基本上無(wú)塵車間認(rèn)證就是做無(wú)塵車間的性能測(cè)試，但是認(rèn)證者對(duì)所測(cè)試的結(jié)果要負(fù)完全責(zé)任，要保贊測(cè)試儀器、測(cè)試程序都滿足NEBB規(guī)定。這話說(shuō)來(lái)簡(jiǎn)單，做起來(lái)可不容易，因?yàn)榭照{(diào)系統(tǒng)與無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)變化很多，有些時(shí)候業(yè)主的要求也不盡相同。在不同的設(shè)計(jì)理念與不同的業(yè)主要求之下，測(cè)試的執(zhí)行就有些差異。因此做無(wú)塵車間認(rèn)證，首要之務(wù)是熟悉空調(diào)系統(tǒng)與無(wú)塵車間設(shè)計(jì)。
NEBB對(duì)無(wú)塵車間認(rèn)證人員〈稱為Cleanroom?Performance?Testing
Supervisor〉的基本要求有四，一是對(duì)空調(diào)系統(tǒng)和無(wú)塵車間的了解，二是對(duì)相關(guān)規(guī)范的了解，三是對(duì)測(cè)試儀器與測(cè)試程序的了解，四是本身的經(jīng)驗(yàn)與口碑。這些是入門(mén)的要求，通過(guò)檢定成為Supervisor之后，須受NEBB管轄，并且要時(shí)時(shí)溫習(xí)法規(guī)規(guī)范與關(guān)注新科技發(fā)展，每年向NEBB報(bào)到至少一次，兩年復(fù)檢一次資格，要求很多。
因此無(wú)塵車間性能測(cè)試誰(shuí)都可以做，只要會(huì)操作儀器就可以；但是要得到嚴(yán)謹(jǐn)可信賴的測(cè)試數(shù)據(jù)，就必須依靠資格符合的專業(yè)人士。以下資料是塵室的各項(xiàng)性能測(cè)試說(shuō)明，首先是測(cè)試簡(jiǎn)介，說(shuō)明一些基本概念，之后是測(cè)試程序及注意事項(xiàng)。至于測(cè)試的底線，就是數(shù)據(jù)不可更改也不可拋棄，這是不變的鐵律。http://www.gxshunjiang.com/
無(wú)塵車間測(cè)試簡(jiǎn)介
在測(cè)試無(wú)塵車間之前，若是能對(duì)測(cè)試規(guī)范、無(wú)塵車間基本概念、無(wú)塵車間的術(shù)語(yǔ)等有些了解，對(duì)測(cè)試當(dāng)有幫助。這里是一些背景資料，提供給讀者參考。
有關(guān)無(wú)塵車間定義、建造、控制、管理等等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，在網(wǎng)路上用?contamination
control?搜尋，可以找到很多相關(guān)資料。無(wú)塵車間的定義，最早是在美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn)，之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。在歐洲與日本，隨著工業(yè)的日益發(fā)展，各國(guó)的版本也逐漸出現(xiàn)。到了90年代后期，產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無(wú)共同標(biāo)準(zhǔn)，就不能實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的全球化，于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說(shuō)明無(wú)塵車間的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。
1.?????Federal?Standard?209E?(Fed-Std-209E)
：美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，209的出版發(fā)行，是在1960年代，之后不斷改版以因應(yīng)科技進(jìn)步與工業(yè)發(fā)展，版本從原始的209、209A，一直到1992年的最后一版209E。在2001年11月29日，美國(guó)正式宣布廢止209E，改用ISO-14644，于是209E在書(shū)面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界，除了部份的歐洲公司之外，美國(guó)、日本、臺(tái)灣、與中國(guó)大陸，都還沿用209E。微粒計(jì)數(shù)器的制造商，雖然都推出滿足公制計(jì)數(shù)法的新機(jī)型，但是要等舊機(jī)器完全淘汰，恐怕還要很長(zhǎng)時(shí)間，因此新規(guī)范ISO-14644還沒(méi)能取代209E。
2.
ISO-14644系列；美國(guó)政府為了推動(dòng)經(jīng)濟(jì)全球化，就很大方的放棄了自己的209E，改而推行全部使用公制的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個(gè)子題〈Part〉，稱為14644-1，14644-2，一直到14644-8。整個(gè)系列涵蓋了等級(jí)定義、測(cè)試與監(jiān)視的規(guī)范、測(cè)試的程序方法、設(shè)計(jì)與建造、操作、以及其他的有關(guān)設(shè)備等，范圍很廣。有些主題已經(jīng)定案，如Part
1和Part?2，有些只有初稿〈Draft〉，有些連初稿都還沒(méi)有，讀者可以到ISO或IEST的網(wǎng)站上訂購(gòu)。
3.?????JIS?B9920?(1989)：日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定無(wú)塵車間中浮游粒子的濃度測(cè)定方式，及潔凈度的等級(jí)定義。
4.?????VDI?2083?(1993)：德國(guó)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定潔凈度等級(jí)的定義方式，以及潔凈度的量測(cè)技術(shù)。
5.?????Gost-R?50766?(1995)：俄國(guó)的潔凈標(biāo)準(zhǔn)，定義無(wú)塵車間的分類與一般需求。
以上是無(wú)塵車間等級(jí)規(guī)定，與潔凈度量測(cè)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。另外有關(guān)無(wú)塵車間污染控制〈也就是潔凈度控制〉，和環(huán)境控制〈如溫?度、震動(dòng)噪音等〉，也有一些重要的測(cè)試規(guī)范，因?yàn)檫@些環(huán)境影響因素，都包含在無(wú)塵車間性能測(cè)試的范圍之內(nèi)。
1.?????IEST-RP-CC-006.2：這本有名的測(cè)試規(guī)范，目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測(cè)，006
包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫?度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測(cè)試、照度等。006?的第一版稱為006-84-T，006.2是第二版。現(xiàn)在由于?NEBB
的興起，0062已經(jīng)功成身退，逐漸消失了。
2.?????NEBB?無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范第二版：這是目前最廣為流行的測(cè)試規(guī)范，提到無(wú)塵車間認(rèn)證，就非?NEBB?莫屬。NEBB
無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范，可說(shuō)是IEST-0062的改良版，其測(cè)試涵蓋范圍差不多，但是測(cè)試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn)，儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。因此?NEBB
無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范的出現(xiàn)，解決了不少測(cè)試的爭(zhēng)議，也因此?NEBB?無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān)?NEBB，請(qǐng)參照本站?NEBB。
3.?????ISO-14698?系列：14698?有?Part?1、Part?2、Part?3?三個(gè)子題，是有關(guān)無(wú)塵車間里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
每一種行業(yè)，甚至每一家公司或工廠，對(duì)無(wú)塵車間的要求可能都不一樣。以上所列無(wú)塵車間定義與無(wú)塵車間測(cè)試規(guī)范，雖然以可滿足大部份廠商的需求，但是嚴(yán)格來(lái)講，這些規(guī)范也只是一個(gè)參考。各公司在訂定測(cè)試規(guī)格時(shí)，應(yīng)依照自己的制程需求，在上述規(guī)范里取出自己適用的部份，并要求供應(yīng)商與測(cè)試單位照辦，必要時(shí)可以酌情修改測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，才能真正滿足自己的需求。
1.
無(wú)塵車間定義：無(wú)塵車間是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無(wú)塵車間也會(huì)對(duì)溫?度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。
2.
