、而且控制精度也高是加熱器最常用的熱媒；當溫度的精度要求不高（如℃）也可采用蒸汽作加熱器的熱媒。

3.?當溫度的精度要求很高的時候宜在送入潔凈室的支管上設溫度精度微調(diào)節(jié)的電加熱器是一個可行的方法。

4.?凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕比較方便、可行、經(jīng)濟、可靠的方法是用過熱蒸汽（≥0.2MPa）作熱媒采用干蒸汽加濕器進行加濕，或采用電熱式或電極式加濕器。當相對濕度的精度要求不高且加濕量較大時，宜采用水來加濕，可采用淋水，濕膜或噴霧等形式。

 

（六）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能

A.?潔凈室的空調(diào)負荷

潔凈室的凈化空調(diào)負荷由下面幾部分組成：

1、室內(nèi)負荷

主要包括：

①?室內(nèi)作業(yè)人員的散熱、散濕負荷。

②?室內(nèi)照明燈具的散熱負荷。

③?潔凈室圍護結(jié)構(gòu)（墻、頂、地、門、窗）的傳熱、傳濕負荷。

④?生產(chǎn)設備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負荷。

2、潔凈室新風處理的熱、濕負荷。夏季是降溫去濕；冬季是加熱、加濕。

3、空氣循環(huán)時風機（或FFU）的溫升和水泵的溫升負荷。

B.?潔凈室的空調(diào)負荷特點

1、高級別潔凈室（100級，10級，1級）是垂直單向流潔凈室，其送風機的風量非常大，高達400~500次/h換氣，而且風機的壓頭也很高，一般多在1000~1500Pa，因此風機溫升的負荷大。按理論計算：在集中送風方式的系統(tǒng)中，風機的溫升為1.5℃，僅此一項的負荷就是500~700W/m²；如果采用FFU送風方式，風機溫升的負荷也要250~350 W/m²。因此，風機溫升的負荷大是其一個負荷特點。

2、服務于微電子和光電子的高級別潔凈室因工藝排風量大，所以新風量也很大，新風量一般在10~20次/h換氣；因此，處理如此多新風的負荷大約為400~800 W/m²；個別工藝的排風量更大，固新風負荷也還會更大。因此新風負荷大是其第二個負荷特點。

3、生產(chǎn)設備和生產(chǎn)過程的散熱、散濕負荷大，是高級別潔凈室的第三個負荷特點。生產(chǎn)負荷的大小是與工藝生產(chǎn)本身的性質(zhì)、生產(chǎn)設備的密閉、保溫、通風以及水冷卻的情況有關(guān)。

4、圍護結(jié)構(gòu)的傳熱、照明燈具的散熱以及作業(yè)人員的發(fā)熱這三項負荷相對比較小，三項負荷之和還不足總空調(diào)負荷的10%（其中：照明負荷大約25~30 W/m²；圍護結(jié)構(gòu)負荷大約20~30 W/m²；作業(yè)人員負荷大約10~15 W/m²），這是高級別潔凈室第四個負荷特點。

C.?潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的節(jié)能措施

研究高級別潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)節(jié)能，應首先從分析其空調(diào)負荷特點入手，抓住空調(diào)負荷中的主要矛盾，才能事半功倍。從前面可知，高級別潔凈室空調(diào)負荷中占90%以上的負荷是：新風負荷、風機溫升負荷和工藝設備和工藝過程負荷三項。這是它的主要矛盾。

1、降低新風空調(diào)負荷的節(jié)能措施

① 減少排風量。改進工藝和工藝設備，盡可能不排風，少排風。采取密閉式排風罩在同等的排風效果下盡量減少排風量。

② 減少正壓漏風量。加強潔凈室圍護結(jié)構(gòu)的密封性，既能保持潔凈室必要的正壓值，又可減少所需的正壓漏風量。

③ 提高新風空氣處理設備的效率。

2、降低風機溫升負荷的節(jié)能措施

①?在確保潔凈室潔凈度的前提下，盡量減少送風量，盡量用局部高凈化來替代全面高凈化。

②?加強空調(diào)設備和空調(diào)系統(tǒng)的密閉性，減少漏風量。

③?采取凈化送風與空調(diào)送風分離的送風方案，使90%的凈化送風量就近循環(huán)以減少風機溫升負荷。

④?采用FFU加新風機組加干盤管的送風方式以減少風機溫升負荷。

⑤?提高風機效率，采取變頻措施。

3、工藝設備和工藝過程的發(fā)熱是工藝生產(chǎn)本身的問題，只能依靠工藝自己來解決。

4、除上述措施之外，還可采取如下措施

① 加強水管和風管的保溫。

② 減少冷熱源的跑、冒、滴、漏。

③ 采取熱回收，充分利用廢熱。

④ 盡量利用天然能源作空調(diào)系統(tǒng)的預冷和預熱，如：太陽能、地下水、土壤能等。

⑤ 利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。

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三．空調(diào)和凈化設備的選擇

（一）、過濾器的基本知識和過濾器的選擇

A．過濾器的分類：按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）進行分類，根據(jù)我國有關(guān)規(guī)范可將過濾器劃分為粗效、中效、高效、亞高效、高效和超高效六大類。見表十一、表十二。

根據(jù)我國“空氣過濾器”GB/T 14295-93國家標準劃分

表十一???空氣過濾器的效率和阻力

性能指標 性能類別	額定風量下的大氣塵計數(shù)效率 （%）	額定風量下的初阻力（Pa）
粗??效	20~80（≥5.0μm）	≤50
中??效	20~70（≥1.0μm）	≤80
高中效	70~90（≥1.0μm）	≤100
亞高效	95~99.9（≥0.5μm）	≤120

 

根據(jù)我國“高效空氣過濾器” GB 13554-92國家標準劃分。

表十二???高效過濾器和超高效過濾器的效率和阻力

性能指標 性能類別	額定風量下的大氣塵計數(shù)效率 （%）	額定風量下的初阻力（Pa）
A?高效	額定風量下的鈉焰效率≥99.9	≤190
B?高效	額定風量和20%額定風量的鈉焰效率≥99.99	≤220
C?高效	額定風量和20%額定風量的鈉焰效率≥99.999	≤250
D?超高效	額定風量和20%額定風量的計數(shù)效率（≥0.1μm）≥99.999	≤280

 

我國過濾器分類與歐美國家分類的比較表，見表十三。

B．各類過濾器效率的測試方法

對于空氣過濾器的效率而言，相同的過濾器其效率的測試方法不同它們的效率的值也不相同，因此使用過濾器時不僅僅要了解其過濾效率，而且還要知道它們效率的測試方法。

1,?一般通風用粗效、中效、高中效過濾器效率的測試方法

●?計重法：有人工塵計重法和大氣塵計重法，此方法源于美國,國際流行，多用于粗效過濾器的效率測試。

●?比色法：源于美國，國際通行，用于中效過濾器的效率測試。

●?人工塵計數(shù)法：歐洲通行，將取代比色法，用于中效測試。

●?大氣塵計數(shù)法：我國的標準。見表9.

2,?高效過濾器測試方法

●?鈉焰法：中國標準。

● DOP法：源于美國，國際通行。

●?油霧法：俄國標準，在德國和我國也通行。

● MPPS法：歐洲標準將取代上述各種方法（最低透過率粒徑法）。

C．?各類空氣過濾器的功能和作用

各種過濾器都具有一定的功能，都不是萬能的。它的功能就決定了它的作用和使用范圍。對其選用正確，使用合理,它們就能充分發(fā)揮功能，起到應起的作用；如果選用不當,使用不合理,不僅不能發(fā)揮其作用，有時還會產(chǎn)生相反的后果。它們的功能和作用如下:

●?粗效過濾器：其功能是去除≥5μm的塵埃粒子，在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作為預過濾器。其作用是保護中效.高效過濾器和空調(diào)箱內(nèi)的其他配件以延長它們的使用壽命。

●?中效過濾器：其功能是去除≥1.0μm的塵埃粒子，在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作為中間過濾器。其作用是減少高效過濾器的負荷，延長高效和空調(diào)箱內(nèi)配件的使用壽命。

●?高中效過濾器：其功能是去除≥1.0μm的塵埃粒子，在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作為中間過濾器，在一般通風系統(tǒng)中可作為終端過濾器。

●?亞高效過濾器：其功能是去除≥0.5μm的塵埃粒子，在空調(diào)凈化系統(tǒng)中作中間過濾器，在低級凈化系統(tǒng)中可做終端過濾器使用。

●?高效過濾器：是空調(diào)凈化系統(tǒng)中的終端過濾器，它的功能是去除≥0.3μm的塵埃粒子，達到凈化目的。是潔凈室必備的凈化設備。

●?超高效過濾器：其功能是去除≥0.1μm的塵埃粒子，是建造高級別潔凈室（0.1μm潔凈室）的必備凈化設備，是該潔凈室的終端凈化設備。

（二）、空氣處理機組的選擇

空氣處理機組包括空調(diào)器（AHU）、新風機組（MAU）和循環(huán)機組（RAU），都是空調(diào)凈化系統(tǒng)常用的空氣熱濕交換和空氣凈化處理設備。

A．工業(yè)潔凈室用空調(diào)機組

工業(yè)潔凈廠房的空氣處理機組是服務于凈化空調(diào)系統(tǒng)的，因此空氣處理機組也必須滿足凈化空調(diào)所需的特點。

1,潔凈廠房的溫、濕度和潔凈度要求嚴格，一般情況室內(nèi)熱負荷很大、空氣處理的焓差很大、冷卻后的空氣的露點溫度很低，因此空氣處理機組的保溫性能要好（保溫材料為聚苯乙烯或聚氨脂發(fā)泡時保溫層厚度≥40mm），防止表面結(jié)露，冷耗過大；同時還應避免冷橋現(xiàn)象的產(chǎn)生。

2.?因凈化空調(diào)系統(tǒng)總阻力較大，故要求空調(diào)機組的風機壓頭很高（≈1500Pa），因此隨之要求空調(diào)機組圍護板壁的強度和剛度要好，不要產(chǎn)生負壓段凹進去，正壓段凸出來的變形。

3.?為了減少冷損失和漏風，則要求空調(diào)機組的密封性能好，特別是段與段的聯(lián)接處和門開啟處的密封。按標準要求空調(diào)機組的漏風率≤1%。

4?為了保證潔凈廠房的溫、濕度和潔凈度，并且盡量節(jié)省能量，要求空調(diào)機組有較好的自動控制，如風機的變頻等。又因為空氣的冷、熱、濕處理的功能較多，故空調(diào)機組體形較大、長度較長。

B．生物潔凈室用空調(diào)機組

生物潔凈室是以微生物（細菌、病毒等）為主要研究對象的，微生物與塵埃粒子不同，它是活的、不斷生長繁殖的粒子，因此服務于生物潔凈室的空氣處理機組應具備如下特點：

1.?為了方便滅菌、消毒、空調(diào)機組的內(nèi)表面以及內(nèi)部的零配件應耐消毒藥品的腐蝕，表面要光潔。

2.?因為潮濕是微生物生長的最佳條件。因此，空調(diào)機組內(nèi)部不能集水集塵，結(jié)構(gòu)要方便排水；表冷器凝結(jié)水應設有自動防倒吸功能，并順利排出凝結(jié)水；更不能采用淋水段。

3.?空調(diào)機組的加濕只能采用干蒸汽加濕器（電極式或電熱式蒸汽加濕器），而不能使用濕膜、超聲波和高壓噴霧等有水的加濕器。

4.?為了防止空氣帶水，空調(diào)器表冷器的斷面風速V <2.0m/s。

<span “=””>5.<span “=””>?空調(diào)機組的密封要可靠，其漏風率≤1%。

<span “=””>6.<span “=””>?空調(diào)機組的強度和剛度要好，有一定的承壓能力。

<span “=””>7.<span “=””>?各級（粗效、中效、亞高效）過濾器的過濾效率要高，而且最好采用一次性的拋棄型過濾器。

C,?表冷器、加熱器、加濕器的選擇

1.?表冷器是空調(diào)機組降溫去濕的關(guān)鍵設備，一般表冷器由銅管和鋁翅片構(gòu)成。表冷器的換熱面積（排數(shù)）要經(jīng)計算求得，在設計中，設計人員要把空氣經(jīng)表冷器處理前后的參數(shù)（溫度、相對濕度或焓）以及冷凍水的供回水溫度提供給供貨商，由供貨商計算和配置表冷器。表冷器后面要設擋水板，表冷器下部設滴水盤，凝結(jié)水排水要通暢，排水管上要合理地設置水封。水封的高度要與空調(diào)器內(nèi)的壓力相匹配。

2,?加熱器是空調(diào)機組中的加熱設備。在空調(diào)機組中有一次加熱（預熱）和二次加熱（再熱）兩組。加熱的熱媒有蒸汽、熱水和電。

a.?一次加熱（預熱）器設置在新風進入空調(diào)機組處,其目的是為了防凍和防混合結(jié)霜、結(jié)霧。因此，一次加熱器一般用在北方（長江以北）較冷的地區(qū)。長江以南不會結(jié)凍的地區(qū)可不設一次加熱器。一次加熱后的新風溫度一般為+5℃。用加熱器后的溫度探頭來控加熱量。一次加熱的熱媒最好是蒸汽和電，如果用熱水做熱媒要考慮加熱器本身的防凍問題。

b.?二次加熱（再熱）器設在表冷器之后，設置目的是為了調(diào)節(jié)潔凈廠房內(nèi)的溫、濕度以達到設計參數(shù)。因為，二次加熱量越小就越節(jié)省空調(diào)的運行費用，故在設計時要選擇二次加熱量較小的節(jié)能方案。二次加熱的熱媒最好用熱水，因為熱水在溫、濕調(diào)節(jié)時比較穩(wěn)定可靠。

c.?當潔凈廠房的溫、濕度精度要求極高和非常嚴格時，為了確保其參數(shù)有時在風管上還要設置微調(diào)的電加熱器。

3,?加濕器是空調(diào)機組中的加濕設備，在冬季時為了保證潔凈廠房內(nèi)必要的相對濕度，必須對空調(diào)送風進行必要的加濕。

加濕器一般有兩種，一種是以水為加濕源的等焓加濕。如濕膜、淋水、超聲波、高壓噴霧等加濕器。這種加濕方法簡單、價格便宜，加濕量也大，但其加濕的精度較差。一般相對濕度要求在?>10%的情況下用得較多。水加濕的方法不應用在生物潔凈室。因為，水加濕會給微生物提供良好生存繁殖條件。

