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無(wú)塵室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
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潔凈室靜電測(cè)試內(nèi)容有哪些？

2026-04-29

潔凈室靜電測(cè)試內(nèi)容主要包括：
1 泄漏電阻
2 系統(tǒng)接地電阻
3 體積電阻
4 表面電阻
4 系統(tǒng)電阻

潔凈室靜電測(cè)試
GB50591-2010 《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》
GB/T25915-2010 《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》

ISO 14644_2006 ?Cleanrooms and associated controlled environments