微?？刂疲簾o(wú)塵車間微?？刂频牡谝徊剑前咽覂?nèi)微粒對(duì)制程影響的程度做完整分析，然后針對(duì)分析結(jié)果，訂定恰當(dāng)?shù)奈⒘？刂品绞脚c無(wú)塵車間管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時(shí)，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對(duì)制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。
3.?????外來(lái)污染源：從無(wú)塵車間外進(jìn)入系統(tǒng)的污染源，外來(lái)污染源主要是由空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)所導(dǎo)入，另外門(mén)、窗、墻壁裂縫等也是外來(lái)污染源的成因。
4.?????內(nèi)部污染源：無(wú)塵車間內(nèi)部產(chǎn)生污染的來(lái)源，一般是制程機(jī)器與操作員工，最嚴(yán)重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。
5.?????隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無(wú)塵區(qū)域之外。這種觀念多應(yīng)用在高潔凈度的無(wú)塵環(huán)境，例如?Class?100，Class
10，Class?1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無(wú)塵車間，或是使用迷你潔凈室將機(jī)臺(tái)整個(gè)包住。
6.?????稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應(yīng)用在潔凈度不高的無(wú)塵車間。例如在?Class
10000的無(wú)塵車間，因?yàn)閾Q氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會(huì)在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較常的時(shí)間才會(huì)排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級(jí)之下就可以了，部要求把人員與制程隔開(kāi)。使用稀釋法作為?？刂茣r(shí)，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效的稀釋微粒。
7.
氣流模式：指的是流場(chǎng)型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔凈的無(wú)塵車間或是無(wú)塵區(qū)域，對(duì)氣流模式的掌控就愈重視?；旧弦日莆諝饬髂Ｊ?，才能掌握潔凈度。
8.?????單一流向型氣流：氣流以同一個(gè)方向移動(dòng)，這種無(wú)塵車間稱為單一流向型無(wú)塵車間，以前稱為層流型無(wú)塵車間，定義并無(wú)多大改變。高潔凈度無(wú)塵車間需要單一流向型氣流。
9.?????非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無(wú)塵車間，潔凈度較低的無(wú)塵車間都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
10.?As-built?cleanroom（剛完工的無(wú)塵車間）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支援設(shè)施皆已完成的潔凈室，但并沒(méi)有設(shè)備及操作設(shè)備的人員。
11.?At-rest
cleanroom（準(zhǔn)備中的無(wú)塵車間）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支援設(shè)施皆已動(dòng)作的無(wú)塵車間，設(shè)備已載入并可以操作或已在運(yùn)轉(zhuǎn)，1如所指定，但沒(méi)有操作設(shè)備的人員。
12.?Operational
cleanroom（操作中的無(wú)塵車間設(shè)施）：一個(gè)已在正常運(yùn)轉(zhuǎn)的無(wú)塵車間，所有相關(guān)支援設(shè)施皆已動(dòng)作，設(shè)備及人員皆已載入，運(yùn)轉(zhuǎn)狀況可以呈現(xiàn)和達(dá)到其正常的功能。
無(wú)塵車間的等級(jí)
使用者在開(kāi)無(wú)塵車間的等級(jí)給供應(yīng)商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。首先是等級(jí)定義的模式如下：
Class?X?(at?Y?μm?)
其中?X?是無(wú)塵車間的等級(jí)，例如?100?或?10000?等等，Y是粒徑如?0.2μm?,?0.5μm
等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無(wú)塵車間微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級(jí)的限度。這樣可以減少紛爭(zhēng)，以下是幾個(gè)例子：
Class1?(0.1μm,?0.2μm?,?0.5μm)
Class?100(0.2μm?,?0.5μm?)
Class?100(0.1μm,?0.2μm?,?0.5μm?)
在?Classes?100?(M3.5)?and?Greater??(Class?100，1000，10000….)?，一般看一個(gè)粒徑即可。在
Classes?Less?than?100?(M3.5)??(Class?10，1….?)?，一般要看多幾個(gè)粒徑。
第二個(gè)技巧是規(guī)定無(wú)塵車間的狀態(tài)，例如：
Class?X?(at?Y?μm?)，?At-rest
供應(yīng)商就很清楚知道無(wú)塵車間要在?At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。
第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在?As-built?時(shí)無(wú)塵車間都很干凈，微粒控制能力測(cè)試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：
Class?10000?(0.3?μm?<=?10000)，?As-built
Class?10000?(0.5?μm?<=?1000)，?As-built
這樣做的目的是確保無(wú)塵車間在?Operational?狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰?。
以下兩個(gè)表是?Fed-Std-209E?的等級(jí)定義，和ISO-14644的等級(jí)定義。
Fed-Std-209E?潔凈度定義
Class?NameClass?Limits
0.1μm?0.2μm?0.3μm?0.5μm?5μm
Volume?Units?Volume?UnitsVolume?Units?Volume?Units?Volume?Units
SI?U.S.?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)?(m3)?(ft3)
M?1???350?9.91?75.7?2.14?30.9?0.875?10.0?0.283?–?–
M?1.5?1?1,240?35.0?265?7.50?106?3.00?35.3?1.00?–?–
M?2???3,500?99.1?757?21.4?309?8.75?100?2.83?–?–
M?2.5?10?12,400?350?2,650?75.0?1,060?30.0?353?10.0?–?–
M?3???35,000?991?7,570?214?3,090?87.5?1,000?28.3?–?–
M?3.5?100?–?–?26,500?750?10,600?300?3,530?100?–?–
M?4???–?–?75,700?2140?30,900?875?10,000?283?–?–
M?4.5?1,000?–?–?–?–?–?–?35,300?1,000?247?7.00
M?5???–?–?–?–?–?–?100,000?2,830?618?17.5
M?5.5?10,000?–?–?–?–?–?–?353,000?10,000?2,470?70.0
M?6???–?–?–?–?–?–?1,000,000?28,300?6,180?175
M?6.5?100,000?–?–?–?–?–?–?3,530,000?100,000?24,700?700
M?7???–?–?–?–?–?–?10,000,000?283,000?61,800?1,750
ISO-14644?潔凈度定義
ISO?classification?number(N)?Maximum?concentration?limits?(particles/m3?of
air)?for?particles?equal?to?and?larger?than?the?considered?sizes?shown
below?(concentration?limits?are?calculated?in?accordance?with?equation
(1).
0.1?mm?0.2?mm?0.3?mm?0.5?mm?1?mm?5?mm
ISO?Class?1?10?2
ISO?Class?2?100?24?10?4
ISO?Class?3?1?000?237?102?35?8
ISO?Class?4?10?000?2?370?1?020?352?83
ISO?Class?5?100?000?23?700?10?200?3?520?832?29
ISO?Class?6?1?000?000?237?000?102?000?35?200?8?320?293
ISO?Class?7???????352?000?83?200?2?930
ISO?Class?8???????3?520?000?832?000?29?300
ISO?Class?9???????35?200?000?8?320?000?293?000
NOTE??Uncertainties?related?to?the?measurement?process?requires?that
concentration?data?with?no?more?then?three?significant?figures?be?used?in
determining?the?classification?level.