另一種加濕方法是以蒸汽為加濕源的等溫加濕。如蒸汽加濕器、干蒸汽加濕器、電極式（電熱式）蒸汽加濕器等。這種加濕方法必須有蒸汽源，如果沒有蒸汽必須用電來產(chǎn)生蒸汽。此種加濕方法價格較高，但加濕精度很高，當相對濕度要求≤±5%時應采用等溫加濕方法。它廣泛應用在電子工業(yè)的潔凈廠房和生物潔凈室的加濕中。

4,?淋水室和化學過濾的應用

①?淋水室是空調(diào)熱濕交換的空氣與冷媒直接接觸的方式。此種淋水形式不僅可用于熱濕交換上，還可以對新風進行品質(zhì)上的處理。例如，集成電路用的潔凈廠房其污染源不僅僅是塵埃粒子，而且，重金屬離子和分子級低濃度的化學污染也成為超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的重要污染源，當凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風采用淋水室的濕法處理時，可以去除新風中的NH₄、SO₄、NO₃等分子級的化學污染，當采用自來水和純水兩級淋水時其效果會更好。

②?活性碳過濾器和化學過濾器是空調(diào)機組中去除異味和分子級低濃度的化學污染的重要設備，一般多用在新風機組中。

(三)、消聲器和消聲彎頭的選擇

潔凈廠房的噪聲按國家規(guī)范“潔凈廠房設計規(guī)范”（GB 50073-2001）的規(guī)定，單向流潔凈室空態(tài)噪聲≤65dB(A)；非單向流潔凈室空態(tài)噪聲≤60dB(A)。這就要求在凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風、回風管道上（排風管道上）都要設置必要的消聲設備，尤其在回風管道上。消聲器的選擇要進行計算。

潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的消聲器和消聲彎頭不應給凈化系統(tǒng)帶來污染。最好采用微孔板式消聲器和消聲彎頭，也可選用其他潔凈空調(diào)系統(tǒng)專用的阻式或抗式消聲設備。

凈化空調(diào)機組送風機的選擇

凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風機設在空調(diào)機組內(nèi)，其送風機應具有如下特點：

A,?有足夠的余壓。一般除克服機外管網(wǎng)系統(tǒng)的總阻力以外，還要考慮克服高效過濾器的終阻力和一定的安全裕量。但風機壓頭選得過大不但能耗大，而且還會產(chǎn)生較大的噪聲。

B,?要有足夠的送風量。即消除室內(nèi)余熱、余濕和凈化的最大風量，并且還應有10%的的安全裕量。

C,?風機應為變頻風機，送風量依系統(tǒng)阻力變化可以自動調(diào)節(jié)，即保證了潔凈廠房內(nèi)的溫、濕度和潔凈度又做到節(jié)省耗源。

D,?要高效率和低噪聲。

（四）,FFU及干冷盤管的選擇

A. FFU（風機過濾器單元）。

FFU是近年普通應用在單向流和混合流中的重要凈化設備。它是有標準模數(shù)尺寸（1200×600mm，600×600mm，1200×1200mm等）的風機和過濾器（高效過濾器、超高效過濾器）的組合體做為潔凈室的終端設備，分散或集中地布置在潔凈廠房的吊頂上。為了保證潔凈廠房的室內(nèi)參數(shù)，它經(jīng)常與干冷盤管和新風機組組合使。FFU示意圖見圖三十。

圖三十? FFU示意圖

其性能參數(shù)最好是：

1,?斷面平均風速為0.45m/s，而出風速度的均勻性應為平均風速的±20%。

2, FFU的機外余壓應≥100Pa，最好是140Pa以上。

3, FFU的單體噪聲應≤50dB(A)。因在單向流潔凈廠房中往往成百臺上千臺的FFU集中設在吊頂上，如果單體噪聲太高，則疊加噪聲就不能被接受。

4,?斷面風速可調(diào)。智能化調(diào)節(jié)，變頻調(diào)節(jié)都是可行的。

B、干冷盤管.

干冷盤管是新風機組加干冷盤管加FFU空調(diào)凈化送風方案的潔凈廠房控制溫度的關(guān)鍵換熱設備，設置在潔凈廠房回風夾道的下部或上部。對其性能要求如下：

1,?為了避免在系統(tǒng)正常運行時干冷盤管產(chǎn)生結(jié)露現(xiàn)象，因此通過干冷盤管的進水水溫要高于室內(nèi)空氣露點2℃。

2,?為了導走潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)啟動時產(chǎn)生的冷凝水，干冷盤管系統(tǒng)還要設置滴水盤和排水系統(tǒng)。

3,?干冷盤管的排數(shù)最好為雙排，而且空氣通過時阻力不能太大，因此盤管鋁翅片的間距最好為3mm。

4,?為了減少空氣通過盤管的阻力，通過盤管的風速應<2m/s。

?（五）局部凈化設備的選擇

1．吹淋室。

吹淋室是凈化進入潔凈廠房人和物的局部凈化設備，它是利用高速V≥25m/s的潔凈氣流（經(jīng)過中效和高效過濾器過濾的氣流）使人的衣服抖動，將人身上附著的塵埃粒子或物品表面附著的塵埃粒吹落得到凈化。吹淋室最重要的性能指標就是噴嘴的出口風速應≥25m/s。其風機的風壓最好是800Pa。吹淋室有單人、雙人、多人和通道式多種。吹淋室示意圖見圖三十一。

2．?自凈器。

自凈器是風機和過濾器組合的局部凈化設備。將其設置在房間內(nèi)，它可以使室內(nèi)的空氣不斷地通過它的過濾器過濾而得到凈化，這樣往返不斷地循環(huán)凈化使室內(nèi)的空氣自凈。自凈器示意圖見圖三十二。

3．潔凈工作臺

潔凈工作臺是設在空調(diào)房間或低級別的潔凈廠房內(nèi)的局部凈化設備，它是風機和高效過濾器的組合體，可在局部創(chuàng)造出100級、10級等高級別潔凈度。其性能有：風機的風壓和噪聲（風壓> 200Pa，噪聲< 65dB(A)、高效過濾器的效率和斷面風速（高效過濾器的效率）≥99.99%（≥0.3μm），斷面風速、V≥0.35m/s）。潔凈工作臺示意圖見圖三十三。

 

4．生物安全柜

生物安全柜是用于P1~P4生物安全實驗室中的生物凈化和生物安全設備。它按使用要求不同可劃分為Ⅰ級、Ⅱ級和Ⅲ級生物安全柜。生物安全柜用于對人和環(huán)境有害的病菌和微生物的實驗。為了安全要做到保護實驗操作人員，保護實驗對象和保護周圍環(huán)護的三保護。實驗對象要在100級無菌環(huán)境實驗；為了保護操作人員和環(huán)境生物安全柜內(nèi)必須有足夠的負壓度。生物安全柜示意圖見圖三十四。

5．層流罩

層流罩也是風機與高效過濾器組合的局部凈化設備，在局部區(qū)域創(chuàng)造100級或更高的凈化環(huán)境，滿足生產(chǎn)工藝的要求。其大小尺寸可隨工藝設備的大小而定。它是設在低級別的潔凈廠房之中，因此對其噪聲有較高的要求，其出風的斷面風速應≥0.3m/s，風機的風壓應>200Pa。層流罩示意圖見圖三十五。

 

四．潔凈室的建造特點

（一）建造投資費用高

高級別潔凈室的建造費用很高，一般來說，100級垂直單向流的潔凈室，其室內(nèi)裝修（墻、頂、地、門、窗等）和空調(diào)凈化系統(tǒng)（包括制冷空調(diào)設備和管道配件、凈化設備和配件等）的初投資大約為10000元人民幣/m²；如果加上純水制備設備和系統(tǒng)管道，純氣發(fā)生和系統(tǒng)管道，廢水治理設備和管道，消防系統(tǒng)，供配電和自控系統(tǒng)，真空清掃系統(tǒng)等等，其單位面積的建造投資費用要高達25000~30000元人民幣/ m²。

就拿已投產(chǎn)的上海華虹NEC超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線潔凈室舉例來說，華虹NEC為月投片30000片8″硅片集成電路前工序生產(chǎn)線，有潔凈室面積約12000m²，其中10000 m²是在中心部位，另2000 m²在邊跨上。在中心部位的10000 m²潔凈室中有4000 m²的1級、10級和100級的垂直單向流潔凈室，另外6000 m²分別為1000級和10000級的非單向流潔凈室，總送風量約6,400,000 m³/h。于1998年底建成投產(chǎn)。

該項目總投資約100億人民幣，其中動力設備和土建投資為20億人民幣，占總投資的五分之一。單核心部分的10000 m²的潔凈室的建造費用就高達6000萬美元（約5億人民幣）（日本三機株式會社施工），折合每平方米建造費用約50000元人民幣/ m²。

（二）運行管理費用大

因為高級別潔凈室凈化風量大，新風量也大，溫濕度要求嚴格，所以空氣熱濕處理和空氣輸配的能量消耗大，耗電多，運行費用貴。

還拿上述華虹NEC為例，其核心部分10000 m²潔凈室總的送風量為6,400,000 m³/h，輸送凈化空氣的風機耗電量為3840 Kw/h，全年電費為1659萬元（每度電按0.6元/設計），空氣熱濕處理的耗電量約10000 Kw/h，全年電費為6000萬人民幣。全年空調(diào)凈化系統(tǒng)本身的運行費用就高達7659萬元人民幣。折合每年單位面積的運行費用為7659元/m²年。

（三）靈活適應性強

因為，科學技術(shù)的發(fā)展很快，高科技的產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，尤其是電子工業(yè)的發(fā)展更是日新月異，像集成電路的發(fā)展2~3年就更新一代，TFT-LCD的發(fā)展速度更快1~2年就上一個臺階。這就要求為其服務的高級別的潔凈室必須能適應其發(fā)展速度，有極好的靈活性和適應性。因為建造一個潔凈廠房是百年大計，不是一、二年就會拆掉重建。因此，在設計和建造潔凈廠房時，就要考慮到工藝的發(fā)展、變更，就要考慮到潔凈廠房的靈活性和適應性。從一個潔凈廠房的靈活適應角度，可將其分為三個層次，第一是不可變的部分。無論怎樣改都不能改變的部分。如基礎、梁、柱等結(jié)構(gòu)部分；第二是可變但不容易變的部分。如潔凈室的圍護、裝修等；第三是可變而且容易改變的部分。如動力、空氣、水、氣體溶劑的供給部分和廢氣、廢水、廢料等排放部分。

（四）安全、可靠性好

從前面（一）、（二）兩條特點可以得出建造和使用這樣的潔凈室要付出何等的代價。但是為了生產(chǎn)出高可靠、高質(zhì)量的高科技產(chǎn)品也必須具備這樣的生產(chǎn)環(huán)境。因為，建造潔凈室的目的是為使用，是為了得到高成品率合格產(chǎn)品。為了達此目的，設計和建造潔凈室必須把安全可靠放在第一位。保證所建造的潔凈室在潔凈度、溫濕度、風速、壓力等所有參數(shù)必須滿足生產(chǎn)工藝的要求，保證安全、可靠、不出事故。這一點絕不能馬虎，更不能打折扣，要萬無一失，只有這樣才能有效益，才能達到建造潔凈室的目的。

 

五．潔凈室的竣工驗收調(diào)試，性能測試和潔凈室的綜合評價

竣工驗收的調(diào)試工作要分以下四個步驟進行。①調(diào)試前的準備工作。②單機試車。③聯(lián)動調(diào)試。④潔凈室的性能測試和綜合評價。

（一）調(diào)試前的準備工作

A,?調(diào)試的組織準備：

成立以建設單位（業(yè)主）為組長的有設計單位、施工單位、監(jiān)理單位人員參加的調(diào)試小組。調(diào)試小組領導調(diào)試的全面工作，調(diào)試小組協(xié)調(diào)各方面的關(guān)系，調(diào)試小組為調(diào)試工作提供各種軟硬條件。

B,?編制調(diào)試大綱

在調(diào)試小組領導和組織下，編制調(diào)試大綱。調(diào)試大綱是調(diào)試工作的指導性文件。調(diào)試大綱的內(nèi)容包括：組織分工、人員安排、物資調(diào)動；調(diào)試項目、調(diào)試方法、調(diào)試儀表；調(diào)試程序、調(diào)試進度、調(diào)試計劃安排等。調(diào)試大綱的編制使調(diào)試人員思想明確、認識統(tǒng)一、步調(diào)一致、行動整齊，使調(diào)試工作順利進行。

C,?施工現(xiàn)場質(zhì)量的會檢。

在調(diào)試小組的領導組織下，有建設單位、設計單位、施工單位、監(jiān)理單位的有關(guān)領導和技術(shù)人員參加，對施工現(xiàn)場、施工質(zhì)量進行全面會檢。從冷凍站、換熱站、鍋爐房、變配電站、空調(diào)機房到供冷、供熱、供電系統(tǒng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)和自動控制系統(tǒng)。從設備（冷凍機、鍋爐、水泵、冷卻塔、空調(diào)器等）、配件（閥門、風口、消聲器等）、管道和管線到保溫、設備基礎、管道支吊架等的工程施工質(zhì)量進行全面會檢?？词欠癜磮D施工、查與設計圖不符之處，找施工質(zhì)量不合格項目并查其原因。并對施工、加工、安裝等質(zhì)量問題逐一填寫“缺陷明細表”，提出整改意見，限期（正式調(diào)試之前）整改完畢。

D,?空調(diào)設備、空調(diào)系統(tǒng)的清掃：

1,?調(diào)試之前對潔凈室進行全面、徹底的清掃是十分必要的。對潔凈室的地面、墻面、吊頂、門窗進行認真、全面、徹底的大掃除（最好請專業(yè)的清潔公司）；對空調(diào)設備、空調(diào)管道（送風管、回風管、新風管），空調(diào)配件（清聲器、閥門、風口等）進行檢查、檢漏和擦試。達到潔凈要求為止。

2,?安裝粗效、中效過濾器進行第一次空吹。在徹底清掃的基礎上，安裝空調(diào)器內(nèi)的粗效和中效過濾器。對整個凈化空調(diào)系統(tǒng)進行空吹，空吹時間為24~36小時，使整個系統(tǒng)得到初步的凈化。

3,?安裝高效過濾器。系統(tǒng)空吹后可以安裝高效過濾器。高效過濾器在安裝之前，要求對其逐一進行檢漏，對有泄漏者進行堵漏。檢漏在臨時檢漏臺上進行，塵源利用大氣塵。被檢合格的高效過濾器方能進行安裝，安裝完畢后對高效過濾器的安裝密封再進行檢漏（利用塵埃粒子計數(shù)器掃描），達到安裝合格。

4,?高效過濾器安裝檢漏合格后再對凈化空調(diào)系統(tǒng)進行第二次空吹?？沾禃r間24小時，然后方可進行入調(diào)試程序。

E,?測試儀器、儀表、工具的準備

1,?調(diào)試前要對調(diào)試中所用的儀器儀表進行調(diào)試和標定（超過使用時間還需重新進行標定）。所用的儀表包括測量風速、風量、溫度、相對濕度、壓差、噪聲、振動、轉(zhuǎn)數(shù)、時間、大氣壓力和潔凈度的儀器儀表等。

2,?調(diào)試所用的器材、工具的準備。如：電工工具、管工工具、扳金工工具、鉗工工具以及爬高上下的梯子等。并且請施工單位配合電工、管工、扳金工和鉗工。

3,?調(diào)試和測試工作所用的圖紙和記錄表格的準備。

（二）單機試車

單機試車是對工程中的所有的設備、配件等單體進行試車。單機試車的目的是對這些設備、配件的安裝質(zhì)量和產(chǎn)品出廠質(zhì)量的檢查和考核。單機試車的主要內(nèi)容有：

水、電先行。即首先對供水供電的設備和系統(tǒng)進行檢查和考核。如水泵、變壓器、配電箱、開關(guān)等。要保證供水、供電的正常、可靠。

進而，對供冷設備（冷凍機、冷卻塔、冷凍水泵、冷卻水等）、供熱設備（鍋爐、換熱器、熱水泵等）、空調(diào)設備（表面冷卻器、加熱器、加濕器、過濾器、風機等）、自動控制設備、儀表、閥門以及各系統(tǒng)的配件進行單體考核?？词欠衲軡M足設計要求和正常運行。尤其對轉(zhuǎn)動設備如風機、水泵要試轉(zhuǎn)看是否運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，有無雜音和碰撞和反轉(zhuǎn)現(xiàn)象；用電設備接線是否正確；冷凍機和鍋爐是否能達到設計要求；空調(diào)器中表冷器的降溫去濕能力、加濕器的加濕能力等等進行單體檢查、考核。如果出現(xiàn)故障和發(fā)現(xiàn)問題，應立即排除。

對于大型設備如冷凍機、鍋爐、空調(diào)器等（尤其是進口設備）在單機試車時最好有生產(chǎn)廠家的調(diào)試人員現(xiàn)場指導或由生產(chǎn)廠家負責試車，待運轉(zhuǎn)正常后再移交給使用單位。單機試車為聯(lián)動調(diào)試做好各個單體設備的準備工作。

（三）聯(lián)動調(diào)試

聯(lián)動調(diào)試一般情況下分為兩個階段進行，即風量分配階段和聯(lián)動調(diào)試階段。

A,?風量分配：

風量分配即將各個潔凈室的送風量、回風量、新風量、排風量全部按設計要求調(diào)整到設計風量。因為一個潔凈廠房可能有多個空調(diào)送風系統(tǒng)和排風系統(tǒng)，或一個空調(diào)送風系統(tǒng)要負擔多個潔凈室的送風。因此，風量分配調(diào)試工作是一項工作量大、時間長、耐心細致的工作。風量分配調(diào)試工作也是整個調(diào)試工作的重點工作。常用的風量分配調(diào)試方法采用標準風口法。

標準風口法：一個潔凈室可能有幾個、幾十個空調(diào)送風口、回風口。因為它們之間都是相通的，當調(diào)整某一個風口送風的風量時其他送風口的風量也會跟其變化。因此，采用標準風口法。

所謂標準風口法，就是在風量分配之前，將所有閥門都開到最大的情況下，在所有的送風口這中找到最不利的送風口（送風量最小的送風口），將此風口作為標準風口。在標準風口上設一監(jiān)測儀表，隨時測試標準風口的風量變化。然后調(diào)整其它所有風口風量。因為調(diào)整任何一個風口風量時，都會影響已調(diào)整過的風口的風量的變化；因此，在調(diào)整任何一個風口風量時，都要以標準風口當時風量為參照風量，使所有被調(diào)風口的風量均隨標準風口的風量變化而同步變化。

當一個凈化空調(diào)系統(tǒng)負責多個潔凈室空調(diào)時，調(diào)試要以潔凈室為單位由末端向總干管方向進行，對各潔凈室首先調(diào)整其送風量的相對關(guān)系量，然后，再用系統(tǒng)的總閥門來將每個送風口，每個潔凈室的送風量都調(diào)整為真實的設計送風量。

B,?聯(lián)動調(diào)試

聯(lián)動調(diào)試在風量調(diào)整和單機試車后進行。聯(lián)動調(diào)試就將凈化空調(diào)系統(tǒng)和為凈化空調(diào)系統(tǒng)服務的所有系統(tǒng)即：供冷系統(tǒng)（冷凍機、冷卻塔、水泵以及供冷系統(tǒng)上所有的配件）、供熱系統(tǒng)（鍋爐、水泵以及供熱系統(tǒng)上所有配件）、供電系統(tǒng)（配電箱、變頻器……）和自動控制系統(tǒng)全部投入運行，考核各系統(tǒng)的綜合性能和聯(lián)動性能。必要時，在潔凈室內(nèi)人為的設置一定量的負荷，考核溫、濕度探頭、中間儀表和執(zhí)行機構(gòu)的聯(lián)動是否敏感、協(xié)調(diào)；考核溫、濕度探頭是否準確，精度是否合格。

（四）潔凈室的性能測試和綜合評價

在風量調(diào)整和聯(lián)動調(diào)試的基礎上，潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)以及為其服務的所有系統(tǒng)，均處于正常運行狀態(tài)。接著進行潔凈室的性能測試和綜合評價。

A,?潔凈室的性能測試：

潔凈室性能測試內(nèi)容包括：

潔凈度測試、風量測試、正壓測試、風速測試（單向流潔凈室?）溫度、相對濕度測試、噪聲測試等。

1,?潔凈度測試：采樣點布置在工作面上（0.8~1.0m），采樣點數(shù)量N=A^1/2（A是潔凈室面積‘m²’）。塵埃粒子計數(shù)器的采樣量要大于1升/分；每個采樣點連續(xù)有效采樣三次。取其平均值做該點的測量值。全部測點的測量值的平均值作為潔凈室的潔凈度。

2,?風量或風速測試：單向流潔室測量斷面風速、非單向流潔凈室測其風量。

斷面風速的測量：距吊頂上送風高效過濾器（HEPA）300mm處布置測點，測點間距為600mm，用熱球風速儀測其各點風速。

風量測試：在送風管或送風口上測送風風量。方法是用比托管和微壓差計，測風管內(nèi)各點的動壓，測點間距為100mm。再計算送風量。

3,?正壓測試：在關(guān)門的狀態(tài)下，測潔凈室的正壓。采用補償式微壓計測量。

B,?潔凈室的綜合評價。

在對潔凈室性能測試的基礎上，根據(jù)對潔凈室潔凈度、溫、濕度、正壓、風量、噪聲等測試結(jié)果，對潔凈室的建設和性能進行竣工驗收的綜合評價。

 

六．潔凈室的性能測試

?(一)?潔凈室性能測試的目的

潔凈室性能測試的目的主要有兩項：其一是為了潔凈室的竣工驗收，其二是為了檢查潔凈室的運行是否正常。

1、??凈室竣工驗收的性能測試

根據(jù)（潔凈室施工及驗收規(guī)范）和（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，潔凈室竣工驗收分兩步進行，第一步是竣工調(diào)試和性能測試，第二步是潔凈室性能的綜合評價。潔凈室性能的綜合評價是潔凈室工程竣工驗收的重要環(huán)節(jié)，而潔凈室性能測試又是潔凈室性能綜合評價的基礎。潔凈室性能測試所需要測試的項目以下：

①通風機的風量和轉(zhuǎn)數(shù)；

②風量及其平衡；

③室內(nèi)靜壓及其調(diào)整；

④自控系統(tǒng)的聯(lián)動；

⑤高效過濾器的檢漏；

⑥室內(nèi)的潔凈度；等六項。其中主要三項是，潔凈度，風量和室內(nèi)靜壓。

2、潔凈室運行狀態(tài)下的定期性能測試

根據(jù)（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，因生產(chǎn)的復雜性和維護管理工作的主，客觀原因造成潔凈室性能的下降，必須對潔凈室進行定期的性能測試，檢測的頻數(shù)見下表。

????表十四???潔凈室性能測試的內(nèi)容和頻數(shù)

?潔凈度等級 項目	1~3	4、5、6	7	8、9
溫度	循環(huán)監(jiān)測	每班二次
濕度	循環(huán)監(jiān)測	每班二次
壓差值	循環(huán)監(jiān)測	每周一次	每月一次
潔凈度	循環(huán)監(jiān)測	每周一次	每3個月一次	每6個月一次
風量	循環(huán)監(jiān)測	不得超過12個月

 

（二）潔凈室性能測試的內(nèi)容

表十五??潔凈室檢測內(nèi)容

序號	測試項目	JGJ71-90規(guī)定			GB50073-2001規(guī)定
		低于100級	100級	1000級及以下
1	室內(nèi)送風量，系統(tǒng)總風量，室內(nèi)排風量，	檢測			檢測
2	靜壓差	檢測			檢測
3	風速和風量	檢測		不測	檢測
4	斷面風速不均勻度	檢測	必要時測	不測	未規(guī)定
5	潔凈度級別	檢測			檢測
6	浮游菌和沉降菌	必要時測			選測
7	室內(nèi)溫度和室內(nèi)相對濕度	檢測			選測
8	溫濕度波動范圍和區(qū)域溫差	必要時測			未規(guī)定
9	室內(nèi)噪聲級	檢測			選測
10	室內(nèi)倍鐸程聲壓級	必要時測			選測
11	室內(nèi)照度及其均勻度	檢測			選測
12	室內(nèi)微振	必要時測			必要時測
13	表面導靜電性	必要時測			必要時測
14	室內(nèi)氣流流型	不測		必要時測	選測
15	流線平行度	檢測	必要時測	不測	必要時測
16	自凈時間	不測	必要時測	必要時測	選測
17	過濾器安裝檢漏	未規(guī)定			選測
18	污染泄漏	未規(guī)定			選測

 

（三）潔凈室性能測試的主要儀器和儀表

1、風壓測試儀器：主要用于測定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區(qū)之間微壓差，也可利用壓差法測量風速，計算風量。

①液體壓力計：液體壓力計具有使用方便、價格低廉、精確度較高、制造安裝方便等優(yōu)點，但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。

常用的工作液體有：酒精、水、水銀等，在潔凈室測量中主要是酒精和水。

液體壓力計主要有：U型管壓力計、斜管壓力計、補償式壓力計。

②彈簧壓力計：彈簧壓力計是根據(jù)彈簧元件在所測壓力作用下發(fā)生變形，其變形量與所測壓力成函數(shù)關(guān)系這一原理制成的，其優(yōu)點是構(gòu)造簡單、便于攜帶、安裝方便、價格低廉。

常用的彈簧壓力計主要有：彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。

③電學壓力計：電學壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學方法來測定壓力的壓力計，適用于測量變化極快、數(shù)值很高或近乎絕對真空時的壓力。