Equation?(1):?Cn?=?10N?X?(0.1/D)2.08?其中Cn是微粒濃度，N?是潔凈度，D?是粒徑
比較以上兩表我們可看出
1.?????209E?的公制和英制兩套標(biāo)準(zhǔn)，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，徒然造成混淆
2.?????在兩表中?0.5?mm?幾乎出現(xiàn)在每一個(gè)等級(jí)定義中，表示粒徑?0.5?mm?的粒子非常具有代表性
3.?????在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度，?ISO-14644?的范圍比?209E?都來(lái)的廣，因此具有未來(lái)性
凡是和無(wú)塵車間環(huán)境控制有關(guān)的因素，都在無(wú)塵車間認(rèn)證的范圍之內(nèi)。在無(wú)塵車間完工之前，業(yè)主、施工單位、與測(cè)試單位?應(yīng)就以下幾個(gè)主題做詳細(xì)討論并達(dá)成協(xié)議，以利測(cè)試進(jìn)行。
1.?????待測(cè)無(wú)塵車間涵蓋范圍、等級(jí)、面積、濾網(wǎng)位置、與數(shù)量
2.?????測(cè)試的目的
3.?????測(cè)試程序
4.?????使用儀器
5.?????測(cè)試報(bào)告撰寫(xiě)方式與內(nèi)容
6.?????工期
在測(cè)試前，將以上項(xiàng)目定義清楚，可以使測(cè)試順利進(jìn)行，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題時(shí)也可以盡快排除，對(duì)業(yè)主和施工單位都有利。
IEST-0062?有一個(gè)表說(shuō)明測(cè)試項(xiàng)目，以及適用狀態(tài)，具有相當(dāng)參考價(jià)值表列如下。
IEST-RP-CC006.2?Table?1
章節(jié)測(cè)試項(xiàng)目單一流向型?非單一流向型?混合型
6.1?風(fēng)量與均勻度
風(fēng)速與均勻度?1,2,3
1,2,3?1,2,3
OPT?1,2,3
OPT
6.2?濾網(wǎng)泄漏?1,2?1,2?1,2
6.3?潔凈度?1,2,3?1,2,3?1,2,3
6.4?壓力?1,2?1,2,3?1,2,3
6.5?平行度?1,2?N/A?OPT?(1,2?only)
6.6?空間泄漏?1,2?1,2?1,2
6.7?恢復(fù)率?N/A?1,2?1,2
6.8?粒子沉降測(cè)試?1,2,3?1,2,3?1,2,3
6.9?照度?1,OPT(2,3)?1,OPT(2,3)?1,OPT?(2,3)
6.10?噪音?1,2,3?1,2,3?1,2,3
6.11-6.13?溫?度?1,2,2
OPT?1,2,3
OPT?1,2,3
OPT
6.14?振動(dòng)?OPT?OPT?OPT
測(cè)試的順序沒(méi)有硬性規(guī)定，但是仍舊存在某些比較理想的順序
1:?測(cè)試適用于?As-built?狀態(tài)
2:?測(cè)試適用于?At-rest?狀態(tài)
3:?測(cè)試適用于?Operational?狀態(tài)
N/A:?代表該測(cè)試在該狀態(tài)下?不適用?
OPT:?代表該測(cè)試在該狀態(tài)下為?選擇性測(cè)試?，可以視制程需求而定
由上表可看出，風(fēng)量測(cè)試〈使用氣罩〉適用任何狀態(tài)，因?yàn)椴灰资芨蓴_。風(fēng)速量測(cè)，在非單一流向型〈亂流型〉無(wú)塵車間就不推薦，因?yàn)槿菀资芨蓴_。當(dāng)然這是?IEST
的建議，我們可以自行決定。
至于測(cè)試的項(xiàng)目選擇，NEBB?建議：依重要性分成三級(jí)，說(shuō)明如下。
第一級(jí)〈Level?I〉:?第一級(jí)測(cè)試是所謂的主要測(cè)試，與潔凈度直接有關(guān)的測(cè)試都屬第一級(jí)，每個(gè)無(wú)塵車間都應(yīng)至少應(yīng)做的測(cè)試。第一級(jí)測(cè)試項(xiàng)目包括：
A.?風(fēng)速量測(cè)
B.?風(fēng)量量測(cè)
C.?前兩項(xiàng)的均勻度分析
D.?濾網(wǎng)泄漏測(cè)試
E.?潔凈度測(cè)試
F.?壓力量測(cè)
第二級(jí)〈Level???II〉:?第二級(jí)測(cè)試，雖然也是與潔凈度與氣流有關(guān)，但是只有在特殊情況下才需要進(jìn)行。
A.?氣流平行度量測(cè)〈只適用層流型無(wú)塵車間〉
B.?空間泄漏測(cè)試〈幾乎已被壓差測(cè)試取代〉
C.?恢復(fù)率測(cè)試〈依建議只適用亂流型無(wú)塵車間〉
D.?粒子沉降測(cè)試〈近年來(lái)已經(jīng)很少做〉
第三級(jí)〈Level???III〉:?第三級(jí)測(cè)試就與氣流無(wú)關(guān)，都是屬于環(huán)境因素。
A.?照度與其均勻度
B.?噪音測(cè)試
C.?振動(dòng)測(cè)試
D.?溫?度測(cè)試
這里說(shuō)明?NEBB?所要求無(wú)塵車間性能測(cè)試的各項(xiàng)測(cè)試程序，當(dāng)然這些程序是?NEBB?所認(rèn)定的基本要求，業(yè)主可視狀況自行修改。NEBB
唯一的要求是，若是修改后的程序比較寬松，就不能說(shuō)是符合?NEBB?標(biāo)準(zhǔn)。
2.1?氣流量測(cè)
無(wú)塵車間內(nèi)的氣流控制，是維持潔凈度的關(guān)鍵，因此高效濾網(wǎng)〈HEPA
Filter〉的出口速度控制，是非常重要的課題。由于濾網(wǎng)速度關(guān)系著空氣流場(chǎng)型態(tài)、微?？刂颇芰?、換氣量與平行度等，因此無(wú)塵車間的氣流量測(cè)，是無(wú)塵車間認(rèn)證的第一步。經(jīng)由數(shù)據(jù)分析，可察覺(jué)問(wèn)題所在，再對(duì)無(wú)塵車間做細(xì)微的調(diào)整，使性能達(dá)到要求。
本章說(shuō)明無(wú)塵車間氣流量測(cè)的步驟，分為速度與均勻度量測(cè)，風(fēng)量與均勻度量測(cè)，平行度量測(cè)等三部份。量測(cè)程序與數(shù)據(jù)分析，都是依照?NEBB?的標(biāo)準(zhǔn)。
一、濾網(wǎng)速度與均勻度量測(cè)
1?測(cè)試目的
氣流是控制潔凈度與溫?度的最主要因素，它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速量測(cè)，都是放在無(wú)塵車間測(cè)試的第一步。風(fēng)速量測(cè)的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現(xiàn)場(chǎng)的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。
單一流向型無(wú)塵車間，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無(wú)塵車間，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要，因此多只需要量測(cè)風(fēng)量。
在單一流向型無(wú)塵車間，風(fēng)速量測(cè)的位置可由業(yè)主指定，一般是在濾網(wǎng)表面或是工作高度。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速量測(cè)（濾網(wǎng)表面）或是無(wú)塵車間室內(nèi)風(fēng)速量測(cè)（工作高度）。
2?使用儀器
無(wú)塵車間里面使用的?HEPA/ULPA?濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在?0.5m/s
以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須屬于低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速量測(cè)可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如?Shortridge
Velgrid?16?點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無(wú)塵車間內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)（Hot?Wire）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí)〈0.5m/s
以下〉準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是?Thermeister?式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問(wèn)題，也不適用低速。NEBB?的要求是在
50fpm?到?120fpm?之間〈0.25?m/s?到?0.6?m/s〉，要有??±5?percent?of?the?reading??的精確度。
檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。于正式檢測(cè)前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格的校正文件。
3?測(cè)試步驟
(1)????在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。
(2)????取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。
(3)
每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每4平方英尺取一點(diǎn)。以600┨×1200┨濾網(wǎng)為例，單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)要量8點(diǎn)；多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)要量2點(diǎn)。
(4)????每量測(cè)點(diǎn)必須取5秒的平均。
(5)????依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測(cè)試點(diǎn)。
(6)????記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。
風(fēng)速量測(cè)的測(cè)試步驟，在單一流向型或非單一流向型無(wú)塵車間都相同。重要的是在非單一流向型無(wú)塵車間測(cè)試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。
4?數(shù)據(jù)分析
風(fēng)速量測(cè)很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來(lái)判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。
1.????平均值：將所有風(fēng)速量測(cè)值取算數(shù)平均
VAM?=?(V1+V2+…+VN)/N
2.????標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)速量測(cè)值的標(biāo)準(zhǔn)差
3.????相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差：相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差是一個(gè)百分比，將標(biāo)準(zhǔn)差除以平均值，再乘以100得到百分比
RSD=?SDV/VAM?×100
風(fēng)速量測(cè)很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來(lái)判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。
由以上說(shuō)明可看出，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差其實(shí)只是把標(biāo)準(zhǔn)差去單位化，其物理意義與標(biāo)準(zhǔn)差一樣，都是數(shù)據(jù)偏離平均值的程度。因此，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差愈高，代表這一群數(shù)據(jù)愈不均勻，在垂直層流場(chǎng)合，當(dāng)然希望相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差愈低愈好。
5?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
驗(yàn)收基準(zhǔn)必須是由業(yè)主訂定，設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)依照業(yè)主要求設(shè)計(jì)空調(diào)系統(tǒng)，測(cè)試單位則依規(guī)范測(cè)試，提供給業(yè)主作為允收依據(jù)。一般而言，允收條件有以下三種。
1.?????相鄰兩點(diǎn)之風(fēng)速值，差距不可大于20?