2、風速和風量測試儀器：

①?????風速測量儀的作用原理有：機械式、散熱率式和動力測壓式等。

a．機械式風速儀：如翼形風速儀，它是利用流動氣體的原動壓推動機械裝置來顯示其流速的儀表。

b．散熱率式風速儀：是根據(jù)流體中受熱物體的散熱率與流體流速成正比關(guān)系制成，測定傳感器的散熱率，即能測到流體的流速。

常用的散熱率式風速儀有：熱線風速儀和熱球風速儀等。

②風量測量儀：在潔凈室中總風量的測試常用風管法，各房間送回風量多用風口法進行測量，其原理為平均風速乘以斷面面積。

③潔凈度測試儀：

a．塵埃粒子的檢測儀表：目前潔凈室潔凈度的檢測主要用光散射塵埃粒子計數(shù)器，它又分為白只光塵埃粒子計數(shù)器和激光塵埃粒子計數(shù)器。

它的原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系來測量微粒粒徑的大小。

b．生物粒子的檢測儀表：目前生物粒子的檢測方法主要有采用培養(yǎng)基法和濾膜法，所用的儀器分浮游菌采樣器和沉降菌采樣器。

浮游菌采樣器主要有：固體撞擊式采樣器、離心式空氣微生物采樣器、氣旋式微生物采樣器、液體沖擊式微生物采樣器、過濾式微生物采樣器和大容量靜電沉降采樣器等。

沉降菌采樣器主要有：高壓消毒鍋、恒溫培養(yǎng)箱和培養(yǎng)皿等。

④溫度測試儀：通稱溫度計，按其作用原理可分為膨脹式溫度計、壓力式溫度計、熱電偶溫度計和電阻溫度計。

a．膨脹式溫度計：分固體膨脹式溫度計和液體膨脹式溫度計。

b．壓力式溫度計：可分為充氣壓力計式溫度計和充蒸汽壓力計式溫度計。

c．熱電偶溫度計：是根據(jù)熱電效應原理制成的，當兩種不同金屬節(jié)點溫度不同時就會有電動勢，如已知一點溫度，測出電動勢就可推算另一點的溫度。

d．電阻溫度計：基于某種金屬及其合金或半導體的電阻會隨溫度變化而變化，精確地測定電阻就會測出溫度。

電阻溫度計的優(yōu)點有：精確度靈敏度高、反應快；測溫范圍寬；不需冷節(jié)點補償；可用于遠距離溫度測量。

⑤濕度測試儀：濕度測試儀按其原理可分為干濕球溫度計、毛發(fā)溫度計、電溫度計等。

⑥噪聲測試儀：噪聲測試儀它的原理是用電容式傳聲器將聲能變?yōu)殡娔?，再?jīng)放大器、檢波器等一系列處理，最后給出聲壓值。

⑦照度測試儀：常用的便攜式照度計它的原理是用一種光敏元件做探頭，當有光照時就會產(chǎn)生光電流，光線越強光電流越大，測量電流時就可測出照度。

（四）潔凈室性能測試的方法

1．風量和風速的測量

①．測試前的準備工作：

測試前首先檢查風機運行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門的開啟位置是否正確并且固定可靠。

②?????單向流潔凈室風量的測定：

垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室的風量是采用斷面平均風速和斷面面積的乘積來計算的，斷面的選取和斷面上的測點布置見下表。

表十六??施工驗收規(guī)范JGJ71和設計規(guī)范GB50073的比較

內(nèi)???容	施工驗收規(guī)范JGJ71		設計規(guī)范GB50073
	垂直單向流	垂直單向流	垂直單向流	水平單向流
測定斷面的選取	距地面0.8m	距送風面0.5m	距高效過濾器0.3m
測點的布置	間距不大于2m均勻布置		間距不大于0.6m均勻布置
最少測點數(shù)	10點，算數(shù)平均		5點，算數(shù)平均
測定儀器	熱球風速儀		未作具體規(guī)定
評定標準	應大于設計風速,且不超過20％		1~4級	0.3~0.5
	不均勻的均方根差不大于0.25		5級（100級）	0.2~0.5

 

③?非單向流潔凈室風量的測定：

非單向流潔凈室風量的測定可采用風管法和風口法

a.???????風管法測風量：

風管法測風量中風管測定斷面應選擇氣流比較均勻穩(wěn)定地方，且與局部阻力的距離，測定斷面在局部阻力前時不小于3倍風管管徑長度，測定斷面在局部阻力后時不小于5倍風管長邊長度。

對于矩形風管將測定斷面分成若干個相等的小截面，盡可能接近方形，邊長應不大于200mm。測定點在小截面的中心。整個測定斷面的測點數(shù)不少于3個。

對于圓形風管將測定斷面分成若干個面積相等的同心圓環(huán)，每個圓環(huán)上設4個測點，4個測點應在相互垂直的兩條直徑上。

圖三十六?矩形風管的測點布置??? ??????????圖三十七???圓形風管的測點布置

 

b.?風口法測風量：

在施工驗收規(guī)范JGJ71中規(guī)定了兩種方法：其一是對于有過濾器的風口，可根據(jù)風口形式選用與風口斷面相同的輔助風管，其長度為兩倍風口的邊長，連接于被測風口外部，在輔助風管的出口面上，最少布置6個測點，用熱球風速儀測個點風速，再用斷面平均風速乘以風口凈面積來計算風量。其二是對于有同類擴散板的風口，可根據(jù)擴散板的風量阻力曲線和實測擴散板阻力來查出風口的風量。

④風量測定結(jié)果的判定：

a.?????實測風量應大于設計風量，但不應超出20％。

b.?實測新風量與設計新風量之差不應超出10％。

c.?實測個風口風量與設計風量之差不應超出15％。

2．潔凈度的測定：

①．在施工驗收規(guī)范JGJ71中規(guī)定如下：

a.???????最低采樣點數(shù)見下表，每個測點最少采樣機3次。

表十七??最低采樣點數(shù)表

面積（m2）	潔??凈??度
	100級和高于100級	1000級	10000級	100000級
小于10	2~ 3	2	2	2
10	4	3	2	2
20	8	6	2	2
40	16	13	4	2
100	40	32	10	3
200	80	63	20	6
400	160	126	40	13
1000	400	316	100	32
2000	800	633	200	63

 

b.????測定潔凈度的最小采樣量按下表：

表十八????最小采樣量表(L)

潔凈度級別（級）	粒????徑（mm）
	0.1	0.2	0.3	0.5	5.0
1	17	85	198	566
10	2.83	8.5	19.8	56.6
100		2.83	2.83	5.66
1000				2.83	85
10000				2.83	8.5
100000				2.83	2.83

c.????????對于單向流潔凈室采樣口應朝著氣流方向。對于非單向流潔凈室采樣口宜朝上。采樣速度盡可能接近室內(nèi)氣流速度。即（等速采樣）。

測點的布置原則：每層不少于5個測點，多于5點時可分層布置。測點布置在距地0.8m高的對??角線上。

②?潔凈度測定結(jié)果的判定：

a.??如實測狀態(tài)（空態(tài)，靜態(tài)，動態(tài)）與事先約定的狀態(tài)相同，以其潔凈度級別上限作為評定標準。

b.??????????如實測狀態(tài)為空態(tài)或靜態(tài)，則動態(tài)時的粒子數(shù)肯定會高，有時可用空態(tài)粒子數(shù)的5~10倍來估算動態(tài)時的塵埃粒子數(shù)。

3．微生物粒子的測定：

①．采樣點的布置和要求：

a.???????浮游菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。測點距離地面0.8~1.5m,送風口測點位置距送風面30cm左右。根據(jù)需要可在關(guān)鍵部位增加測點。測點布置要均勻。見下表：

表十九??浮游菌測定最少采樣點數(shù)表

面積（m2）	潔???凈????度
	100級		10000級		100000級
	驗證	監(jiān)測	驗證	監(jiān)測	驗證	監(jiān)測
小于10	2~ 3	1	2	1	2	－
10~20	4	2	2	1	2	－
20~40	8	3	2	1	2	－
40~100	16	4	4	1	2	－
100~200	40		10		3	－
200~400	80		20		6	－
400	160		40		13	－

 

b.???????沉降菌測定時，其采樣點位置可以與懸浮粒子測定點的布置相同。測點距離地面0.8~1.5m。根據(jù)需要可在關(guān)鍵部位增加測點。測點布置要均勻。對于沉降菌法不僅僅滿足于最少采樣總數(shù),還需滿足最少采樣培養(yǎng)皿總數(shù)。見下表：

表二十??沉降菌測定最少采樣點數(shù)表

面積（m2）	潔???凈????度
	100級	10000級	100000級
小于10	2~ 3	2	2
10~20	4	2	2
20~40	8	2	2
40~100	16	4	2
100~200	40	10	3
200~400	80	20	6
400~1000	160	40	13
1000~2000	400	100	32
2000以上	800	200	63

 

表二十一???沉降菌測定最少培養(yǎng)皿數(shù)表

潔凈度等級（級）	90培養(yǎng)皿數(shù)（以沉降0.5h計）
高于100	44
100	14
1000	5
10000	2
100000	2

 

浮游菌測定法最小采樣量應按不同潔凈度等級來確定。見下表

 

表二十二????浮游菌測定法最小采樣量表

潔凈度等級（級）	采樣量/L?次
	日常監(jiān)測	環(huán)境驗證
100	600	1000
10000	400	500
100000	50	100

 

②?微生物粒子測定方法：

a.????????浮游菌的測定法

首先，要對測定儀器，培養(yǎng)皿，采樣器等進行消毒滅菌，采樣口和采樣管在使用前必須用高溫滅菌。

第二，采樣者應穿與潔凈室等級相應的潔凈服，放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手要用消毒劑消毒。

第三，儀器消毒后放入培養(yǎng)皿前，先開動真空泵抽氣，使儀器中的殘存消毒劑蒸發(fā)，時間不小于5min。

第四，關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。

第五，置采樣口于采樣點，依次開啟采樣器，真空泵，轉(zhuǎn)動定時器并根據(jù)采樣量選定采樣時間。

第六，采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿置于30~50oC恒溫培養(yǎng)箱中，時間不小于48小時。

第七，用肉眼計數(shù)，然后用5~10倍的放大鏡檢查，是否有遺漏。

b.?沉降菌的測定法

首先，要對測定儀器，培養(yǎng)皿等進行嚴格的消毒滅菌，在37oC恒溫培養(yǎng)箱中，進行不小于48小時的培養(yǎng)和觀察，確認無菌后方可使用。

第二，一般采用90mm的沉降平皿，注入20mL培養(yǎng)基，放在測點處，開蓋暴露30min,將培養(yǎng)皿蓋蓋上倒置，然后在30~35oC恒溫培養(yǎng)箱中，進行不小于48小時的培養(yǎng)并用肉眼計菌落數(shù)，并記錄生成的菌落數(shù)，然后用5~10倍的放大鏡檢查，是否有遺漏。

4．靜壓差的測定：

①．靜壓差的測定要求：

首先，靜壓差的測定是潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全關(guān)閉狀態(tài)下進行的。

第二，應從潔凈度高到潔凈度低的房間順序進行，一直到直通室外的房間。

第三，測管口設置在室內(nèi)不受氣流干擾的地方。

第四，所測數(shù)據(jù)應精確到1.0Pa。

②?靜壓差的測定步驟：

首先，是將潔凈區(qū)內(nèi)所有的門全處于關(guān)閉狀態(tài)下。

第二，用微壓差計測量潔凈室之間，潔凈室和走廊之間，走廊與外界之間的壓差。

第三，記錄在案

③?靜壓差測定用的儀器：

靜壓差測定一般采用的儀器為YJB-150型補償式微壓計，傾斜式壓力計，精密指針式壓力計或靈敏度小于1.0Pa的其它壓力計。

④?合格標準：

首先，不同級別的潔凈室（區(qū)）與非潔凈室潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應不小于5Pa。

第二，潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應不小于10Pa。

第三，對于潔凈度等級嚴于5級的單相流潔凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處室內(nèi)工作面的含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。

5．溫度和相對濕度的測定：

①溫濕度的測定要求

首先，溫濕度測定前，凈化空調(diào)系統(tǒng)應連續(xù)運行48h以上。

第二，應根據(jù)溫濕度的精度范圍，選擇有足夠精度的測定儀表，并經(jīng)過校驗標定合格。

②溫濕度的測定方法：

第一，溫濕度的測點應距離地面0.8m，距離外墻0.5m。

第二，應根據(jù)溫濕度的精度范圍的要求，測定宜連續(xù)運行8~48h，每次讀數(shù)間隔不大于30min。

第三，對于沒有恒溫要求的房間，其溫度只測房間中心一個點即可。

第四，對于有恒濕要求的房間或區(qū)域，測點應放在送，回風口處或具有代表性的點。

③?合格標準：

有90%以上的測點其溫度的偏差值在室溫要求的范圍內(nèi)，為符合設計要求，反之為不合格。

6．照度的測定：

①?????照度的測定要求

室內(nèi)照度的測定必須在室溫穩(wěn)定，光源光輸出穩(wěn)定后再進行測定。

②照度的測定方法：

第一，照度的測點應距離地面0.85m，按間距1~2m布點，測點距離墻1m。

第二，記錄實測值并計算總的平均照度。

第三，照度測定一般是不含局部照明以外的一般照明。

③?合格標準：

應符合設計要求，根據(jù)（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，潔凈室內(nèi)一般照明的均勻度不應小于0.7。

7．噪聲的測定：

①?噪聲的測定方法：

當房間的面積不大于50m²時，僅測定房間中心一個點。當房間的面積較大時，每增加50m²增加一個測點。測點距離地面1.0m。當有條件時，宜測房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。

②?合格標準：

應符合設計要求，根據(jù)（潔凈廠房設計規(guī)范）的要求，潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應大于60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應大于65 dB(A)。

8．自凈時間的測定：

①自凈時間的測定方法：

以大氣塵為基準測定時，潔凈房間必須停止運行一段時間，待空氣中含塵濃度接近大氣含塵濃度時，然后開機，直到含塵濃度達到最低穩(wěn)定值為止，其所需要的時間為自凈時間。