2.????量測(cè)之平均風(fēng)速，應(yīng)在設(shè)計(jì)規(guī)格之?±5?以內(nèi)
3.????相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差應(yīng)在?±15%以內(nèi)
關(guān)于第一?的規(guī)定，差距大于20?表示這一區(qū)已經(jīng)有足夠條件產(chǎn)生區(qū)域亂流，必須加以調(diào)整。關(guān)于第二條，無(wú)塵車間里面，單一的濾網(wǎng)平均風(fēng)速，通常會(huì)定在設(shè)計(jì)規(guī)格
±10?以內(nèi)，總量才是±5?以內(nèi)。一般空調(diào)則是個(gè)別出風(fēng)口?±20?以內(nèi)，總量?±10?以內(nèi)。
二、濾網(wǎng)風(fēng)量與均勻度量測(cè)
1?說(shuō)明
風(fēng)量量測(cè)的目的通常是用來(lái)計(jì)算換氣量，一般是在非單一流向型無(wú)塵車間，或是量測(cè)空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無(wú)法使用氣罩的場(chǎng)合（氣罩體積較大，有時(shí)會(huì)受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來(lái)?yè)Q算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。
同樣氣罩通?？梢粤繙y(cè)送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向量測(cè)時(shí)，其量測(cè)范圍通常會(huì)降低。
2?測(cè)試儀器：
風(fēng)量量測(cè)應(yīng)當(dāng)使用氣罩（Flow?Measuring?Hood），氣罩的量測(cè)范圍是?15~2500?cfm，精確度要求為讀數(shù)的±3%。
由于氣罩本身會(huì)產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對(duì)。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測(cè)前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
3?測(cè)試步驟：
(1)?在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。
(2)?使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后量測(cè)與計(jì)錄。
(3)????依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測(cè)試點(diǎn)。
(4)?記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。
4?數(shù)據(jù)分析：
風(fēng)量均勻度的計(jì)算與風(fēng)速向同，都是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。
1.????平均值：將所有風(fēng)量量測(cè)值取算數(shù)平均
QAM?=?(Q1+Q2+…+QN)/N
2.????標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)量量測(cè)值的標(biāo)準(zhǔn)差
3.????相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差：相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差是一個(gè)百分比，將標(biāo)準(zhǔn)差除以平均值，再乘以100得到百分比
RSD=?SDQ/QAM?×100
如前述在垂直層流場(chǎng)合，當(dāng)然希望相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差愈低愈好。但是氣罩一般適用在非單一流向型無(wú)塵車間，其濾網(wǎng)覆蓋率并非100?，因此計(jì)算相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差就沒(méi)意義。在一般空調(diào)更是不需計(jì)算相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差。
5?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
驗(yàn)收基準(zhǔn)必須是由業(yè)主訂定，一般可接受范圍與風(fēng)速相同，條列如下。
1.?????相鄰兩點(diǎn)之風(fēng)量值，差距不可大于20?
2.????量測(cè)之平均風(fēng)量，應(yīng)在設(shè)計(jì)規(guī)格之?±5?以內(nèi)
3.????相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差應(yīng)在?±15%以內(nèi)
三、氣流平行度量測(cè)
1?測(cè)試目的
平行度量測(cè)的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運(yùn)動(dòng)模式，同時(shí)也可以觀察儀器設(shè)備對(duì)氣流的影響。平行度量測(cè)應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測(cè)試完畢且通過(guò)之后進(jìn)行，過(guò)早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)，結(jié)果是重測(cè)。
2?測(cè)試方法
一般而言平行度的量測(cè)，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線。在無(wú)塵車間里面一般不使用煙霧，因?yàn)闊熿F所含微粒太多，恐怕會(huì)造成污染。干冰加熱水可以制造水霧，水霧對(duì)半導(dǎo)體是無(wú)污染，但是在制藥廠或生化無(wú)塵車間，又怕細(xì)菌會(huì)粘著，因此也有缺點(diǎn)。PFA是polyfunctional
alcohol（多功能酒精？），是一種水性溶液，基本上是水加染料，然后用超音波打成水霧，釋放出之后就形成可見(jiàn)霧氣。
煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動(dòng)模式。但是其共同問(wèn)題是滯空性不足，觀測(cè)時(shí)間太短。量測(cè)平行度需要花一些時(shí)間，因此需要大量煙霧或水霧，對(duì)無(wú)塵車間可能造成污染。
另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測(cè)量氣流平行度。在早期由于棉線比較重，因此只有在風(fēng)速很強(qiáng)的地方才能使用。無(wú)塵車間的風(fēng)速較低，恐怕吹不動(dòng)棉線，平行度根本無(wú)法量測(cè)。在無(wú)塵車間內(nèi)普遍使用新的高分子材料
Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無(wú)塵車間平行度量測(cè)。
測(cè)量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是量測(cè)細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。
3?測(cè)試儀器
1.?????支架
2.??????鉛垂線
3.??????Flo-Viz?細(xì)線
4?測(cè)試步驟
1.????????用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。
2.????????將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會(huì)隨空氣流向飄移。
3.????????在離地2135mm處將鉛垂線與懸吊相交作為量測(cè)起點(diǎn)。
4.????????在離地915mm處量測(cè)懸吊線偏移鉛垂線的量(mm)。
5.????????偏移角=tan-1(懸吊線?移量/1220)。
6.????????每3m×3m區(qū)域量1點(diǎn)。
偏移角θ=
若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點(diǎn)移動(dòng)到與煙霧相接觸，之后如上圖所示，將紅線當(dāng)成煙霧，再計(jì)算夾角就可以了。
5?使用三維超音波風(fēng)速計(jì)
三維超音波風(fēng)速計(jì)是實(shí)驗(yàn)適用的精密量測(cè)儀器，拿進(jìn)半導(dǎo)體廠內(nèi)量測(cè)氣流平行度的機(jī)會(huì)不多，當(dāng)然由于其客觀性十足，準(zhǔn)確度自然較高。如果非用不可，其測(cè)試方式是把風(fēng)速計(jì)架好，校準(zhǔn)水平與方位，將探頭高度調(diào)整到1525mm，然后測(cè)量三維風(fēng)速。三維風(fēng)速的合量與垂直線的夾角，就是氣流的平行度。
6?驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)然由設(shè)計(jì)規(guī)范決定，一般都是14度。
7?測(cè)試報(bào)告
測(cè)試報(bào)告需包括：
1.?????所有的量測(cè)位置
2.?????垂直水平方向位移量或風(fēng)速
3.?????偏移角
4.?????與允收基準(zhǔn)的比較
濾網(wǎng)面速量測(cè)實(shí)例
Airflow?velocity?and?airflow?volume?readings
Row?1?2?3?4
A??720
96???725
97???730
97???740
99
B??700
93???720
96???720
96???725
97
C??670
89???715
95???725
97???730
97
D??690
92???710
95???720
96???760
101
E??710
95???720
96???720
96???740
99
F??700
93????720
96???725
97???730
97
濾網(wǎng)面速之?dāng)?shù)據(jù)分析
平均值??VAM
VAM?=?(V1+V2+…+VN)/N
VAM?=?95.92?fpm
標(biāo)準(zhǔn)差??SDv
SDV?=?2.43
相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差??RSD
RSD?=?SDV?/VAM?=?2.43/95.92?=?2.53%
濾網(wǎng)流量之?dāng)?shù)據(jù)分析
平均值?QAM
QAM?=?(Q1+Q2+…+QN)/N
QAM?=?719.38?cfm
標(biāo)準(zhǔn)差?SDq
SDQ?=?17.71
相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差??RSD
RSD?=?SDQ?/QAM?=?17.71/719.38?=?2.46%
2.2?壓力量測(cè)
一、說(shuō)明
壓力量測(cè)的目的是確認(rèn)無(wú)塵車間空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無(wú)塵車間內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個(gè)?common
sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來(lái)就取消了。目前常見(jiàn)的正壓值約是10到25?Pascal之間。
壓力量測(cè)的時(shí)機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測(cè)試結(jié)束之后立即量測(cè)，尤其不可在潔凈度量測(cè)完畢之后才量測(cè)壓力。因?yàn)槿绻麎毫Σ粚?duì)，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。量測(cè)時(shí)，所有門(mén)窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
二、測(cè)試儀器：
壓力量測(cè)可使用傾斜管壓力計(jì)，指針式壓力計(jì)，或是電子式壓力計(jì)，總之只要量測(cè)范圍與精確度滿足要求即可。壓力計(jì)之精確度要求為讀數(shù)的
±5%，量測(cè)范圍式壓力設(shè)計(jì)值而定，一般0~5mm?Aq?（0?50
Pascal）即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之量測(cè)。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測(cè)前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
三、測(cè)試步驟：
1.??????????必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測(cè)試完成后，才能測(cè)試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
2.??????????全部門(mén)與開(kāi)口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為?0.0mmAq?表壓力。
3.??????????測(cè)定潔凈區(qū)域與相鄰較次級(jí)潔凈區(qū)域之壓差，再量測(cè)房間與Gowning?room之間壓差，最后量測(cè)Gowning?room與外部之壓差。
4.??????????建議壓差值為5~12Pa，并無(wú)強(qiáng)制規(guī)定。
5.??????????記錄所有數(shù)值。
四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
無(wú)塵車間室內(nèi)外壓差之驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)是由業(yè)主所指定。
五、使用發(fā)煙管：
壓力量測(cè)的目的是確認(rèn)氣流可以依照設(shè)計(jì)的方向移動(dòng)。若是沒(méi)有規(guī)定壓力值，只需確認(rèn)流向正確，或是在不方便量測(cè)的區(qū)域，可考慮使用發(fā)煙管檢視空氣流向，但是需要業(yè)主同意。發(fā)煙管在空調(diào)系統(tǒng)測(cè)試調(diào)整時(shí)，是非常方便可靠的工具之一。，雖然不提供數(shù)值，但是可以確認(rèn)氣流流向、，也可檢視泄漏，并且隨著煙霧的移動(dòng)，可確認(rèn)泄漏位置或縮小檢查范圍。
無(wú)塵車間完整性測(cè)試
另一個(gè)與壓力有關(guān)的測(cè)試是空間的完整性測(cè)試，完整性測(cè)試的英文原文是Integrity?Test，?Integrity
有完好無(wú)缺的意思，像濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試，有些人就稱之為?Filter’s?Integrity?Test。
完整性測(cè)試的做法是在無(wú)塵車間外〈如走廊、或是隔壁等級(jí)較差之處〉施放微粒，然后在室內(nèi)墻版接縫處用微粒計(jì)數(shù)器掃描，檢查有無(wú)泄漏。但是隨著無(wú)塵車間研究數(shù)據(jù)日益充實(shí)，專家發(fā)現(xiàn)只要維持適當(dāng)正壓，污染微粒經(jīng)由已經(jīng)打上硅膠的墻縫侵入的機(jī)率微乎其微，因此現(xiàn)在都不做完整性測(cè)試。微粒雖然比較不會(huì)由墻縫入侵，但是會(huì)從配線的開(kāi)口滲入，這點(diǎn)必須注意。
完整性測(cè)試已瀕臨淘汰，在此不多敘述，需要這項(xiàng)服務(wù)者請(qǐng)個(gè)別聯(lián)絡(luò)。
2.3?濾網(wǎng)泄漏測(cè)試
濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無(wú)塵車間測(cè)試中，最復(fù)雜、最耗時(shí)間的量測(cè)項(xiàng)目。泄漏測(cè)試的目的，是要確認(rèn)：1.濾網(wǎng)的材料無(wú)破損，2.安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過(guò)泄漏測(cè)試，但是在搬運(yùn)與安裝過(guò)程難保完全無(wú)損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無(wú)任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無(wú)塵車間風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題。因此，邊框掃描一樣重要。
濾網(wǎng)泄漏測(cè)試基本上是把挑戰(zhàn)微粒施放在濾網(wǎng)上游，然后在濾網(wǎng)表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測(cè)試有幾種不同的方式，適用在不同的場(chǎng)合。測(cè)試方式有：1.氣膠光度計(jì)測(cè)試法，2.
微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法，3.全效率測(cè)試法，4.外氣測(cè)試法，說(shuō)明如下。
一、氣膠光度計(jì)測(cè)試法
1.?說(shuō)明
氣膠光度計(jì)測(cè)試法是最早期的測(cè)試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)（Aerosol
Photometer）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒，可用來(lái)模擬無(wú)塵車間的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬(wàn)分之一，由于氣膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準(zhǔn)確、可靠，美國(guó)食品與藥品管制局（FDA）規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)（食品加工場(chǎng)所與醫(yī)療制藥場(chǎng)所），所有的濾網(wǎng)泄漏測(cè)試必須使用DOP與氣膠光度計(jì)。近年來(lái)由于人們懷疑DOP會(huì)導(dǎo)致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無(wú)多大差異。
2.?測(cè)試儀器
本測(cè)試法使用儀器為氣膠光度計(jì)（Aerosol?Photometer）與微粒產(chǎn)生器（Aerosol
Generator）。氣膠光度計(jì)的顯示版有類比與數(shù)位兩種，每年必須校正一次。微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。
特別注意：
使用?DOP?或是?PAO?當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒時(shí)，千萬(wàn)不可以使用微粒計(jì)數(shù)器掃描。因?yàn)槲⒘Ｓ?jì)數(shù)器若是沾到?DOP?或是?PAO
等油性粒子，恐怕很快就要進(jìn)廠保養(yǎng)，清洗雷射頭了。
3.?測(cè)試方式
濾網(wǎng)泄漏測(cè)試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測(cè)，其步驟說(shuō)明如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號(hào)。
2.????確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測(cè)試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。
3.
使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過(guò)50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風(fēng)量粗略計(jì)算，再用氣膠光度計(jì)確認(rèn)。
4.????上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑膠簾覆蓋以確保測(cè)試之準(zhǔn)確。
5.????在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長(zhǎng)/短邊迂回檢測(cè)，其方式如下：
a.????每一濾網(wǎng)和其邊框均需測(cè)試。
b.????濾網(wǎng)之表面時(shí)，將探漏器擺設(shè)如圖(b)，用短邊方向前進(jìn)，覆蓋全濾網(wǎng)
c.????掃描濾網(wǎng)邊框時(shí)，尤其濾網(wǎng)與Ceiling?Grid之間，探漏器擺設(shè)可以如上圖（a）或（b），涵蓋全部接縫。
d.????利用微粒計(jì)數(shù)器之方錐形(10mm*60mm)采樣器置于濾網(wǎng)下25mm左右，以50mm/sec速度儀動(dòng)。
e.