以人工塵（香煙，巴蘭香等）為基準測定時，在潔凈室中央距離地面1.8m的高度發(fā)煙1~2min

即停止，再穩(wěn)定1~2min，然后開機，直到含塵濃度達到最低穩(wěn)定值為止，其所需要的時間為自凈時間。

9．安裝后過濾器的檢漏：

①檢漏要求：

被檢過濾器應檢測過風量并在設計風量的80%~120%條件下運行。

被檢過濾器上游的粒子濃度被檢過濾應滿足下列要求：對受控粒徑≥0.5μm的濃度，應不小于3.5×10⁴pc/L

對受控粒徑≥0.5μm的濃度，應不小于3.5×10⁴pc/L

②檢漏方法：

用粒子計數(shù)器對安裝的接縫和主斷面進行掃描檢漏。檢漏點應距離被檢表面20~30mm。掃描的速度5~20mm/s，?掃描檢漏的部位為過濾器整個斷面，封頭膠，安裝框架等處。掃描檢漏用的粒子計數(shù)器的最小采樣量應大于1L/min。

③?合格標準：

被檢過濾器下游的粒子濃度換算成穿透率，高效過濾器不應大于出廠合格穿透率的兩倍。

七，潔凈室運行管理的一些問題：

（一）過濾器的基本知識及其維護管理

1，過濾器的基本知識

過濾器是潔凈室的主要凈化設備，是空氣凈化的主要手段。因此，對于從事潔凈室設計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。

a、過濾器的分類

按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六類過濾器。

我國國家標準《空氣過濾器》GB/T 14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下：

表二十三??過濾器的效率和阻力（GB/T 14295-93）

???????????性能指標 性能類別	額定風量下的大氣塵限徑計數(shù)效率 （E %）		額定風量下的初阻力 （Pa）
粗效	≥?5.0μm	80 > E > 20	≤?50
中效	≥?1.0μm	70 > E > 20	≤?80
高中效	≥?1.0μm	90 > E > 70	≤?100
亞高效	≥?0.5μm	99.9 > E > 95	≤?150

 

國家標準《高效空氣過濾器》GB 13554-92中規(guī)定將高效過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超高效過濾器（或稱為0.1μm高效過濾器或超低透過率過濾器）。

表二十四??過濾器的效率和阻力（GB 13554-92）

???????性能指標 性能類別	效??率 （E %）		額定風量下的初阻力（Pa）
A	額定風量下的鈉焰效率	≥?99.9	≤?190
B	額定風量和20%額定風量下的鈉焰效率	≥?99.99	≤?220
C	額定風量和20%額定風量下的鈉焰效率	≥?99.999	≤?250
D	額定風量和20%額定風量下的≥0.1μm粒子效率	≥?99.999	≤?280

 

國外將超高效過濾器（ULPA）的過濾效率指標規(guī)定為對于≥0.12μm粒子的過濾效率E≥99.9995%。

關(guān)于我國和歐美對過濾器的分類比較如下：

表二十五???過濾器的分類表

我國標準 GB/T 14295

一般通風用

潔凈室用

粗??效

中效

高中效

亞高效

高??效

超高效

美國 ASHRAE標準

C1

C2 C3 C4

L5 L6

L7 L8

M9 M10

M11 M12

M13

M14

H15

H16

UH17 UH18

UH19

UH20

歐洲新標準

G1

G2

G3

G4

F5

F6

F7

F8

F9

H10

H11

H12

H13

H14

U15

U16

U17

歐洲老標準

EU1

EU2

EU3

EU4

EU5

EU6

EU7

EU8

EU9

EU10

EU11

EU12 EU13

EU14

?效率E（%）

65???? 80??? 90

??? 60????? 80???? 90

? 85?? 95?????? 99.5??? 99.95? 99.995??? 99.9995?? 99.99995

計重法

比色法

MPPS法（DOP法）

 

b、過濾器的過濾機理

過濾機理主要有攔截（過篩）、慣性碰撞、布朗擴散和靜電等。

① 攔截：即過篩。大于篩孔的粒子攔截下來被過濾掉，小于篩孔漏過去。

一般對大粒子有作用，效率很低，是粗效過濾器的過濾機理。

② 慣性碰撞：粒子尤其較大粒子隨氣流流動，作無規(guī)則運動。由于粒子的慣性或某種場力作用偏離氣流方向，不隨氣流運動，而與障礙物碰撞、粘住而被過濾掉。粒子越大，慣性越大，效率越高。一般是粗效和中效過濾器的過濾機理。

③?布朗擴散：氣流中的微小粒子做無規(guī)則的布朗運動，與障礙物撞擊被鉤留粘住，而被過濾掉。粒子越小，布朗運動越強，與障礙物撞擊機會越多，效率越高。這也被稱作擴散機理。這是亞高效、高效和超高效過濾器的過濾機理。且纖維直徑越接近粒子徑效果越好。

c、過濾器的性能

過濾器性能一般包括過濾效率E；初阻力Hc；容塵量g。

①?過濾效率?E =?被過濾器過濾掉的（捕集的）粒子量/未過濾前空氣中粒子總量×100%

一般而言：≤0.1μm粒子主要作布朗擴散運動，粒徑越小，效率越高。

> 0.5μm粒子主要作慣性碰撞運動，粒徑越大，效率越高。

0.1 > d >0.5μm之間的粒子其過濾效率有一個最低點，即最大穿透率的粒徑。

②?初阻力Hc：氣流繞纖維運動產(chǎn)生微小阻力，無數(shù)微小阻力之和即濾料對空氣的阻力。過濾器的阻力與氣流速度有關(guān)，速度越大，阻力越大。

過濾器的阻力分為初阻力（Hc）和終阻力（Hz）。

初阻力（Hc）是過濾器器開始使用時額定風量下的阻力。

終阻力（Hz）是過濾器更換時的阻力。一般Hz = 2×Hc。

③?容塵量g：過濾器到達終阻力時在濾料上所容納的灰塵重量。

d、濾速

濾速是指空氣垂直于濾料方向穿過濾料的速度。不是過濾器迎面風速。

濾速越大粒子慣性力越大，對粗、中效過濾器而言效率越高，但濾速越大，過濾器對空氣的阻力也越大。所以一般粗效過濾器濾速為1~2 m/s，中效過濾器的濾速0.2~1 m/s。

濾速越大，不利于微小粒子的布朗運動，因此對高效、超高效過濾器的濾速一般控制在0.02 m/s左右。

e、過濾器濾料和結(jié)構(gòu)形式

粗效過濾器的濾料一般為：玻璃纖維、化纖、無紡布等其結(jié)構(gòu)型式多為板式、折疊式和袋式。

中效過濾器的濾料一般為玻璃纖維、化纖、無紡布等其結(jié)構(gòu)型式多為袋式、楔形折疊式。

高效過濾器的濾料主要是超細玻璃纖維濾紙。結(jié)構(gòu)型式均為折疊式。有有隔板和無隔板之分。

f、過濾器的使用和更換

①?過濾器的使用

粗效、中效、高中效、亞高效、高效、超高效6種過濾器各有各的用途，必須正確使用，如果使用不當，不但不會起作用而且還會產(chǎn)生不良甚至相反的效果。因此，設計、建造和維護管理潔凈室的人員要特別注意。

粗效過濾器是作為預過濾器使用，一般是設置在空調(diào)箱內(nèi)，其作用是過濾大顆粒的粒子，以保護其后的空調(diào)設備（如表冷器和加熱器等）和中效以及更高級過濾器。一般粗效過濾器不能作為終端過濾器。

中效過濾器一般設在空調(diào)箱的正壓段，其作用是保護亞高效、高效過濾器等終端過濾器。它除去的是≥1.0μm的中小粒子。一般情況下，中效過濾器是中間過濾器，不能做預過濾器用，也不能做終端過濾器。

高效和超高效過濾器都做為凈化系統(tǒng)的終端過濾器。一般放置在潔凈室的吊頂上。高效過濾器（HEPA）是潔凈室的必須的終端過濾器。而超高效過濾器是0.1μm，10級、1級或更高級別潔凈室必須的終端過濾器。

②?過濾器的更換

過濾器經(jīng)過一段時間的運行，當過濾器的阻力達到其終阻力Hz時，一般情況下就要更換了，否則其性能就會下降，達不到應起的作用，甚至會影響系統(tǒng)的正常運行。

對粗、中效過濾器而言，有一次性使用后廢棄的也有可清洗后繼續(xù)使用的，不過清洗后的粗、中效過濾器的阻力遠比其初阻力大，效率也有所提高。

然而亞高效、高效和超高效過濾器都是一次性的，使用后就廢棄的。

(二)、潔凈室的發(fā)塵源和潔凈室的清埽：

1、潔凈室的發(fā)塵源

對于潔凈室的塵源，除了來自室外大氣的塵粒和進入潔凈室的人和物攜帶的灰塵之外，潔凈室內(nèi)的發(fā)塵源主要來自于潔凈室內(nèi)操作人員，潔凈室的圍護和潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。

①?潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的產(chǎn)塵。作業(yè)人員的產(chǎn)塵與所穿的潔凈工作服的材料、型式、著裝情況和作業(yè)人員本身的動作有關(guān)。因此，潔凈室內(nèi)的作業(yè)人員必須穿規(guī)定的工作服而且動作也要受到一定的限制。通常情況下，一般電子裝配工藝穿全身型潔凈工作服輕微動作時，人員的產(chǎn)塵量為3.5 ~ 5.0×10⁵個/人.分（≥0.5μm）。是潔凈室內(nèi)的最主要的發(fā)塵源。

②?潔凈室圍護和室內(nèi)表面的產(chǎn)塵。隨著潔凈室裝修材料的發(fā)展，耐磨、抗靜電、少產(chǎn)塵的材料出現(xiàn)，潔凈室內(nèi)建筑產(chǎn)塵量越來越小。一般認為潔凈室單位建筑面積產(chǎn)塵為3 ~ 5.0×10⁴?/m².分（≥0.5μm）?？梢?0平方米建筑產(chǎn)塵只相當一個作業(yè)人員的產(chǎn)塵量。

③?生產(chǎn)設備和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵：這一產(chǎn)塵量與設備和生產(chǎn)過程本身有直接關(guān)系。不同設備、不同生產(chǎn)工藝的產(chǎn)塵量差別極大。在日本的資料介紹，一臺電動機的產(chǎn)塵量大約為4.5 ~ 45×10⁴個/臺.分（≥0.5μm）。

2、潔凈室的清掃

①?人工擦拭法：即人用潔凈室專用擦布和純水對潔凈室的地、墻、頂以及家具和設備表面進行擦拭。這種清掃方法較為徹底。

②?分散式真空吸塵法：一般此方法只適用于低級別（1000級、10000級、100,000級）亂流潔凈室。方法簡單、靈活、方便，每天下班后均可采用此方法清掃。但由于移動式真空吸塵器內(nèi)的圓筒形高效過濾器的效率比較低（≥99.5%，≥0.5μm），因此不適用在高級別的潔凈室。一般情況500 m²潔凈室可設兩臺吸塵器，每增加500 m²增加一臺，最多不超過10臺。

③?集中式真空吸塵法：集中式真空吸塵是一個由吸塵口、管網(wǎng)、集中吸塵泵、除塵器組成的系統(tǒng)。吸塵泵和除塵器設在專門的機房內(nèi)，因噪聲極大，機房不但要遠離廠房和辦公區(qū)，而且還要適當?shù)刈鞲袈曄曁幚?。吸塵泵應有備用不應少于2臺。系統(tǒng)的管道宜用無縫鋼管焊接聯(lián)接暗裝敷設。其彎頭曲率半徑為4 ~ 6d煨彎不得折皺，三通夾角要小于45o，不應有四通（可由2個三通組合），水平管道的坡度為3‰，坡向立管和吸塵點，拐彎處宜設清掃口。系統(tǒng)末端為吸塵口，平時有蓋密封，使用時開蓋插入吸塵軟管進行吸塵。一般吸塵軟管作用半徑為8米，每個系統(tǒng)同時工作的吸塵口為4~5個，每個吸塵口的風量為150m³/時。

 

集中式真空吸塵不會影響室內(nèi)的潔凈度，因此，集中式真空吸塵方法多用在級別較高（100級、10級、1級），面積較大的潔凈室中。

潔凈室的清掃制度在一般情況下，每班（每天）小清掃一次；每周中清掃一次，每月大清掃一次。并且要設專人負責管理、監(jiān)督和檢查。還要有一定的培訓制度。

（三）潔凈室的空氣品質(zhì)：

影響潔凈室內(nèi)的空氣品質(zhì)的因素很多。如：潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量的大?。皇覂?nèi)含氧量的多少；室內(nèi)的負離子數(shù)量；室內(nèi)裝修安裝等材料和生產(chǎn)過程產(chǎn)生的低濃度分子級的化學污染物的情況以及生產(chǎn)過程中散發(fā)的酸、堿、有機等廢氣都會影響潔凈室內(nèi)的空氣品質(zhì)。

1、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量

《潔凈廠房設計規(guī)范》50073-2001中規(guī)定“保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³?！?/p>

根據(jù)平衡方程式：人們工作正常呼吸排出的CO₂量?M = 0.03 m³?/人?h

新鮮空氣中CO₂的含量???????? C₀?=0.0003 m³/ m³空氣

潔凈室內(nèi)空氣允許的CO₂含量?? C =0.001 m³/ m³空氣。

故：潔凈室內(nèi)人們正常工作所需的新鮮空氣量?L_新?= M/C-C₀

L_新?= M/C-C₀?= 0.03/0.001- 0.0003 =42.86 m³/人.h

因此，新鮮空氣量按規(guī)范要求是可行的。新鮮空氣量太小不利于潔凈室內(nèi)作業(yè)人員的健康，若新鮮空氣量太大，運行能耗太大，運行費用太高不經(jīng)濟。但最小不低于40m³?/人.h。

2、潔凈室空氣的含氧量

大氣中氧氣的含量大約占21%，氮氣大約占79%，其他氣體的含量占總量的比例微忽其微。而潔凈室是一個密封的空間，往往在潔凈室內(nèi)作業(yè)的人員會感覺不舒服、悶氣、頭痛等等，是不是潔凈室內(nèi)空氣中的氧氣含量少了呢？為了這一問題，在1983年編制《潔凈廠房設計規(guī)范》GBJ 73-84時，專門請了北京有關(guān)衛(wèi)生部門的專家對北京878廠潔凈室內(nèi)的氧氣含量進行了測試，其結(jié)果：潔凈室內(nèi)的氧氣含量占20%左右，基本正常，但潔凈室空氣中含有一些其他化學污染物和氣味，使人感覺不舒服。

3、潔凈室空氣中的負離子量

a)???????一般空氣中的離子分為小離子、中離子和大離子三類。小離子是由3~12個帶有基本電荷的分子組成的復合物（如：等）；中離子是大約由100~1000個分子組成的復合體，一般寄存在微粒子上；大離子是由10⁶個分子聚合在一起的凝聚核。

表二十六???空氣中的負離子含量表（個/ cm³）

離??子	半徑（mm）	基本電荷	壽??命	公園和田野中的數(shù)量（個/cm3）
小離子	6×10-5	± 1	30~300秒	（1~10）×103
中離子	（1-5）×10-4	± 1	分~時	（1~10）×103
大離子	> 10-2	≤±10	天~周	（1~100）×103

 

在99年8月份的《精品購物指南》雜志“空氣中的負離子”一文中將空氣中的負離子稱為“空氣中的維生素”。該文給出了不同地方空氣中的負離子含量。

表二十七??各空間空氣中的負離子含量表（個/ cm³）

空??間	森林 瀑布區(qū)	高山 海邊區(qū)	郊野 田園區(qū)	都市 公園區(qū)	街道 綠化區(qū)	城市 住宅區(qū)	空調(diào) 房間區(qū)	潔凈室內(nèi)
負離子含量	100,000~ 500,000	50,000~ 100,000	5,000~? 50,000	1,000~? 2,000	100~200	40~50	0~2	0
負離子 的作用	具有自然的免疫力	有殺菌作用減少疾病	能增強免疫力、抗菌力	維持基本需要	可誘發(fā)重量狀態(tài)邊緣	可誘發(fā)生理障礙，頭痛失眠	可誘發(fā)空調(diào)病

 

②?空氣中負離子對人體的作用

其實負離子是空氣中帶有負電荷的分子，負氧離子是帶負電荷的氧分子。是空氣電離產(chǎn)生的。在自然界中雨過天晴、森林、瀑布、海邊的空氣中負離子含量多。廣東省肇慶有一個旅游景點“鼎湖山”就以負離子而聞名，其負離子在空氣中的含量高達200,000 ~300,000個/cm³。實踐證明空氣中的負離子對人體有一定的生理作用，其表現(xiàn)在：可降低血壓、抑制哮喘、鎮(zhèn)靜神經(jīng)、消除疲勞，能增強人體的免疫力和抗菌能力，使人精神爽，工作效率高。實驗證明：空氣中的負離子與呼吸器官接觸時，產(chǎn)生電荷遷移，對器官施加刺激，而且離子越輕其活動能力越強，對器官施加的刺激就越明顯。這種生物刺激的結(jié)果會使人體血液中的自由氧的含量提高，促使人體呼出CO₂和吸入O₂的量增多，這就意味著對人體有一定的好處。

在潔凈室中的空氣是經(jīng)過粗、中、高效過濾器過濾的空氣，所以潔凈室空氣中的負離子含量幾乎為零。也是在潔凈室內(nèi)人們感覺不舒服的一個原因。

③?負離子發(fā)生器

我國在80 ~ 90年代間有很多廠家研究和生產(chǎn)負氧離子發(fā)生器，但由于技術(shù)原因電離空氣的電壓不穩(wěn)定等因素，產(chǎn)生負氧離子（）的同時也產(chǎn)生大量的臭氧（），因為臭氧對人體有害，損傷人的眼角膜和鼻粘膜等，后來很少生產(chǎn)了。但這一產(chǎn)品在保證質(zhì)量的前題下還是非常需要的。不僅在潔凈室內(nèi)而且在日常生活中也是需要的。

4、潔凈室空氣中的其他化學成份

潔凈室尤其電子工業(yè)用的潔凈室由于室內(nèi)裝修材料以及生產(chǎn)用的原材料（各種氣體、溶劑等）和生產(chǎn)過程排放的廢氣（含酸、含堿、含有機等化學污染物）等都會向潔凈室空氣中散發(fā)大量的化學物質(zhì)，不僅影響潔凈室內(nèi)的空氣品質(zhì)，也會污染室外大氣。

因此，在設計、建造和使用潔凈室時要重視和處理好工藝設備的局部排風和廢氣的治理。不僅工藝設備本身要加強密封，而且，還要加強通風，提高排風效果，作好氣流組織，使?jié)崈羰覂?nèi)的空氣品質(zhì)得以改善。

（四）潔凈工作服及其管理：

潔凈工作服也稱作無塵服（無菌服）是潔凈室內(nèi)工作人員的專業(yè)服裝。潔凈工作服對其衣料的要求很嚴格，服裝的型式也根據(jù)潔凈室潔凈度的不同而不同。

1，潔凈工作服的衣料

潔凈工作服的衣料多為長纖維防靜電的尼龍或聚脂材料。

潔凈工作服對衣料的要求（摘自“空氣潔凈”99年第一期）

 

表二十八???潔凈工作服的材料特性

要????素	要????求
有利于潔凈度	不產(chǎn)塵、纖維剝離疲勞斷絲時也不產(chǎn)塵，有過濾性能不透塵
防靜電好	在低溫、低濕條件下制電性能好，不產(chǎn)生靜電，灰塵難以附著
生物學特性好	經(jīng)滅菌處理后有持久的延續(xù)性，耐滅菌性能好
化學性能有耐久性	宜縫制，耐反復洗滌，易清洗，易著色。耐腐蝕性強
穿著舒適性好	柔性好、透氣性好、手感好，有吸濕性、伸縮性、保溫性
不透明性好	潔凈服穿著時看不見內(nèi)部的衣服

2，潔凈工作服的型式：

a、連體型（全身）：帽子、上衣、褲子、鞋套等集中連成一體，還配有手套、口罩、眼罩等，一般多用在高級別潔凈度的潔凈室內(nèi)。

b、分體型：帽子、上衣、褲子、鞋套四件分開型。多用于潔凈度較低的潔凈室。

c、大褂型：有帽子、大褂、拖鞋，沒有褲子。用于低潔凈度潔凈室和準潔凈室。

3，潔凈工作服的洗滌

關(guān)于潔凈工作服的清洗管理等我國尚無標準和規(guī)范，目前各個使用潔凈工作服的單位對其管理也極不規(guī)范。

有的工廠有自己的洗衣房（潔凈洗衣房），用去離子水或純水和中性洗滌劑清洗后在潔凈環(huán)境下晾干。全廠統(tǒng)一管理，統(tǒng)一清洗，但成本很高。這是最好的情況。

也有的工廠有自己的洗衣房（一般房間），用普通自來水和一般洗滌劑，在一般條件下晾干。這種情況也較多。

最差的是將潔凈工作服交給職工拿回家去洗。普通洗衣機、普通自來水、一般洗衣粉、晾在室外。洗完后看上去很白、很“干凈”，但由于洗滌不規(guī)范，洗后的潔凈工作服的產(chǎn)塵比洗滌前還多，這也不能稱作潔凈工作服了。

4，介紹國外的潔凈工作服的清洗管理情況

日本有一個公司叫“CIC（CLEAN IN CLEAN ROOM）株式會社”是一家專門清洗潔凈工作服的公司，其經(jīng)營范圍遍跡日本四個島，90%以上潔凈工作服均交給“CIC”清洗。我們?nèi)⒂^時見到，潔凈工作服洗滌間是一個100級層流潔凈室，洗滌時先用干洗，洗滌劑是經(jīng)0.2?μm濾膜過濾的全氯乙烯（或三氯乙烯），主要是去油跡，干洗后再用純水和專用中性洗滌劑進行水洗，然后用經(jīng)高效過濾器過濾的熱風吹干。洗后的衣服在專用的（帶抽風的）工作臺上熨平、折疊、裝袋。為了滅菌，塑料袋內(nèi)充環(huán)氧乙烷，滅菌后的環(huán)氧乙烷會自己釋放掉。若有破損處事先還進行縫補……。最后這些裝在密封塑料袋中的潔凈工作服又按規(guī)定裝在密封的塑料箱中外運，這些工作都在100級潔凈室內(nèi)進行。密封的塑料箱按省、市、縣、區(qū)、廠、班、組進行編號，以免搞錯。在使用工作服的工廠每個使用者都有三套工作服，其中一套穿在身上，一套交去清洗，一套備用。潔凈工作服的全部清洗過程包括：取待洗的臟衣服，送洗后的干凈衣服等全部由“CIC”負責，不讓用戶操心，而且管理得井井有條，非常規(guī)范?！癈IC”還有一個實驗室，實驗室有很完善的測試手段，定期對洗滌的每一批潔凈工作服進行抽樣測試，以保證潔凈工作服的洗滌質(zhì)量。從洗滌質(zhì)量、管理規(guī)范和清洗成本等方面，這種管理和洗滌方法遠比分散到各個使用廠自己清洗要好得多。因此，建議：最好在我國的長江三角洲、珠江三角洲、北京、天津環(huán)渤海等三個經(jīng)濟發(fā)達、高科技企業(yè)集中的地區(qū)分別設立類似“CIC”這樣的“潔凈服清洗和管理公司”不僅會有很好的效益，而且對潔凈工作服的使用單位、對社會、對環(huán)保都有好處。

（五），潔凈區(qū)廁所的設置：

1，在我國“潔凈廠房設計規(guī)范”GB 50073-2001中規(guī)定“潔凈區(qū)內(nèi)不宜設廁所，人員凈化用室內(nèi)的廁所應設前室”；在人員凈化程序圖中，將廁所設在門廳內(nèi)換鞋區(qū)之前，其目的是避免廁所對潔凈區(qū)帶來污染。

這一設置位置會給潔凈室內(nèi)作業(yè)人員上廁所帶來很大的麻煩，要上廁所由潔凈室出來要經(jīng)過更衣，換鞋，方便以后回潔凈室還要經(jīng)過換鞋，更衣，吹淋等人身處理程序。但是，為了保證潔凈區(qū)的衛(wèi)生和潔凈還必須這樣執(zhí)行。

2，潔凈廁所

在日本參觀時見過“潔凈廁所”。86年我國潔凈設備廠也生產(chǎn)過這樣的“潔凈廁所”。它是帶有排風負壓的100級層流衛(wèi)生間，內(nèi)設便器、洗手盆、烘手器全是自動化的，便后不能用衛(wèi)生紙（也沒有衛(wèi)生紙），而是用熱水沖洗，熱風烘干。這樣的廁所就直接放在潔凈室旁邊，作業(yè)人員上廁所無須經(jīng)過更衣、換鞋等程序，給作業(yè)人員帶來極大方便。但是，價格昂貴，運行費用也很高，管理也有一定的問題。國內(nèi)很少見，只有在必要的場合中設置。

（六）值班風機的設置：

1，設置值班風機的目的

設置值班風機是為了在潔凈室不工作時，其凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運行的情況下，為了確保潔凈室的潔凈度不受外界污染空氣的破壞，必須維持潔凈室內(nèi)的一定的正壓設置值班風機。值班風機送風也必須經(jīng)過粗、中、高效過濾器三級過濾，而且還須有冷卻、去濕、加熱等熱濕處理，否則潔凈室內(nèi)的設備、儀器、產(chǎn)品等就可能產(chǎn)生結(jié)露、生霉、生銹現(xiàn)象造成損壞。因此，在值班風機運行時必須有值班供冷、供熱系統(tǒng)，否則只有值班風機是不可行的。

2，我國目前值班風機設置的狀況

我國目前工廠的潔凈室一般都不設置值班風機系統(tǒng)。因為，三班制全年連續(xù)運行的潔凈室不須設值班風機。即使是一班制白天工作，晚上停工的工廠都采取提前啟動空調(diào)凈化系統(tǒng)，工作之前使?jié)崈羰疫M行自凈，上班后潔凈室的潔凈度已經(jīng)能滿足生產(chǎn)工藝的要求了，也就不須另設一套值班風機系統(tǒng)了。但是，特殊情況下，工藝要求必須設值班風機系統(tǒng)時，還要按要求科學地設置值班風機系統(tǒng)。

3，潔凈室的自凈時間

單向流潔凈室的凈化原理是活塞原理，換氣次數(shù)很高，一般400~600次/時（6~10次/分）將污染空氣由送風側(cè)擠壓到回風側(cè)，因此自凈的時間很短。一般30秒~60秒即可自凈完畢。

非單向流潔凈室它的凈化原理是均勻擴散的稀釋原理，而且其送風的換氣次數(shù)較單向流少得多，根據(jù)凈化級別不同換氣次數(shù)不同，一般換氣次數(shù)為15~60次/時。因此，自凈時間較長。一般非單向流的自凈時間為15~30分鐘，凈化級別越低，送風量越少，自凈時間越長。