氣膠光度計(jì)上的讀數(shù)是上下游百分比值，因此若是數(shù)值大于0.01，即可懷疑為泄漏，可退回約100mm反覆再測(cè)，如果沒(méi)有持續(xù)高讀數(shù)，則可繼續(xù)測(cè)試，反之即為有泄漏，需作記錄且日后修補(bǔ)或更換。
6.????濾網(wǎng)若有破損則應(yīng)修補(bǔ)或更新，然后重新再測(cè)。
7.????邊框若有泄漏，應(yīng)重新安裝、調(diào)整，直到無(wú)泄漏為止。
8.????記錄時(shí)必須登記掃描結(jié)果，泄漏狀況與處理方式。
4.?驗(yàn)收基準(zhǔn)
1.????凡是連續(xù)性讀值超過(guò)0.01?視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測(cè)試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。
2.????每一片濾網(wǎng)的修補(bǔ)面積不得大于濾網(wǎng)面積的3。
3.????任何修補(bǔ)長(zhǎng)度不得大于38┨（1.5英?）。
二、微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法
1.?說(shuō)明
半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無(wú)塵車間使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過(guò)科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn)PSL因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可。
2.?測(cè)試儀器
微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法使用儀器是微粒計(jì)數(shù)器、微粒稀釋器與微粒產(chǎn)生器，微粒計(jì)數(shù)器每一年要校正一次，微粒稀釋器與微粒產(chǎn)生器不用校正，但是微粒稀釋器要定期保養(yǎng)以免阻塞。
3.?測(cè)試方式
測(cè)試步驟與氣膠法相同，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測(cè)，其步驟說(shuō)明如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號(hào)。
2.????確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測(cè)試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。
3.????使用微粒產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將霧化的?PSL
打入濾網(wǎng)上游，同時(shí)使用微粒計(jì)數(shù)器監(jiān)視上游的微粒濃度，使微粒濃度達(dá)到每立方英尺至少有80萬(wàn)顆微粒，并且維持該濃度直到掃描完畢為止。為保護(hù)微粒計(jì)數(shù)器，一般會(huì)在微粒計(jì)數(shù)器空氣吸入口加裝固定倍率的微粒稀釋器。
4.????上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑膠簾覆蓋以確保測(cè)試之準(zhǔn)確。掃描時(shí)探漏器離濾網(wǎng)的距離是25┨。
5.????微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法的掃描速度，是一個(gè)上游濃度的函數(shù)，不是一個(gè)定值，其計(jì)算公式如下：
SR：掃描速率
CC：上游濃度
LS：泄漏定義，如0.01?
FS：流量，一般是?1?cfm
DP：探漏器尺寸，沿移動(dòng)方向
NP：代表泄漏顆粒數(shù)
6.????由上式可看出，上游濃度愈高，掃描可以愈快。掃描的方式與氣膠法相同，路徑可由外而內(nèi)或沿長(zhǎng)/短邊迂回檢測(cè)。
7.????濾網(wǎng)若有破損則應(yīng)修補(bǔ)或更新，然后重新再測(cè)。
8.????邊框若有泄漏，應(yīng)重新安裝、調(diào)整，直到無(wú)泄漏為止。
9.????記錄時(shí)必須登記掃描結(jié)果，泄漏狀況與處理方式。
4.?驗(yàn)收基準(zhǔn)
1.????凡是連續(xù)性讀值超過(guò)0.01?視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測(cè)試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。
2.????每一片濾網(wǎng)的修補(bǔ)面積不得大于濾網(wǎng)面積的3?。
3.????任何修補(bǔ)長(zhǎng)度不得大于38┨（1.5英?）。
三、全效率測(cè)試法
1.?說(shuō)明
在某些場(chǎng)所如袋進(jìn)袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)（Bag-in-Bag-out?Filtration
System），或是濾網(wǎng)位于風(fēng)管中段（醫(yī)院空調(diào)常用，）上游可施放微粒但下游無(wú)法掃描，就必須使用全效率測(cè)試法。全效率測(cè)試法是因?yàn)樵谙掠螣o(wú)法掃描，僅能抽取一些空氣樣本做分析比較，若是下游微粒含量超過(guò)某定值則判定為泄漏，整片濾網(wǎng)要更換。這種測(cè)試方法的準(zhǔn)確度并不高，因此泄漏的定義值一般要取低一些以增加準(zhǔn)度，例如認(rèn)定上游的0.005?或0.001?為泄漏。盡管如此，其準(zhǔn)確度經(jīng)常受到質(zhì)疑，因此應(yīng)盡量避免。以袋進(jìn)袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)而言，濾網(wǎng)安裝后根本不能掃描，最好的方式是安裝前先全面積掃描，確認(rèn)無(wú)破損，安裝時(shí)小心安裝，安裝后再做全效率測(cè)試，就可減少爭(zhēng)議，至少可以厘清制造商的責(zé)任。
2.?測(cè)試儀器
全效率測(cè)試法可應(yīng)用在不同場(chǎng)所，只要和FDA有關(guān)，就必須使用氣膠光度計(jì)，和半導(dǎo)體有關(guān)，就必須使用微粒計(jì)數(shù)氣。前述袋進(jìn)袋出濾網(wǎng)系統(tǒng)因?yàn)槎际怯迷卺t(yī)院與生化實(shí)驗(yàn)室，因此都是用氣膠光度計(jì)。
3.?測(cè)試方式
全校律法的測(cè)試步驟基本上也是上游施放挑戰(zhàn)粒子，下游抽氣檢驗(yàn)，以決定其總體性能表現(xiàn)。其測(cè)試步驟如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號(hào)。
2.????確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測(cè)試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢，并且經(jīng)業(yè)主認(rèn)定為合格。
3.????使用氣膠產(chǎn)生器或微粒產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，使微粒濃度達(dá)到與維持在規(guī)定值。施放時(shí)須注意挑戰(zhàn)微粒的均勻度。
4.????上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)下游抽氣，檢查濃度。抽氣位置要盡量向后延伸，讓泄漏出的微粒與干凈空氣完全混合。
5.????若是下游濃度超過(guò)設(shè)定值則判定為泄漏，需要更換濾網(wǎng)。
4.?驗(yàn)收基準(zhǔn)
由于全效率測(cè)試法并非全面積掃描，也沒(méi)有邊框的問(wèn)題，因此只能規(guī)定有泄漏就得換新。
四、外氣測(cè)試法
1.?說(shuō)明
外氣測(cè)試法基本上是測(cè)試空調(diào)相里面的高效濾網(wǎng)時(shí)使用，因?yàn)樵摓V網(wǎng)直接吸入外氣，若是上游再施放粒子就有點(diǎn)浪費(fèi)，因此就利用外氣當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在濾網(wǎng)表面直接搜尋泄漏。由于外氣粒子含量不穩(wěn)定，因此這種測(cè)試法較不可靠。
2.?測(cè)試儀器
外氣測(cè)試法大部份用在空調(diào)箱，使用儀器取決于主系統(tǒng)，只要和FDA有關(guān)，就必須使用氣膠光度計(jì)，和半導(dǎo)體有關(guān)，就必須使用微粒計(jì)數(shù)氣。
3.?測(cè)試方式
外氣測(cè)試法的測(cè)試步驟如下。
1.????在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號(hào)。
2.????確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測(cè)試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。