（七），吹淋室的吹淋效果：

1，吹淋室的作用

吹淋室的設置有三個作用。第一，是用高速度（≥25m/s）的潔凈氣流吹向人和物的表面，吹掉和抖掉人員和物品表面上附著的灰塵粒子。為達此目的，必須有一定的吹淋風速和一定的吹淋時間。一般按生產(chǎn)的企業(yè)標準吹淋風速U≥25m/s；吹淋時間T = 20 ~ 40秒。第二，是精神教育和警示，提示進入潔凈區(qū)的任何人員要注意，經(jīng)過吹淋以后就進入潔凈區(qū)了，在潔凈區(qū)內(nèi)必須遵守潔凈室的規(guī)定，不能擅自亂跑亂動。第三個作用是隔斷作用，吹淋室是潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)的屏障和隔斷。保護潔凈室不受非潔凈區(qū)的污染。為達此目的，吹淋室必須設有不能同時開啟的兩道門（互鎖）使用潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)的空氣不能直接相通，才能起到隔斷的作用。

2，吹淋室的吹淋效果

關(guān)于吹淋室的吹淋效果，在80年代電子部十院和電子部十一院有關(guān)同志作了詳細的測試和科學的實驗。結(jié)果表明：吹淋室對人體表面上的灰塵粒子的吹淋效果為10%~30%。（≥0.5μm）和15% ~ 35%（≥5.0μm），這一實驗數(shù)據(jù)證明：吹淋室不但具有警示作用、隔斷作用而且對清除人和物表面上的灰塵是有一定作用的，尤其對非單向流潔凈室的作用更加明顯。

（八），潔凈室的正壓的維持：

1，維持潔凈室正壓的目的

《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073-2001中規(guī)定，“潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差或負壓差”。還規(guī)定，“不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差應不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差應不小于10Pa”。

維持潔凈室的壓差是為了防止周圍比它低級別的潔凈空間、非潔凈空間或室外空氣的滲入和倒灌，影響潔凈室潔凈度的重要措施。潔凈室失去了正壓，也可以說失去了潔凈度，不稱其潔凈室了。由此可見維持潔凈室正壓的重要意義。潔凈室的正壓是指潔凈室門窗關(guān)閉條件下的正壓值。

2，潔凈室的正壓漏風量

潔凈室正壓是通過調(diào)節(jié)潔凈室送風量要比回風量與排風量之和大一個正壓漏風量而實現(xiàn)的。

潔凈室的正壓漏風量的大小，不僅與維持的正壓值的大小有關(guān)，同時還與潔凈室的密閉程度有關(guān)。

潔凈室的正壓漏風量可用縫隙法計算，也可用換氣次數(shù)估計。

縫隙法宜按下式計算：

式中：L_正?=?維持潔凈室的正壓值所需的正壓漏風量。（m³/h）

a =?圍護結(jié)構(gòu)密封性的安全系數(shù)?a = 1.1~ 1.2

g =?潔凈室為某一正壓值時，圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的正壓漏風量。（m³/h.m）

l =?圍護結(jié)構(gòu)的縫隙長度。

表二十九??圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的正壓漏風量q（m³/h?m）

門窗形式 壓差（Pa）	非常閉門	密閉門	單層固定密閉鋼窗	單層格式密閉鋼窗	傳遞窗	壁板
5	17	4	0.7	3.5	2.0	0.3
10	24	6	1.0	4.5	3.0	0.6
15	30	8	1.3	6.0	4.0	0.8
20	36	9	1.5	7.0	5.0	1.0
25	40	10	1.7	8.0	5.5	1.2
30	44	11	1.9	8.5	6.0	1.4
35	48	12	2.1	9.0	7.0	1.5
40	52	13	2.3	10.0	7.5	1.7
45	55	15	2.5	10.5	8.0	1.9
50	60	16	2.6	11.0	9.0	2.0

 

表三十 換氣次數(shù)表

壓差（Pa） 密封性能	5	10	15	20	25	30	35	40	45	50
有外窗密封性較差	0.9	1.5	2.2	3.0	3.6	4.0	4.5	5.0	5.7	6.5
有外窗密封性較好	0.7	1.2	1.8	2.5	3.0	3.3	3.8	4.2	4.7	5.3
無外窗土建圍護	0.6	1.0	1.5	2.1	2.5	2.7	3.0	3.2	3.4	3.6

 

3，維持潔凈室正壓的方法

a、設機械余壓閥，調(diào)節(jié)平衡重錘可使正壓維持在所需的正壓值，此方法簡單方便，一般余壓閥設置在潔凈室的下風向側(cè)，潔凈室正壓超過規(guī)定值時余壓閥自動開啟排風。這種方法較為常用。

b、用潔凈室的正壓值自動控制新風量和回風量，使之正壓漏風量自動穩(wěn)定在某一個數(shù)量，來穩(wěn)定潔凈室規(guī)定的正壓值。這一方法較為先進，但投資較高。

c、用回風口加過濾網(wǎng)加阻尼的辦法來實現(xiàn)潔凈室的正壓。方法簡單，但維護很難，正壓值很難維持不變。

（九）潔凈室的消毒和滅菌：

1，消毒和滅菌的定義

消毒：是滅掉對人體有害的微生物、病菌、病毒。

滅菌：是滅掉一切的微生物。不管對人體有害、有益的微生物。

2，消毒和滅菌的方法

a、藥物法：是用無菌藥物擦拭、噴霧和熏蒸的方法進行消毒滅菌，這些藥物都具有一定的腐蝕性，因此要求被滅菌的表面都要有較好的耐腐蝕性能。

滅菌藥物：①?乙烯氧化氣體進行熏蒸。25℃，30%相對濕度，8~16小時。有一定毒性。

②?過氧乙酸。濃度2%噴霧。25℃，20分鐘。有一定腐蝕性。

③?丙烯酸氣體熏蒸。25℃，相對濕度80%。用量7g/ m³。有一定毒性。

④?甲醛氣體熏蒸。25℃，相對濕度80%。用量35ml/ m³。有一定毒性。

⑤?福爾馬林氣體熏蒸。25℃，相對濕度10%。10分鐘。有刺激性。

b、紫外線照射：紫外線一般波長為1360~3900?，以波長2537 ?的紫外線的殺菌能力最強。紫外燈的殺菌能力會隨時間的增加而減弱；一般以點燃100小時的輸出功率為額定輸出功率，當紫外燈燃點到70%額定功率的點燃時間規(guī)定為紫外燈的平均壽命，紫外燈超過平均平均壽命后達不到預期的滅菌效果，應更換紫外燈。

紫外燈的滅菌效果還隨菌種不同而不同，殺滅霉菌的照射量相當于殺滅桿菌照射量的40~50倍。紫外燈的滅菌效果還與空氣的相對濕度有關(guān)，相對濕度為60%是設計值，當相對濕度超過60%時，尚須加大照射量。

紫外燈照射應在無人的狀態(tài)下進行，因為對正常人體有定的傷害，紫外燈滅菌照射表面效果較好，但對流動的空氣滅菌作用不大。

c、高溫和高壓蒸汽滅菌：高溫干熱滅菌溫度一般為160 ~200℃。2小時才能達到滅菌目的；高壓蒸汽濕熱滅菌當溫度為121℃時滅菌時間只為15 ~ 20分鐘。

d、其他還有溶菌酶、納米以及射線照射等滅菌方法。但最常用的是過濾器過濾方法滅菌，過濾器在過濾灰塵粒子的同時也將寄附在灰塵上的細菌和微生物過濾掉了。

 

（十），潔凈室內(nèi)的顏色處理：

1，國內(nèi)的一般情況

目前國內(nèi)所建的潔凈室其墻和頂大多都是用彩鋼板圍成的，以淺色、月白色為多。地板多為抗靜電塑料板或抗靜電還氧自流平材料，顏色多為綠色和暗紅色等較深的顏色。潔凈室內(nèi)部的顏色一般以人們的視覺感觀舒服，長期在室內(nèi)工作不易疲勞，精神集中，生產(chǎn)效率高為原則。另外淺色的圍護還可以提高室內(nèi)的照度。一般燈具布置25 ~ 30w/ m²時室內(nèi)照度可達800 ~ 1000Lx。

2，特殊的情況

國內(nèi)有個別工廠是按工藝的不同區(qū)劃，不同潔凈度來確定潔凈室內(nèi)圍護的不同顏色。同一個區(qū)域內(nèi)的墻、頂、地以及作業(yè)人員穿著的工作服全部都是同一種顏色，不同區(qū)域的顏色不同。這樣劃分界限分明便于管理。

如北京某一制藥廠將生產(chǎn)工藝劃分為三個區(qū)、三個區(qū)的顏色分別為綠、黃、紅色。

綠區(qū)為包裝和滅菌區(qū)：其墻、頂、地以及作業(yè)人員的服裝全為綠色。其潔凈度為300,000級，溫濕度要求也低。

黃區(qū)為片劑和針劑區(qū)：其墻、頂、地以及作業(yè)人員的服裝全為黃色。其潔凈度為100,000級，溫、濕度精度要求較綠區(qū)高。

紅區(qū)為針劑配料灌封區(qū)：其墻、頂、地和工作服全為紅色，此區(qū)潔凈度為10,000級（局部100級），溫濕度精神為最高。

上班時，全部作業(yè)人員由一層走上二層在二層換鞋，更外衣回到一層，全部穿上綠色工

作服進入綠區(qū)，綠區(qū)的作業(yè)人員留在綠區(qū)，其余的作業(yè)人員再更成黃色工作服進入黃區(qū)，黃區(qū)的作業(yè)人員留在黃區(qū)，紅區(qū)的作業(yè)人員再更成紅色工作服進入紅區(qū)。退出時反之，潔凈工作服拿出清洗。

（十一），潔凈室的靜電和靜電的消除：

1，靜電的危害

a、靜電產(chǎn)生電場能擊穿電子和微電子產(chǎn)品造成廢品；靜電放電產(chǎn)生電磁波會引起電子儀器（計算機和控制設備）的誤動作，放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。

b、潔凈室內(nèi)靜電的帶電體，灰塵會依附在其表面，成為潔凈室的污染源，影響潔凈室的潔凈度。

c、潔凈室的靜電聚集放電會誘發(fā)引起火災和爆炸影響潔凈室的安全。因為潔凈室內(nèi)生產(chǎn)會使用大量的易燃易爆的氣體，溶劑和有機物，潔凈室封閉性很強，人員疏散較困難造成火災，損失更大。

2，靜電的起因

由于某種原因引起電荷移動，正負電荷失去平衡，這樣物體就帶有靜電，造成電荷移動的因素主要有：

a、接觸帶電：其中還包括有磨擦帶電、滾動帶電、剝離帶電、噴射帶電等。

b、感應帶電

c、流動帶電

d、電暈帶電

3，防靜電措施

a、潔凈室圍護的防靜電：即用高導電率材料來建造潔凈室的圍護（墻、頂、地）地面要采用由電阻值為10⁴~10^6?Ω導靜電材料或電阻值為10⁶~10⁹Ω的抗靜電材料制作。主要有良好的接地。

墻和頂要采用表面電阻值為10⁶~10^8?Ω的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。并要有良好的接地。

b、人員的防靜電：潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服，在衣服的織物中加入金屬纖維、碳素纖維等導電材料。必要時作業(yè)人員手腕上配帶接地腕環(huán)。

c、生產(chǎn)工藝允許時還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。

（十二）潔凈室的防火和防爆：

1，潔凈室防火的重要性

a、潔凈室是密閉廠房。一般情況下不設外門、外窗，越是凈化級別高其位置越在核心中間部位的無窗密閉廠房。如果出現(xiàn)火情，不僅財產(chǎn)會受很大損失，更重要的是人員難以疏散會有人員的傷亡。

b、潔凈室是重要的科研和生產(chǎn)場所，生產(chǎn)會使用大量的易燃、易爆的氣體、溶劑和有機物質(zhì)，同時也還會使用大量的有毒有害物質(zhì)，一旦發(fā)生火災，后果不堪設想。

c、潔凈室是為高科技服務，不僅僅潔凈室本身的建造費用高（2000~10000元/m²），而且潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)設備的價格更高，有的微電子設備每臺都數(shù)百萬美元。如果發(fā)生火災，財產(chǎn)損失慘重。

集上述一些因素，潔凈室的防火是十分重要的。

2，潔凈室的防火措施

a、建筑結(jié)構(gòu)的材料應用不燃材料制作。潔凈室的裝修材料也應采用不燃材料制作。應嚴格按“潔凈廠房設計規(guī)范”中5.2“防火和疏散”一節(jié)的要求執(zhí)行。

b、生產(chǎn)工藝要盡量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必須使用，盡量采取密封措施不散放出來，并且加強通風換氣。工藝生產(chǎn)使用易燃易爆氣體時建議在氣源瓶和使用設備中間加一個“中間分配箱”，使正常情況下是與易燃易爆有毒有害氣源是處于斷開的狀況。

c、采取必要的報警和滅火措施

①?加強早期報警。采用空氣采樣器和感溫探頭系統(tǒng)聯(lián)合進行報警，實現(xiàn)對陰火和明火的早期報警（空氣采樣器對陰火非常敏感，感溫探頭對明火非常敏感）。

②?設置室內(nèi)外消火栓和潔凈室自動噴淋滅火系統(tǒng)。

●?潔凈室應有完善的室外消火栓滅火系統(tǒng)。

●?在潔凈室的室內(nèi)和上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層均設置完善的室內(nèi)消火栓滅火系統(tǒng)和預作用水噴灑滅火系統(tǒng)。在正常情況下預作用噴灑系統(tǒng)管道內(nèi)是充滿壓縮空氣，當探頭報警后，該系統(tǒng)啟動水泵并排氣充水，當火災發(fā)生后，著火處燒破玻璃泡水自動噴灑出來滅火。

③?設置疏散排煙系統(tǒng)

●?按“潔凈廠房設計規(guī)范”GB 50073-2001要求潔凈室的疏散走廊應設排煙或防煙系統(tǒng)保證人員的疏散安全。

●?利用工藝設備的排風系統(tǒng)和空調(diào)凈化系統(tǒng)兼作火災時的排煙系統(tǒng)以利人員疏散目的。

●?按消防部門或保險單位的要求，必要時還要設計潔凈室的全面排煙系統(tǒng)。

4、在組織上要有一個訓練有素的消防滅火隊伍。這個隊伍產(chǎn)生在作業(yè)工人隊伍之中，有了火情這支隊伍就可執(zhí)行引導人員疏散和有組織的滅火工作。形成臨危不亂，有組織有領導的局面。

（十三）潔凈室的能耗和節(jié)能：

1，潔凈室能耗特點

潔凈室的空調(diào)凈化系統(tǒng)運行能耗比一般舒適性空調(diào)運行能耗大得多，根據(jù)凈化級別不同，潔凈室空調(diào)凈化能耗是一般舒適性空調(diào)能耗的1.5~15倍，其單位面積的耗電量為0.1~1.0 Kw/m²。

a、潔凈室的主要能耗

①?為維持潔凈室所要求的溫度和相對濕度，要對潔凈室的送風進行必要的熱、濕處理（冷卻、去濕、加熱、加濕?……），就必須向空調(diào)凈化系統(tǒng)供冷供熱，供蒸汽就要消耗大量的能量。

②?為了保證潔凈室的潔凈度，溫度、濕度等參數(shù)，必須往潔凈室送入大量的空氣，送風的風機和供水的水泵等動力設備也要消耗可觀的能量。

③?上述的供冷、供熱、供蒸汽消耗的能量以及送風、送水設備消耗的電量隨潔凈級別越高，能量消耗越大。下表為不同級別潔凈室的能耗統(tǒng)計表。

表三十一????不同級別潔凈室的能耗統(tǒng)計表

項????目	一般空調(diào)	恒溫空調(diào)	100,000級	10,000級	1,000級	100級
送風換氣次數(shù)（次/h）	8~10	10~15	15~20	25~30	50~60	400~600
單位面積耗冷量（w/m2）	150~180	200~250	350~400	500~550	600~700	1000~1200
單位面積造價（元/ m2）	500~600	800~1000	1500~1800	2000~2200	2800~3000	10000~12000
單位面積耗電量（Kw/ m2）	0.06	0.1	0.16	0.25	0.30	1.0

注：單位面積耗電量指空調(diào)凈化系統(tǒng)的耗電量（含制冷、制熱、加濕、送風等）

 

④?潔凈室的冷負荷中的主要負荷是新風冷負荷，消除工藝設備和工藝過程產(chǎn)熱的冷負荷和抵消風機和水泵發(fā)熱的冷負荷，這三項負荷占總冷負荷的90%以上；而圍護結(jié)構(gòu)、照明和作業(yè)人員三項冷負荷不足總冷負荷的10%。

b、潔凈室能耗大的原因

①?凈化送風量大。不同凈化級別的潔凈室送風量和相同面積的舒適空調(diào)送風量的相比是其1.5~55倍，而且送風風壓也是其2~3倍，因此送風機的溫升耗冷量很大。

②?潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)的新風量大，一般情況下，新風量等于排風量與正壓漏風量之和，因此生產(chǎn)工藝排風量大故新風量就很大。因此，新風的熱濕處理耗能也就很大。

③?潔凈室中的工藝設備和工藝過程發(fā)熱量大，而且連續(xù)兩班制或三班制運行。因此，耗能量也大。

④?潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝的溫、濕度及其精度要求很高、很嚴。也是能耗大的原因。

c、潔凈室的節(jié)能

①?嚴格控制潔凈室的設計參數(shù)（潔凈度和溫濕度）和潔凈室的面積尤其是10級、100級這樣的高級別單向流潔凈室的面積。因為潔凈級別越高，溫濕度精度要求越高，單位面積能耗越大。因此，實事求是該高則高，不要無原則地提高要求。潔凈室的面積不要留太大余地。尤其是高級別的潔凈室面積盡量采用混合流以低級別潔凈室代替高級別潔凈室。盡量縮小10級、100級單向流潔凈室的面積。

②?嚴格控制潔凈室的凈化送風量，不要留太大的安全系數(shù)。控制監(jiān)督施工質(zhì)量，減少潔凈室和管道的漏風量，加強保溫減少冷損失，提高設備效率盡量利用變頻措施以利節(jié)能。

③?嚴格控制新風量。盡量降低排風量，采取措施提高排風效果，降低排風量以減少新風空調(diào)處理的能耗。

④ 加強管理。減少跑、冒、滴、漏。充分利用熱回收和天然能源做為空調(diào)系統(tǒng)的預冷和預熱。

（十四）潔凈室的驗收測試和在線測試

1，潔凈室的驗收測試

潔凈室測試一般有三種狀態(tài)。即空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)。

空態(tài)：即潔凈室的竣工狀態(tài)。潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)正常運行，室內(nèi)無工藝設備和作業(yè)人員的狀態(tài)。

靜態(tài)：潔凈室空調(diào)凈化系統(tǒng)正常運行，工藝設備在無人操作情況下運行的狀態(tài)。

動態(tài)：潔凈室投產(chǎn)的正常工作狀態(tài)。

驗收測試一般為空態(tài)測試。有時按合同也會有靜態(tài)和動態(tài)測試。驗收測試的必測項目有：潔凈度測試，溫、濕度及其精度測試，潔凈室正壓測試和潔凈室送風量、回風量和新風量的測試。除必須測項目以外，根據(jù)測試合同還可以有選測項目。例如：噪聲、振動、風速、照度……。

驗收測試報告是潔凈室竣工驗收的關(guān)鍵性文件。

2，潔凈室的在線測試

在線測試是定期或不定期的在潔凈室正常工作的條件下，對潔凈室的潔凈度，溫、濕度和正壓的測試。是動態(tài)測試。在線測試結(jié)果可以反映潔凈室的性能以及各種參數(shù)能否滿足生產(chǎn)工藝的要求。

（十五），凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題：

一般的凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應的措施，例如：夏季要降溫、去濕（因為夏季室外空氣是高溫、高濕的），冬季要加熱加濕（因為冬季室外空氣是寒冷干燥的）。

對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧和超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。

從確保潔凈廠房內(nèi)相對濕度的精度而言，上述的淋水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方法其控制的精度不高，故當潔凈廠房內(nèi)相對濕度精度要求≤±10%時最好不采用。而采用噴干蒸汽和電熱（電極）式加濕的方法。噴干蒸汽的加濕方法要注意干蒸汽加濕器有一個噴蒸汽效率的問題，并非噴入空調(diào)箱內(nèi)的蒸汽全部加入到空調(diào)送風中，而其中有一部分變成凝結(jié)水排放出來。因此，選擇干蒸汽加濕的加濕量時應考慮其噴蒸的效率。有的廠家給出的噴蒸效率為70%。

根據(jù)多年經(jīng)驗各種不同的加濕器的應用范圍不同：

如：淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點是加濕量大、投資費用低，而相對濕度控制精度較差，因此多用于相對濕度要求不嚴格（> ±10%），加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。

而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極（電熱）式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴格的恒溫恒濕潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。

對于以微生物為控制對象的生物潔凈室（例如：生物制藥、潔凈手術(shù)室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養(yǎng)室等）其重點要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因為潮濕和水分是微生物滋生和繁殖的條件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，只能采用干蒸汽加濕和電極（電熱）式加濕。

還有一個值得注意的問題是，近些年來我國南方如深圳、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低，例如：冬季室外計算相對濕度深圳、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右，因此，建起來運行的潔凈廠房的加濕量不足，室內(nèi)相對濕度偏低，達不到設計要求。有的工廠為了簡便和省錢，在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進行加濕以加大加濕量。但是，事與愿違，不但加不進去濕量而且加進去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來，而達不到加濕目的。因為，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達到加濕目的。如果不進行加熱是不可行的。

在加濕問題上還有一個應注意的問題就是空調(diào)器內(nèi)空氣流動帶水的問題。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好，結(jié)果后面的中效過濾器甚至高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題，要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設在空調(diào)器的風機段內(nèi)，還應采取措施避免凝結(jié)水滴到電機上，造成電機短路斷電。

（十六）空調(diào)系統(tǒng)的水管和風管的保溫和防結(jié)露問題：

空調(diào)系統(tǒng)的水管和風管都要用絕熱的保溫材料進行保溫，其目的不外乎減少冷（熱）損失以利節(jié)能，確保潔凈廠房所要求的溫度和相對濕度，其二是夏季防止空調(diào)風管和冷水管道結(jié)露滴水，一般潔凈廠房的吊頂都是軟吊頂（彩鋼板或其他輕質(zhì)板材）風管結(jié)露滴水流到吊項上會滲到潔凈廠房內(nèi)影響廠房的正常運行。如果是民用的辦公樓和賓館等公用建筑，由于冷水管和送風管保溫不好結(jié)露滴水，軟吊頂可見濕一片、印一片，不堪入目。因此，不要小看見空調(diào)風管（水管）的保溫問題，解決不好后患無窮，出了問題花再多的錢也難以修補。作者本人在2003~2004年兩年受朋友之托，在深圳處理過多個潔凈廠房技術(shù)夾層上風管結(jié)露滴水的問題，在潔凈廠房內(nèi)地面上到處放了很多塑料桶來接吊頂上滴下來的水，不僅室內(nèi)溫濕度不合格而且影響正常的生產(chǎn)。在吊頂上，風管的保溫材料全部被凝結(jié)水浸透，尤其離外墻外窗較遠深處風管的結(jié)露更為嚴重。業(yè)主非常頭痛，施工單位也束手無策。特別是在7、8、9三個月近幾年雨季非常集中，這些結(jié)露滴水的潔凈廠房大多在交付使用一年以后出現(xiàn)問題。

這個問題的解決主要從兩方面入手，第一個是解決保溫材料的性能和保溫層的厚度；第二個是解決吊頂上管道技術(shù)夾層的通風問題。

第一是保溫材料的性能和保溫層的厚度問題：目前市場上銷售的保溫材料品種很多，保溫性能也不一樣，價格也高低懸殊，一般常用的不燃的保溫材料有巖棉和玻璃棉等；常用難燃保溫材料有聚乙烯（PEF）和橡塑等。當采用巖棉和玻璃棉作冷管道保溫時，外面必須用鋁箔作防潮層（保護層），如果防潮層沒處理好或破損了，空氣中的水氣會結(jié)露進入纖維內(nèi)部使保溫材料失效。而聚乙烯和橡塑多為閉孔發(fā)泡有較好的保溫隔潮性能，但市場上各供貨商銷售的聚乙烯和橡塑五花八門，為了低價競爭產(chǎn)品質(zhì)量難以保證。有時簽合同時送交的樣品和大批交送的保溫材料的保溫性能和阻燃隔潮性能相差甚遠，不能保證質(zhì)量。

我們設計院在設計時往往采取向供貨商提供管道內(nèi)冷風的參數(shù)和風管所處環(huán)境的參數(shù)，由供貨商計算保溫層厚度，為了避免供貨商計算的太厚，設計院負責審核計算書，保溫后如果出現(xiàn)結(jié)露和滴水現(xiàn)象，除掉施工因素以外由保溫材料供貨商負責處理和賠償。

第二是吊頂上管道技術(shù)夾層的通風問題：實踐證明吊頂上的管道技術(shù)夾層一定要有通風設施，越是無通風的悶頂結(jié)露現(xiàn)象越嚴重，有外窗的技術(shù)夾層靠近外窗的管道結(jié)露現(xiàn)象很少較輕，離外窗越遠的深處結(jié)露現(xiàn)象越嚴重。吊頂上管道技術(shù)夾層的通風可采用自然通風（開外窗）也可采用機械排風自然進風的通風方式；如果技術(shù)夾層面積很大上述方案也不能解決問題時，還可以采用機械送風對面機械排風的通風方式。

（十七），凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱問題：

凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱主要可分為空調(diào)箱內(nèi)的空氣一次加熱（或稱為預熱）、空氣二次加熱（也稱作再熱）和設在風管上的電加熱。就空調(diào)加熱的熱源常用的主要有蒸汽、熱水和電加熱。

系統(tǒng)中的一次加熱多用在寒冷的北方（黃河以北）冬季作為預熱用，一方面防止塞外寒冷空氣進入空調(diào)箱后凍壞其他空調(diào)加配件，另一方面防止新風和回風混合時產(chǎn)生霧氣和結(jié)露。一次加熱的熱媒以蒸汽為好，如果采用熱水做為熱媒時要防止預熱器本身被凍壞。

系統(tǒng)中的二次加熱是潔凈廠房內(nèi)溫度調(diào)節(jié)和濕度控制所必要的，二次加熱的熱媒主要是熱水，因為熱水作為熱媒時調(diào)節(jié)方便，控制的精度高。一般溫度精度要求≤±1℃時，應該用熱水做熱媒。當溫度控制要求不嚴格或無精度要求時也可以用蒸汽做熱媒。

當廠房溫度控制精度要求很高（例如<±0.5℃）單用二次加熱控制精度難以達到時可在風管上加設微調(diào)精控的電加熱器，采用電加熱器時要注意采取必要的安全保護措施，一方面電加熱器要接地，要有無風斷電的保護，另一廣面在電加熱器前后一米的風管必須采用不燃的保溫材料保溫（例如巖棉或玻璃棉）。

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