3.????使用氣膠光度計(jì)或微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試上游微粒濃度。
4.????上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，檢查泄漏。掃描方式依不同儀器而異，請(qǐng)參考第一、二節(jié)。
5.????發(fā)現(xiàn)泄漏，則要需要修補(bǔ)或更換濾網(wǎng)。
6.????邊框部份也要掃描。
4.?驗(yàn)收基準(zhǔn)
1.????凡是連續(xù)性讀值超過(guò)0.01?視為泄漏，每一片濾網(wǎng)測(cè)試及修換后均不得有泄漏，邊框也不得有泄漏。
2.????每一片濾網(wǎng)的修補(bǔ)面積不得大于濾網(wǎng)面積的3?。
3.????任何修補(bǔ)長(zhǎng)度不得大于38┨（1.5英?）。
2.4?潔凈度量測(cè)
一、說(shuō)明
潔凈度測(cè)試是無(wú)塵車間性能測(cè)試的核心，氣流測(cè)試、壓力測(cè)試，與泄漏測(cè)試，都只在確認(rèn)無(wú)塵車間的潔凈度不受外來(lái)影響，因此潔凈度測(cè)試都放在前述幾項(xiàng)測(cè)試都通過(guò)之后。潔凈度測(cè)試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測(cè)試完畢，其他測(cè)試對(duì)潔凈度影響不大，或是屬于其他環(huán)境測(cè)試。
二、測(cè)試儀器
潔凈度測(cè)試使用微粒計(jì)數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，于檢測(cè)前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
微粒計(jì)數(shù)器有不同規(guī)格，最常見(jiàn)的是流量1cfm，最小粒徑可測(cè)到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英?。至于應(yīng)使用何種機(jī)臺(tái)，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計(jì)數(shù)器。
Class?1000或更高：?0.5μm
Class?100：?0.2μm
Class?1?到?Class?10：?0.1μm
若是業(yè)主要求的立境范圍超過(guò)單一微粒計(jì)數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計(jì)數(shù)器。
目前市面上少見(jiàn)立方公尺的微粒計(jì)數(shù)器，因此若是無(wú)塵車間的潔凈度是以ISO為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響新賴度上限的計(jì)算程序。
三、測(cè)試步驟：
(1)確定空調(diào)系統(tǒng)之測(cè)試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測(cè)試均已完成，并已修換破損部分。
(2)確認(rèn)測(cè)試位置與測(cè)試點(diǎn)數(shù)：
(2.1)?測(cè)試高度：約1.00m處，或由業(yè)主指定。
(2.2)?測(cè)試點(diǎn)數(shù)：
單一流向型無(wú)塵車間，取樣點(diǎn)數(shù)計(jì)算公式如下。
公制：
（a）???或（b）
其中?N?代表公制的無(wú)塵車間等級(jí)，area是面積，單位是平方公尺，但是小數(shù)點(diǎn)要無(wú)條件進(jìn)位。在上兩式中取較小的值，??就是無(wú)塵車間潔凈度測(cè)試的最小測(cè)量點(diǎn)數(shù)。
英制：
（a）????????或（b）
其中N代表公制的無(wú)塵車間等級(jí)，area是面積，單位是平方英?，但是小數(shù)點(diǎn)要無(wú)條件進(jìn)位。在上兩式中取較小的值，就是無(wú)塵車間潔凈度測(cè)試的最小測(cè)量點(diǎn)數(shù)。
非單一流向型無(wú)塵車間，取樣點(diǎn)數(shù)計(jì)算公式為
公制：
其中N代表公制的無(wú)塵車間等級(jí)，area是面積，單位是平方公尺。，小數(shù)點(diǎn)要無(wú)條件進(jìn)位。這個(gè)值，就是無(wú)塵車間潔凈度測(cè)試的最小測(cè)量點(diǎn)數(shù)。
英制：
其中N代表英制的無(wú)塵車間等級(jí)，area是面積，單位是平方英?，小數(shù)點(diǎn)要無(wú)條件進(jìn)位。這個(gè)值，就是無(wú)塵車間潔凈度測(cè)試的最小測(cè)量點(diǎn)數(shù)。
注意：每個(gè)無(wú)塵車間或無(wú)塵獨(dú)立隔間的最少量測(cè)點(diǎn)數(shù)是?2?點(diǎn)，最少的樣本總數(shù)是?5?個(gè)樣本。
(3)?取樣時(shí)間：每點(diǎn)的取樣時(shí)間依照等級(jí)與粒徑不同而異，可參考NEBB規(guī)范TABLE?7-2之規(guī)定。若取樣時(shí)間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。
(4)
測(cè)試位置應(yīng)均勻分布在無(wú)塵車間內(nèi)，避免在會(huì)產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測(cè)儀器以適當(dāng)之架臺(tái)支撐，不可以手持支撐。另外，測(cè)試位置需在業(yè)主指定(及/)或標(biāo)定位置之9m2內(nèi)。代表該點(diǎn)的最后數(shù)據(jù)，這個(gè)最后數(shù)據(jù)需小于業(yè)主規(guī)定值。
(5)
量測(cè)點(diǎn)數(shù)依前述NEBB規(guī)范之公式計(jì)算（與209E相同）。任一區(qū)域內(nèi)至少要有二點(diǎn)以上之測(cè)試點(diǎn)且須平均分布(除非有設(shè)備影響)，并且取樣數(shù)需大于或等于5次。任一區(qū)域之測(cè)試總點(diǎn)數(shù)若少于10點(diǎn)，需作信賴度上限分析(計(jì)算Upper
Confidential?Limit)。
(6)?需紀(jì)錄所有數(shù)值，包括統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)。
四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
潔凈度的驗(yàn)收基準(zhǔn)有二，首先是每點(diǎn)的微粒量測(cè)平均值必須低于規(guī)定值。也就是如果某一點(diǎn)取樣三次，這三個(gè)數(shù)據(jù)的平均值代表該點(diǎn)的最后數(shù)據(jù)，這個(gè)最后數(shù)據(jù)需小于業(yè)主規(guī)定值。
任何量測(cè)點(diǎn)數(shù)少于10點(diǎn)的無(wú)塵車間（可能是無(wú)塵車間內(nèi)的某一隔間），該隔間必須做信賴度上限分析。潔凈度的第二個(gè)驗(yàn)收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于業(yè)主規(guī)定值。
一般而言，業(yè)主規(guī)定值都會(huì)比潔靜度等級(jí)定義少一些。在As-built測(cè)試時(shí)，規(guī)定值常常定為等級(jí)定義的10?，At-rest測(cè)試時(shí)，規(guī)定值常常定為等級(jí)定義的15?。這樣做的目的是確保在Operating
狀態(tài)，潔靜度可以為持在等級(jí)定義以下。
五、信賴度上限分析：
任一無(wú)塵車間或是獨(dú)立的隔間，若是取樣點(diǎn)數(shù)小于10（2到9），就必須做信賴度上限分析，分析結(jié)果需小于。信賴度上限分析有五個(gè)步驟，說(shuō)明如下。
(1)????計(jì)算將該房間內(nèi)，每一取樣點(diǎn)的平均值，也就是每個(gè)取樣點(diǎn)的所有樣本的平均值，代表該點(diǎn)的微粒量測(cè)值。公式如下?????????????????其中?Ai
代表取樣點(diǎn)的平均值，CN?是微粒量測(cè)值，N是每點(diǎn)的樣本總數(shù)。
(2)????計(jì)算在該房間內(nèi)，所有取樣點(diǎn)數(shù)據(jù)的平均值（Mean），公式如下：
其中?AL?代表取樣點(diǎn)的平均值，M是房間內(nèi)微粒總平均值，L是房間內(nèi)總的取樣點(diǎn)數(shù)。
(3)????計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差（Standard?Deviation），公式如下：
其中SD代表標(biāo)準(zhǔn)差，?AL是取樣點(diǎn)的平均值，M是房間內(nèi)微?？偲骄?，L是房間內(nèi)總的取樣點(diǎn)數(shù)。
(4)????計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)誤（Standard?Error），公式如下：
其中SE代表標(biāo)準(zhǔn)誤，SD是標(biāo)準(zhǔn)差，L是房間內(nèi)總的取樣點(diǎn)數(shù)。
(5)????計(jì)算信賴度上限（Upper?Confidential?Limit），公式如下：
UCL?=?M?+?(UCL?factor?x?SE)
其中UCL代表信賴度上限，M是房間內(nèi)微?？偲骄?，SE是標(biāo)準(zhǔn)誤，UCL?factor?要查表，表列如下。
取樣點(diǎn)總數(shù)?2?3?4?5?6?7?8?9?>9
95?%?UCL?factor?6.31?2.92?2.35?2.13?2.02?1.94?1.90?1.86?N/A
依照以上步驟所計(jì)算出的UCL，就是該房間的信賴度上限值。
2.5?溫?度量測(cè)
一、說(shuō)明：
溫濕度量測(cè)的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫?度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對(duì)微?？刂茮](méi)有甚么影響，因此溫濕度測(cè)試屬于第三級(jí)測(cè)試（Level
3）。但是因無(wú)塵車間多半同時(shí)也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并量測(cè)了。
溫濕度量測(cè)又分為一般量測(cè)和進(jìn)階量測(cè)（General?Tests?and?Comprehensive
Tests），一般量測(cè)只是量測(cè)溫?度在量測(cè)點(diǎn)的即時(shí)數(shù)據(jù)（單一量測(cè)數(shù)據(jù)），適用在對(duì)溫?度要求不高的場(chǎng)所。進(jìn)階量測(cè)就要紀(jì)錄在量測(cè)點(diǎn)一段長(zhǎng)時(shí)間的溫濕度，目的是要觀察溫?度隨時(shí)間的變化情形，以確認(rèn)溫?度在控制之下。進(jìn)階量測(cè)適用在對(duì)溫?度要求比較高的場(chǎng)所。
二、測(cè)試儀器：
常見(jiàn)的溫?度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì)，一般量測(cè)和進(jìn)階量測(cè)使用儀器的精度相同，溫度量測(cè)范圍是0-100℃，精確度是±0.2℃。?度量測(cè)范圍是10?到95?，精確度是±2?。
一般量測(cè)要求溫度之顯示值可顯示0.1℃的變化，?度的顯示值可顯示1?的變化。進(jìn)階量測(cè)則要求溫度之顯示值可顯示0.05℃的變化，?度的顯示值可顯示0.1?的變化。
檢測(cè)儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測(cè)試前或交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。
三、測(cè)試程序：
一般量測(cè)的程序如下
1.
確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡?？照{(diào)系統(tǒng)測(cè)試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求，為溫?度控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測(cè)試。
2.????依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動(dòng)控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。
3.????測(cè)試點(diǎn)數(shù)為每個(gè)房間至少量一點(diǎn)，并且每個(gè)溫?度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個(gè)Dry?Coil的控制范圍要量一點(diǎn)，量測(cè)高度為(高架)地板上1.00m。
4.????將溫濕度感測(cè)器放置同一位置，待穩(wěn)定后開(kāi)始記錄。
一般量測(cè)的報(bào)告應(yīng)包括以下項(xiàng)目
1.????量測(cè)位置圖
2.????所量測(cè)的溫?度數(shù)值與取樣時(shí)間
3.????簡(jiǎn)單數(shù)據(jù)分析
a.????取樣點(diǎn)總數(shù)
b.????最小值
c.????平均值
d.????最大值
e.????平均值減最小值與最大值減平均值
進(jìn)階量測(cè)的程序如下
1.????確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡。
2.????依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動(dòng)控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。
3.????測(cè)試點(diǎn)數(shù)為每個(gè)房間至少量一點(diǎn)，并且每個(gè)溫?度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個(gè)Dry?Coil的控制范圍要量一點(diǎn)，量測(cè)高度為(高架)地板上1.00m。
4.????將溫濕度感測(cè)器放置同一位置，待穩(wěn)定后開(kāi)始記錄。
5.????至少每6分鐘紀(jì)錄一次溫?度值，并且持續(xù)紀(jì)錄2小時(shí)。亦即每一量測(cè)點(diǎn)至少有20筆數(shù)據(jù)。
進(jìn)階量測(cè)的報(bào)告應(yīng)包括以下項(xiàng)目
1.????量測(cè)位置圖
2.????所量測(cè)的溫?度數(shù)值與取樣時(shí)間
3.????簡(jiǎn)單數(shù)據(jù)分析
a.????取樣點(diǎn)總數(shù)
b.????最小值
c.????平均值
d.????最大值
e.????平均值減最小值與最大值減平均值
4.????如有必要，應(yīng)計(jì)算露點(diǎn)溫度
5.????外氣狀態(tài)
a.????溫度范圍
b.????降水狀況
c.?????度范圍
d.????溫?度極大值與極小值出現(xiàn)時(shí)間
6.????進(jìn)階數(shù)據(jù)分析
a.????全部溫?度數(shù)據(jù)的最小值
b.????全部溫?度數(shù)據(jù)的平均值
c.????全部溫?度數(shù)據(jù)的最大值
d.????標(biāo)準(zhǔn)差
五、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
依合約規(guī)定之各區(qū)域溫?度范圍驗(yàn)收之。
2.10?導(dǎo)電度測(cè)試
導(dǎo)電度測(cè)試?(Conductivity)
1.?導(dǎo)電度可視為電流流經(jīng)或繞過(guò)某物體之容易程度(relative?ease)?，電阻的倒數(shù)即導(dǎo)電度
2.?量測(cè)之目的是量測(cè)地板上點(diǎn)與點(diǎn)之間(Floor?Point?to?Point)的電阻，和地板與大地間(Floor?to?Ground)的電阻
3.?Floor?Point?to?Point??這是量測(cè)地板上任意兩點(diǎn)間，導(dǎo)電性的強(qiáng)度。
3.1?溫濕度需已經(jīng)測(cè)試調(diào)整合格
3.2?每組數(shù)據(jù)需使用兩個(gè)電極
3.3?電阻計(jì)之開(kāi)路電壓為500歐姆，內(nèi)阻至少100000歐姆
3.4?短路電流界于2.5mA與5mA之間
3.5?電極間隔3?
3.6?每個(gè)無(wú)塵車間至少量5組數(shù)據(jù)，取平均值
4.?Floor?to?Ground??這是量測(cè)無(wú)塵車間地板與接地電極間，導(dǎo)電性的強(qiáng)度。
4.1?溫濕度需已經(jīng)測(cè)試調(diào)整合格
4.2?儀器同前
4.3?電阻計(jì)兩端的電極，一個(gè)接在地板上，另一個(gè)連在最接近的建筑物柱子上
4.4?量測(cè)位置由Owner指定，應(yīng)有20個(gè)位置
4.5?每位置取不同的5點(diǎn)量測(cè)，再取平均值
5.?平均之電阻應(yīng)小于一百萬(wàn)歐姆
6.?所有的原始數(shù)據(jù)與平均值都需表列于報(bào)告中
2.11?靜電測(cè)試
1.?測(cè)試目的
靜電問(wèn)題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其他行業(yè)也有類似問(wèn)題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會(huì)變成非常難處理的問(wèn)題，因?yàn)閭鬏斪兊暮懿蝗菀?。另外在無(wú)塵車間里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測(cè)試的目地是量測(cè)空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可模擬物體在該氣流場(chǎng)中之殘余表面電壓。
2.?測(cè)試程序
2.1?于無(wú)塵車間內(nèi)離地32英??(813?mm)?處，量測(cè)該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方公分之離子數(shù)。量測(cè)點(diǎn)數(shù)：10個(gè)，或由業(yè)主決定。
2.2?在同一位置做殘余電壓測(cè)試.
